常用傳感器課件

4.1感測器的基本概念一.感測器的作用和分類1、定義：感測器是借助檢測元件將一種形式的信號轉(zhuǎn)換成另一種形式的信號的裝置。

物理量電量

目前，感測器轉(zhuǎn)換後的信號大多為電信號。因而從狹義上講，感測器是把被測的物理量轉(zhuǎn)換為電信號的裝置。常用感測器2.感測器的構(gòu)成4.1感測器的基本概念

圖1-1感測器組成框圖轉(zhuǎn)換元件敏感元件輔助元件輔助電源被測量1)按感測器的檢測用途分類可分為位移感測器、力感測器、溫度感測器、濕度感測器、流量感測器、化學(xué)成分感測器、生物資訊感測器等。這種分類方法，對使用者十分方便，但由於把用途相同而變換原理不同的感測器分為一類，如可用於加速度測量的感測器，可利用不同變換原理的感測器元件組成，這樣分類對學(xué)習(xí)和研究很不方便。4.1感測器的基本概念3、感測器的分類2)按感測器的傳感原理分類

4.1感測器的基本概念

有電阻式感測器，電容式感測器、電感式感測器、壓電式感測器、磁電式感測器、光電式感測器等。這種分類方法，對每一類感測器可具有相同的傳感原理，基於一種傳感原理可研究出多種感測器，如利用電阻傳感原理可以研製出電阻式位移傳感、壓力感測器、加速度感測器、濕度感測器等，而且其後接的調(diào)理電路也基本相同，便於學(xué)習(xí)和研究。

能量轉(zhuǎn)換型和能量控制型3)按感測器能量轉(zhuǎn)換關(guān)係分類

能量轉(zhuǎn)換型:能量轉(zhuǎn)換型感測器直接將被測對象輸入的能量轉(zhuǎn)換為電能而不需要外加能源。機(jī)械工程測試中常用的能量轉(zhuǎn)換型感測器有：電動式感測器、壓電式感測器、熱電式感測器、光電式感測器、磁電式感測器等。

能量控制型:能量控制型感測器是借助輔助能源將被測的物理參數(shù)轉(zhuǎn)換成電信號輸出的，這裏被測物理參數(shù)起著控制外加能源的作用。機(jī)械工程測試中常用的能量控制型感測器有：電阻式感測器、電容式感測器、電感式感測器等。4.1感測器的基本概念4)按敏感元件與被測對象之間的機(jī)理分類結(jié)構(gòu)型:結(jié)構(gòu)型感測器是依靠感測器結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化而實(shí)現(xiàn)信 號轉(zhuǎn)換。如電阻式、電感式、電容式等；物性型:物性型感測器是利用敏感元件材料本身物理性質(zhì)的變 化來實(shí)現(xiàn)信號變換。如水銀溫度計(jì)，壓電式加速度機(jī)等

