《硅片切片機(jī)用高速高精主軸》（征求意見(jiàn)稿）及編制說(shuō)明

《硅片切片機(jī)用高速高精主軸》

編制說(shuō)明

一、工作簡(jiǎn)況

1任務(wù)來(lái)源

本項(xiàng)目是根據(jù)中國(guó)機(jī)械工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)協(xié)會(huì)中機(jī)標(biāo)字［2023］04號(hào)文《關(guān)于印發(fā)

2023年第一批團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制修訂計(jì)劃的通知》安排，由無(wú)錫陽(yáng)光精機(jī)股份有限公司負(fù)責(zé)

制定的項(xiàng)目名稱(chēng)為《硅片切片機(jī)用高速高精主軸》的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)。計(jì)劃編號(hào)CAMS2023002，

為基礎(chǔ)公益類(lèi)項(xiàng)目，計(jì)劃應(yīng)完成時(shí)間為2023年。

2主要工作過(guò)程

起草（草案、調(diào)研）階段：計(jì)劃下達(dá)后，功能部件分標(biāo)委會(huì)組織各起草單位成立了

硅片切片機(jī)用高速高精主軸》起草工作組，由楊錦擔(dān)任組長(zhǎng)的工作組確定工作方案，提

出進(jìn)度安排。起草工作組本著認(rèn)真負(fù)責(zé)的態(tài)度，廣泛收集、分析相關(guān)文獻(xiàn)和資料，在對(duì)

搜集的意見(jiàn)和建議進(jìn)行研究分析、資料查證工作，結(jié)合實(shí)際應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，全面地總結(jié)和歸

納，在此基礎(chǔ)上編制完成了《硅片切片機(jī)用高速高精主軸》標(biāo)準(zhǔn)草案，并組織專(zhuān)家對(duì)標(biāo)

準(zhǔn)中的主要內(nèi)容進(jìn)行多次研討和認(rèn)真修改，于2023年5月28日形成了標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)稿。

征求意見(jiàn)階段：

審查階段：

報(bào)批階段：

3主要參加單位和工作組成員及其所做的工作等

本文件起草單位：無(wú)錫陽(yáng)光精機(jī)股份有限公司、通用技術(shù)集團(tuán)機(jī)床工程研究院有限

公司、國(guó)家機(jī)床質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心，浙江晶盛機(jī)電股份有限公司。

本文件主要起草人員為：楊錦、吳宗彥、周志、張維、趙欽志、李書(shū)林。

所做的工作：楊錦擔(dān)任起草工作組組長(zhǎng)，全面協(xié)調(diào)標(biāo)準(zhǔn)起草工作；周志主要負(fù)責(zé)標(biāo)

準(zhǔn)文本的制定等工作；吳宗彥主要負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)項(xiàng)目的試驗(yàn)和驗(yàn)證等工作；趙欽志和李

書(shū)林要負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)資料的收集、審查校對(duì)等工作；張維主要負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)材料的審核等工作。

二、標(biāo)準(zhǔn)編制原則和主要內(nèi)容

1標(biāo)準(zhǔn)編制原則

1

本文件在制定工作中遵循“面向市場(chǎng)、服務(wù)產(chǎn)業(yè)、自主制定、適時(shí)推出、及時(shí)修訂、

不斷完善”的原則，標(biāo)準(zhǔn)制定與技術(shù)創(chuàng)新、試驗(yàn)驗(yàn)證、產(chǎn)業(yè)推進(jìn)、應(yīng)用推廣相結(jié)合，統(tǒng)

籌推進(jìn)。

本文件在結(jié)構(gòu)編寫(xiě)和內(nèi)容編排等方面依據(jù)GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1

部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》進(jìn)行編寫(xiě)。在確定本文件主要技術(shù)性能指標(biāo)時(shí)，

綜合考慮生產(chǎn)企業(yè)的能力和用戶(hù)的利益，尋求最大的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)效益，充分體現(xiàn)了標(biāo)準(zhǔn)

在技術(shù)上的先進(jìn)性和技術(shù)上的合理性。符合現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章，并與其保持一

致。

2標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容

本文件分為：前言、范圍、規(guī)范性引用文件、術(shù)語(yǔ)和定義、分類(lèi)、外形、形式與標(biāo)

識(shí)符號(hào)、技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、幾何精度要求及檢驗(yàn)、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)識(shí)、包裝與貯存