4.1感測器的基本概念4.1感測器的基本概念按其工作的物理性質(zhì)可分為機(jī)械式、電氣式、光學(xué)式、流體式等（見表4-1）按其信號輸出的特徵可分為模擬式和數(shù)字式等等，此處不一一贅述。無論何種感測器，作為信號測試系統(tǒng)的首要環(huán)節(jié)，通常都必須具有快速、準(zhǔn)確、可靠而又經(jīng)濟(jì)地實(shí)現(xiàn)資訊轉(zhuǎn)換的基本功能。表4-1匯總了機(jī)械工程中常用感測器的基本類型本章主要介紹以電信號輸出的各種感測器二、感測器的基本結(jié)構(gòu)類型4.1感測器的基本概念組成感測器基本結(jié)構(gòu)的類型有三種：直接變換型、差動型和平衡型。直接變換型結(jié)構(gòu)（幾個串聯(lián)環(huán)節(jié)組成的開環(huán)系統(tǒng)）差動型（並聯(lián)系統(tǒng)）平衡型（回饋系統(tǒng)）三、感測器的發(fā)展趨勢4.1感測器的基本概念（一）感測器的集成化和多功能化趨勢感測器正隨著半導(dǎo)體微電子技術(shù)的發(fā)展而以單個元件向多個元件和多種電路集成在一個晶片上的方向發(fā)展，例如集成壓力感測器，集成磁敏感測器等。由於集成度的提高，出現(xiàn)了具有多種參數(shù)檢測功能的感測器，如多功能氣體檢測感測器，溫濕敏感測器等等，這就是多功能化的發(fā)展趨向。如手指感覺溫度、濕度、粗糙度等（二）感測器的智能化趨勢智能感測器是一種帶有微處理器的感測器，它將信號檢測、信號處理和信號驅(qū)動等功能電路全部集成到一塊基片上，並且使它具有診斷、自動調(diào)整量程、處理數(shù)據(jù)和資訊遠(yuǎn)距離通信等功能，這樣的智能化感測器將成為感測器發(fā)展的方向。（三）感測器的圖像化趨勢近代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，要求感測器不僅僅局限於對一個點(diǎn)的物理量可進(jìn)行測量，而是能夠進(jìn)行一維、二維以至三維空間的測量，感受的是“象”的資訊。例如紅外遙感技術(shù)，它能敏感熱象圖。要求感測器由單件向組合陣列發(fā)展。感測器的發(fā)展趨勢4.1感測器的基本概念新型片式汽車尾氣感測器4.2電阻式感測器電阻式感測器是將被測物理理（如位移、應(yīng)變、力、加速度等）轉(zhuǎn)換成電阻值變化的一種感測器。通過調(diào)理電路把其輸出的電阻變化量變換為電壓或電流，便可進(jìn)行測量、記錄、達(dá)到資訊檢測之目的。按工作的原理可分為:電阻應(yīng)變式、熱敏電阻式、氣敏電阻式、光敏電阻式等。

本節(jié)主要介紹應(yīng)變片式的電阻感測器

4.2電阻式感測器

應(yīng)變片式電阻感測器

應(yīng)變片式電阻感測器可以用於測量應(yīng)變、力、位移、加速度、扭矩等參數(shù)。具有體積小、動態(tài)回應(yīng)快、測量精度高、使用簡便等優(yōu)點(diǎn)。故在航空、船舶、機(jī)械、建築等行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。應(yīng)變片式電阻感測器是以應(yīng)變效應(yīng)為機(jī)理的電阻感測器。所謂應(yīng)變效應(yīng)是指金屬導(dǎo)體在發(fā)生機(jī)械變形時，其電阻值發(fā)生變化的物理現(xiàn)象。應(yīng)變片基本結(jié)構(gòu)如圖示4.2電阻式感測器當(dāng)導(dǎo)體發(fā)生機(jī)械變形時，導(dǎo)體長度、截面積A和電阻率都要發(fā)生變化，於是電阻值的改變量可由電阻定律的全微分得到4.2電阻式感測器1金屬電阻應(yīng)變片

電阻應(yīng)變片工作原理是基於金屬導(dǎo)體的應(yīng)變效應(yīng)，即金屬導(dǎo)體在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時，其電阻值隨著所受機(jī)械變形(伸長或縮短)的變化而發(fā)生變化象。4.2電阻式感測器金屬應(yīng)變計(jì)4.2電阻式感測器優(yōu)點(diǎn)：靈敏度大;體積小;缺點(diǎn)：溫度穩(wěn)定性和可重複性不如金屬應(yīng)變片。4.2電阻式感測器2半導(dǎo)體應(yīng)變片4.2電阻式感測器電阻應(yīng)變式感測器的應(yīng)用1-品質(zhì)塊；2-彈性梁；3-矽油阻尼液；4-應(yīng)變片（兩片）；5-溫度補(bǔ)償電阻；6-接線板；7-接線柱；8-外殼圖4-6測力感測器圖4-7加速度感測器1-密封圈；2-通氣孔；3-彈性膜片；4-電阻應(yīng)變片5-輸出接線1-密封圈；2-通氣孔；3-彈性膜片；4-電阻應(yīng)變片5-輸出接線圖4-8應(yīng)變片式壓力感測器4.2電阻式感測器案例：衝床生產(chǎn)記數(shù)和生產(chǎn)過程監(jiān)測電阻應(yīng)變片使用中常需瞭解以下主要特性參數(shù)：①電阻值——是指應(yīng)變片沒有粘貼，也不受力時，室溫下測定的電阻值。其規(guī)格有60Ω、120Ω、200Ω、300Ω、600Ω、1000Ω等多種。②靈敏度——在一批產(chǎn)品中抽樣一定百分比的產(chǎn)品，將各的平均值作為該批產(chǎn)品的“標(biāo)稱靈敏度”。③應(yīng)變極根——應(yīng)變片所能測量的最大應(yīng)變範(fàn)圍。一般規(guī)定，在室溫下指示應(yīng)變值與真實(shí)應(yīng)變值的比例偏差超過10%時，所對應(yīng)的真實(shí)應(yīng)變?yōu)閼?yīng)變極限。④絕緣電阻——應(yīng)變片引線與試件之間的電阻稱絕緣電阻，一般要求在(50～100)MΩ以上。⑤最大工作電流——應(yīng)變片正常工作範(fàn)圍內(nèi)允許通過的最大電流值，通常在靜態(tài)測量時允許電流取25mA左右。⑥動態(tài)回應(yīng)——分析表明，應(yīng)變片對正弦應(yīng)變的回應(yīng)誤差隨柵長和應(yīng)變頻率的增加而增大；其柵長與應(yīng)變波波長之比愈小，測量誤差也愈小。⑦零漂和蠕變——在一定溫度下，已裝好的應(yīng)變片不加載時，其阻值隨時間增加而逐漸變化的現(xiàn)象稱為零漂。施加恒定應(yīng)變時，其阻值隨時間增加而變化的現(xiàn)象稱為蠕變。⑧疲勞壽命——反映應(yīng)變片在動態(tài)載荷作用下耐受能力的特性參數(shù)，通常用幅值恒定的交變應(yīng)力作用下連續(xù)工作而不發(fā)生疲勞破壞的迴圈次數(shù)作為疲勞壽命值。[例1]有一拉力感測器，用鋼柱作為敏感元件，其上貼一電阻應(yīng)變片。已知鋼柱的截面積A=1cm2，彈性模量Pa，應(yīng)變片的靈敏度=2。若測量電路對應(yīng)變片電阻相對變化量的分辨力為10-7，試計(jì)算該感測器能測出的最小拉力。解應(yīng)變片的靈敏度為從而由此得應(yīng)變片對鋼柱應(yīng)變的分辨力拉力、應(yīng)力和應(yīng)變間關(guān)係為所以，該感測器對力的分辨力，即能測到的最小拉力為4.3電感式感測器

電感式感測器是利用電磁感應(yīng)原理，把被測的非電量，如位移、壓力等，轉(zhuǎn)換為電感量變化的一種裝置。按照變換方式

自感式

互感式

按照結(jié)構(gòu)不同

氣隙型

螺管型

分類4.3電感式感測器一.自感式感測器變氣隙型4.3電感式感測器lδ銜鐵Δδ式中l(wèi)為磁路長度，μ為磁路的磁導(dǎo)率，A為鐵芯面積，磁通量Φ與線圈參數(shù)有如下關(guān)係：4.3電感式感測器

測量範(fàn)圍允許在0.001mm~1mm之間。lδ銜鐵Δδ4.3電感式感測器二.差動式電感感測器圖4-12變氣隙差動式電感感測器4.3電感式感測器上式中不存在偶次項(xiàng)，顯然差動式自感感測器的非線性誤差在±Δδ工作範(fàn)圍內(nèi)要比單個自感感測器的小得多。靈敏度提高一倍?。?！

變面積型變氣隙型4.3電感式感測器三、差動變壓器式電感感測器差動變壓器的兩個次級線圈通常是反相串聯(lián)連接的，如果兩線圈的互感係數(shù)為和當(dāng)鐵心處於中間平衡位置時輸出電壓

當(dāng)鐵心偏離中心時，4.3電感式感測器

由上所述，差動變壓器式感測器輸出電壓的大小與互感的變化量成正比，在鐵心上下偏移量相等時，輸出電壓大小相等，相位相反。

為了獲得較好的線性範(fàn)圍，一般要求鐵心的位移範(fàn)圍為線圈骨架長度的1/10~1/4為宜。

差動變壓器式感測器輸出的電壓資訊中既包含了輸入位移的大小，也包含了輸入位移的方向，為了提取這兩種資訊，需在其測量電路中採用相敏檢波器，這部分內(nèi)容將在第五章仲介紹。4.3電感式感測器四、渦電流式感測器