共九章。本文件規(guī)定了硅片切片機(jī)用高速高精主軸的術(shù)語(yǔ)和定義、分類(lèi)、外形、形式與

標(biāo)識(shí)符號(hào)、技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、幾何精度要求及檢驗(yàn)、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)識(shí)、包裝與貯

存。

（1）關(guān)于“范圍”

本文件規(guī)定了硅片切片機(jī)用高速高精主軸的術(shù)語(yǔ)與定義、分類(lèi)、外形、形式與標(biāo)識(shí)

符號(hào)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝與貯存。

本文件適用于硅片切片機(jī)用高速高精主軸的生產(chǎn)、檢驗(yàn)和用戶(hù)驗(yàn)收。

（2）關(guān)于“規(guī)范性引用文件”

本章節(jié)引用相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T191—2008包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志等。

（3）關(guān)于“術(shù)語(yǔ)和定義”

本章節(jié)對(duì)硅片切片機(jī)用高速高精主軸、最高轉(zhuǎn)速這兩個(gè)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了定義。

（4）關(guān)于“分類(lèi)、外形、形式與標(biāo)識(shí)符號(hào)”

本章節(jié)硅片切片機(jī)用高速高精主軸給出了產(chǎn)品型號(hào)的表示方法。

（5）關(guān)于“技術(shù)要求”

本章節(jié)設(shè)置的項(xiàng)目要求共9項(xiàng)。具體包括：熱處理、外觀及尺寸、跑合試驗(yàn)、溫升、

噪聲、振動(dòng)、最高轉(zhuǎn)速、靜剛度、密封性能。

（6）關(guān)于“檢驗(yàn)方法”

2

本章節(jié)設(shè)置的項(xiàng)目要求共9項(xiàng)。具體包括：檢驗(yàn)條件、外觀和尺寸檢查（包括：外

觀、安裝尺寸的檢查、軸芯軸端形式及外錐的檢查}、跑合試驗(yàn)、溫升檢驗(yàn)、噪聲檢驗(yàn)、

振動(dòng)檢驗(yàn)、最高轉(zhuǎn)速檢驗(yàn)、靜剛度檢驗(yàn)、密封性能檢驗(yàn)。

（7）關(guān)于“幾何精度要求及檢驗(yàn)”

本章節(jié)規(guī)定了硅片切片機(jī)用高速高精主軸幾何精度的檢驗(yàn)項(xiàng)目及檢驗(yàn)方法。

（8）關(guān)于“檢驗(yàn)規(guī)則”

本章節(jié)設(shè)置的項(xiàng)目要求共4項(xiàng).具體包括：檢驗(yàn)分類(lèi)、出廠(chǎng)檢驗(yàn)、形式檢驗(yàn)及判定

規(guī)則。

（9）關(guān)于“標(biāo)識(shí)、包裝與貯存”

本章節(jié)給出了在產(chǎn)品出廠(chǎng)時(shí)的標(biāo)識(shí)、標(biāo)明內(nèi)容以及產(chǎn)品防銹、包裝和貯存的具體

要求。

3解決的主要問(wèn)題

近年來(lái)，隨著全球綠色能源的推廣，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，半導(dǎo)體用硅片供不應(yīng)求，

主要是由于硅片切割加工能力落后和產(chǎn)能不足造成，為此需要大力發(fā)展具有切割表面質(zhì)

量高、切割效率高、良品率高和可切割大尺寸材料等特點(diǎn)的新型硅片多線(xiàn)切割機(jī)。高速

高精主軸作為切片機(jī)的核心部件，對(duì)新型硅片多線(xiàn)切割機(jī)的發(fā)展具有舉足輕重的作用。

由于目前國(guó)內(nèi)尚無(wú)切片機(jī)用高速高精主軸標(biāo)準(zhǔn)，因此急需制定該標(biāo)準(zhǔn)，以支撐半導(dǎo)體用

硅片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

無(wú)錫陽(yáng)光精機(jī)股份有限公司作為國(guó)內(nèi)切片機(jī)用高速高精主軸的領(lǐng)先企業(yè)，掌握有高

速高精主軸線(xiàn)速、密封、軸承溫升控制等關(guān)鍵技術(shù)，其產(chǎn)品品質(zhì)也獲得了市場(chǎng)和用戶(hù)的

一致認(rèn)可。因此牽頭制定該團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，將填補(bǔ)標(biāo)準(zhǔn)空白，進(jìn)一步規(guī)范產(chǎn)品生產(chǎn)和使用，