渦電流式感測器是利用金屬導(dǎo)體在交變磁場中的渦電流效應(yīng)設(shè)計(jì)出的一種互感式感測器。4.3電感式感測器線圈的等效阻抗Z可表示為四、渦電流式感測器4.3電感式感測器四、渦電流式感測器

由上式可知，只要改變函數(shù)中任一參數(shù)，都可使線圈阻抗發(fā)生變化，達(dá)到不同的變換目的。線圈的等效電阻，等效電感及等效品質(zhì)因數(shù)分別為當(dāng)線圈接近金屬導(dǎo)體時，電路參數(shù)、、等均為互感係數(shù)的函數(shù)。所以凡是能引起渦電流變化的非電量，如金屬的電阻率、磁導(dǎo)率、幾何形狀以及線圈與導(dǎo)體的距離等參量均可通過測量線圈的等效電阻、等效電感、等效阻抗及等效品質(zhì)因數(shù)來得到。4.3電感式感測器四、渦電流式感測器應(yīng)用4.4電容式感測器變換原理:電容式感測器是將被測量的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種裝置。實(shí)際上，它就是一個可變參量的電容器。

兩平行極板組成的電容器,它的電容量為:+++

A

δ、A或ε發(fā)生變化時，都會引起電容的變化。4.4電容式感測器一、變極距型電容感測器++++++4.4電容式感測器一、變極距型電容感測器（非差動結(jié)構(gòu)）一般取極距變化範(fàn)圍為。亦可對式（4-28）求導(dǎo)得極距減小當(dāng)極距增加4.4電容式感測器一、變極距型電容感測器（差動結(jié)構(gòu)）實(shí)際應(yīng)用中，常把電容感測器作成差動結(jié)構(gòu)，如圖4-18所示。則上半部間隙變?yōu)?/p>

下半部間隙變?yōu)?/p>

相應(yīng)地電容變化為

總的電容變化量差動結(jié)構(gòu)的電容感測器靈敏度提高一倍，而非線性度顯著降低。4.4電容式感測器二、變面積型電容感測器1.角位移型由於覆蓋面積所以電容量靈敏度常數(shù)4.4電容式感測器二、變面積型電容感測器2.平板位移型由於電容量靈敏度常數(shù)4.4電容式感測器二、變面積型電容感測器3.圓柱體線位移型電容量當(dāng)覆蓋長度變化時，電容量發(fā)生變化，其靈敏度常數(shù)4.4電容式感測器二、變面積型電容感測器產(chǎn)品陶瓷電容壓力感測器液體壓力作用在陶瓷膜片的表面，使膜片產(chǎn)生位移。壓力變送器4.4電容式感測器三、變介電常數(shù)型電容感測器

若在電容感測器的兩極板之間充以不同的介質(zhì)，使介電常數(shù)發(fā)生變化，電容量也會隨之改變。應(yīng)用這一原理製成的電容感測器就是變介質(zhì)型的。4.4電容式感測器三、變介電常數(shù)型電容感測器產(chǎn)品.4.4電容式感測器三、變介電常數(shù)型電容感測器電容式接近開關(guān)振盪電路被測物體感應(yīng)電極被測電容測量頭構(gòu)成電容器的一個極板，另一個極板是物體本身，當(dāng)物體移向接近開關(guān)時，物體和接近開關(guān)的介電常數(shù)發(fā)生變化，使得和測量頭相連的電路狀態(tài)也隨之發(fā)生變化.接近開關(guān)的檢測物體，並不限於金屬導(dǎo)體，也可以是絕緣的液體或粉狀物體。4.4電容式感測器三、變介電常數(shù)型電容感測器（電容式液位計(jì)）

電容器總電容等於氣體介質(zhì)中的電容與液體介質(zhì)中的電容之和。其靈敏度4.4電容式感測器(應(yīng)用）4.5壓電式感測器一、壓電效應(yīng)壓電式感測器的工作原理是以某些物質(zhì)的壓電效應(yīng)為基礎(chǔ)的。這些物質(zhì)在機(jī)械力作用下發(fā)生變形時，內(nèi)部產(chǎn)生極化現(xiàn)象，在其表面上生成極性相反的電荷，形成電場。當(dāng)外力撤銷時，電荷立即消失，重新恢復(fù)到原來的狀態(tài)，這種現(xiàn)象稱為壓電效應(yīng)。二、壓電材料：具有壓電效應(yīng)的物質(zhì)很多，常見的大致可分三類：石英晶體、酒石酸鉀鈉()等壓電單晶體；鈦酸鋇、鋯鈦酸鉛(PZT)等多晶壓電陶瓷和高分子壓電薄膜，如聚偏二氟乙烯（PVDF）等。下麵以石英晶體為例來說明其壓電特性。石英晶體光軸、電軸和機(jī)械軸

晶片電荷極性與受力方向關(guān)係一、壓電效應(yīng)三、壓電式感測器及其特性+並聯(lián)+串聯(lián)

壓電式感測器突出的特點(diǎn)是固有頻率高，可測頻帶寬，此外，還具有體積小、重量輕、精確度與靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)。在測量加速度和動態(tài)力等方面得到了廣泛地應(yīng)用。在用作加速度和力感測器時，可測頻率範(fàn)圍從0.1Hz～20kHz，可測振動加速度值達(dá)（10-2～105）ms-2。壓電式感測器多與電荷放大器配套使用，形成專用測量系統(tǒng)。三、壓電式感測器及其特性壓電式力感測器和壓電式加速度感測器的應(yīng)用實(shí)例原理圖三、壓電式感測器及其特性三、壓電式感測器及其特性產(chǎn)品壓力變送器加速度計(jì)力感測器4.5壓電式感測器圖4-28阻抗頭1-壓電晶片；2-品質(zhì)塊；3-安裝平面；4-鈦質(zhì)殼體；5-加速度輸出口；6-壓電晶片；7-激振平臺；8-橡皮；9-力輸出口壓電式感測器應(yīng)用實(shí)例

4.6磁電式感測器根據(jù)電磁感應(yīng)定律，對於一個匝數(shù)為的線圈，當(dāng)穿過該線圈的磁通發(fā)生變化時，其感應(yīng)電動勢1.變換原理:電磁感應(yīng)原理

磁電式感測器是把被測的物理量轉(zhuǎn)換為感應(yīng)電動勢的一種感測器。磁通變化率與磁場強(qiáng)度、磁阻、線圈運(yùn)動速度有關(guān)，改變其中一個因素，都會改變感應(yīng)電動勢。

4.6磁電式感測器2分類

磁電式動圈式磁阻式線速度型角速度型N一、動圈式磁電傳感器（速度拾振器）角速度型感測器感應(yīng)電動勢線速度型感測器感應(yīng)電動勢4.6磁電式感測器角速度型測速電機(jī)4.6磁電式感測器

將感測器中線圈產(chǎn)生的感應(yīng)電勢通過電纜與電壓放大器聯(lián)接時，其等效電路如圖4-30所示。是發(fā)電線圈的感應(yīng)電勢；是線圈電阻；是負(fù)載電阻（放大器輸入電阻）；是電纜導(dǎo)線的分佈電容；是電纜導(dǎo)線的電阻。

一、動圈式磁電傳感器（速度拾振器）

通常感測器輸出的電壓是很微弱的(毫伏級)，因此，感應(yīng)電動勢須經(jīng)放大檢波後方可推動指示儀錶。如果經(jīng)過微積分電路，可以得到加速度和位移4.6磁電式感測器4.6磁電式感測器二、磁阻式磁電傳感器磁電式車速感測器4.6磁電式感測器二、磁阻式磁電傳感器

上述動圈式感測器的工作原理也可看作是線圈在磁場中運(yùn)動時切割磁力線而產(chǎn)生感應(yīng)電動勢。磁阻式感測器則是線圈與磁鐵不動，由運(yùn)動的物體（導(dǎo)磁材料）改變磁路的磁阻，引起磁力線增強(qiáng)或減弱，使線圈產(chǎn)生感應(yīng)電動勢。4.6磁電式感測器二、磁阻式磁電傳感器

在沒有被測物體時，永久磁鐵的磁路經(jīng)由鐵芯和工作氣隙閉合，當(dāng)將其放置在被測物體旋轉(zhuǎn)齒輪附近時，工作氣隙隨齒頂和齒穀的交替出現(xiàn)而使磁通隨磁阻的改變作週期性變化，從而線上圈上感應(yīng)出頻率和幅值均與齒輪轉(zhuǎn)速成比例的交流電動勢，運(yùn)算式為

為轉(zhuǎn)速（）；為齒輪齒數(shù)；為感應(yīng)電動勢頻率（）。

用頻率計(jì)記下頻率數(shù)，即可求得被測轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速。測速發(fā)電機(jī)就是最普通的應(yīng)用實(shí)例。磁阻式感測器使用方便、結(jié)構(gòu)簡單，常被用來測量轉(zhuǎn)速、偏心量、振動等參數(shù)。4.6磁電式感測器4.7霍爾感測器

霍爾式感測器是一種基於霍爾效應(yīng)的磁電轉(zhuǎn)換器，其轉(zhuǎn)換元件是霍爾元件，一般由鍺（Ge）、銻化銦（InSb）、砷化銦（InAs）等半導(dǎo)體材料製成?；魻栃?yīng)的產(chǎn)生是由於運(yùn)動電荷受磁場中洛倫茲力作用的結(jié)果

4.7霍爾感測器

當(dāng)電場作用在運(yùn)動電子上的力與洛倫茲力相等時，電子的積累便達(dá)到動態(tài)平衡。這時在元件c、d

兩端之間建立的電場稱為霍爾電場，相應(yīng)的電勢稱為霍爾電勢，其大小4.7霍爾感測器圖4-34表示用霍爾元件測量位移的實(shí)例。將霍爾元件置於兩個相鄰而方向相反的磁場內(nèi)，由於每點(diǎn)磁感應(yīng)強(qiáng)度值不同，當(dāng)元件沿方向移動時，可由霍爾電勢的變化反映出位移量大小。

霍爾元件具有結(jié)構(gòu)簡單可靠，體積小，雜訊低，壽命長，動態(tài)範(fàn)圍大（輸出電壓變化範(fàn)圍可達(dá)1000：1），頻率範(fàn)圍寬（從直流到微波頻段）等特點(diǎn)。它不僅可用於測量位移和可轉(zhuǎn)化為位移的力、加速度等參量，還可以通過改變電流和磁感應(yīng)強(qiáng)度的方法，作為運(yùn)算和調(diào)製器件。4.7霍爾感測器

如何根據(jù)測試的目的和實(shí)際工作條件，合理地選用感測器，是經(jīng)常會遇到的問題。感測器的選用合理與否不僅影響測試精度，而且還將影響測試成本.4.12感測器的選用原則一、靈敏度一般來講，感測器靈敏度越高越好，因?yàn)殪`敏度越高，意味著感測器所能感知的變化量越小，被測量稍有微小變化時，感測器就有較大的輸出。當(dāng)然也應(yīng)考慮到，當(dāng)靈敏度越高時，與測量信號無關(guān)的外界干擾也越容易混入，並被放大裝置所放大。這時必須考慮既要檢測微小量值，又要干擾小。為保證此點(diǎn)，往往要求信噪比愈大愈好，既要求感測器本身雜訊小，且不易從外界引入干擾。4.12感測器的選用原則

除非有專門的非線性校正措施，最大輸入量不應(yīng)使感測器進(jìn)入非線性區(qū)域，更不能進(jìn)入飽和區(qū)域。某些測試工作要在較強(qiáng)的雜訊干擾下進(jìn)行，這時對感測器來講，其輸入量不僅包括被測量，也包括干擾量；兩者之和不能進(jìn)入非線性區(qū)。過高的靈敏度會縮小其適用的範(fàn)圍。4.12感測器的選用原則二、回應(yīng)特性在所測頻率範(fàn)圍內(nèi)，感測器的回應(yīng)特性必須滿足不失真測量條件。此外，實(shí)際感測器的回應(yīng)總有一定延遲，但總希望延遲時間愈短愈好。一般來講，利用光電效應(yīng)、壓電效應(yīng)等物性型感測器，回應(yīng)較快，可工作頻率範(fàn)圍寬。而結(jié)構(gòu)型，如電感、電容、磁電式感測器等，往往由於結(jié)構(gòu)中的機(jī)械系統(tǒng)慣性的限制，其固有頻率低，可工作頻率較低。4.12感測器的選用原則