并且?guī)?dòng)整個(gè)行業(yè)的規(guī)范化運(yùn)行。

三、主要試驗(yàn)（或驗(yàn)證）情況分析

項(xiàng)目起草工作組對(duì)國(guó)內(nèi)該類(lèi)產(chǎn)品和技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了全面調(diào)研，經(jīng)過(guò)大量查證并

結(jié)合實(shí)際應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，全面總結(jié)和歸納出了產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)。

本文件制定后，為了驗(yàn)證本文件是否科學(xué)合理、具有可操作性，本文件的檢驗(yàn)方法

和技術(shù)指標(biāo)是根據(jù)國(guó)內(nèi)從事硅片切片機(jī)的制造廠(chǎng)提供的真實(shí)數(shù)據(jù)和市場(chǎng)用戶(hù)的需求而

確定的。這些檢驗(yàn)項(xiàng)目和技術(shù)指標(biāo)是充分研究了相關(guān)制造企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，并對(duì)這些企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

3

的技術(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行了研究分析。因而本文件采用的技術(shù)指標(biāo)和檢測(cè)方法是經(jīng)過(guò)制造廠(chǎng)和用

戶(hù)多年實(shí)踐驗(yàn)證的，同時(shí)也是結(jié)合市場(chǎng)發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步前景需要而最終確定的。本文件

形成后，又重新在有關(guān)制造廠(chǎng)進(jìn)行了使用驗(yàn)證，證明本文件科學(xué)、可行，在今后的實(shí)際

貫徹和應(yīng)用中，可以滿(mǎn)足行業(yè)的使用要求。

四、標(biāo)準(zhǔn)中涉及專(zhuān)利的情況

本文件不涉及國(guó)內(nèi)外專(zhuān)利和知識(shí)產(chǎn)權(quán)問(wèn)題。

五、預(yù)期達(dá)到的社會(huì)效益、對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的作用等情況

硅片切片機(jī)用高速高精主軸的運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性和精度能夠確保切割出高質(zhì)量的硅片。這

對(duì)于制造商來(lái)說(shuō)至關(guān)重要，因?yàn)楣杵馁|(zhì)量直接影響到芯片的性能和可靠性。通過(guò)采用

團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，可以確保硅片切片機(jī)的主軸制造商遵循一致的技術(shù)規(guī)范和質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)，從

而提供更可靠的硅片產(chǎn)品。

制定高速高精主軸的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)需要行業(yè)內(nèi)各方共同協(xié)作和知識(shí)交流。這將促進(jìn)技術(shù)

創(chuàng)新和研發(fā)，推動(dòng)硅片切片機(jī)主軸的技術(shù)水平不斷提升。通過(guò)共享最佳實(shí)踐和技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，

制造商能夠相互學(xué)習(xí)，不斷改進(jìn)設(shè)備性能和功能，推動(dòng)整個(gè)硅片切片機(jī)行業(yè)的發(fā)展。

高速高精主軸的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)可以幫助制造商降低生產(chǎn)成本。一致的技術(shù)規(guī)范和質(zhì)量控

制標(biāo)準(zhǔn)可以減少生產(chǎn)過(guò)程中的不確定性和缺陷，提高設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性，降低維修

和停機(jī)時(shí)間。這將進(jìn)一步提高硅片切片機(jī)的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，增強(qiáng)企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

高速高精主軸的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)將對(duì)社會(huì)效益和產(chǎn)業(yè)發(fā)展產(chǎn)生積極影響。它不僅可以提高

硅片切片機(jī)的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，還可以促進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新和行業(yè)發(fā)展。

這對(duì)于硅片制造業(yè)以及相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步和經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)都具有重要意義。

六、采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)情況

本文件沒(méi)有采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。

本文件制定過(guò)程中未查到同類(lèi)國(guó)際、國(guó)外標(biāo)準(zhǔn)。

本文件制定中未測(cè)試國(guó)外的樣品、樣機(jī)。

本文件水平為國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。

七、在標(biāo)準(zhǔn)體系中的位置，與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，特別是強(qiáng)制

性標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)調(diào)性

本文件屬于金屬切削機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)體系“功能部件”小類(lèi)，“主軸”系列。

4

本文件與現(xiàn)行的相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)相協(xié)調(diào)一致。

八、重大分歧意見(jiàn)的處理經(jīng)過(guò)和依據(jù)

本文件在制定過(guò)程中，未產(chǎn)生重大分歧意見(jiàn)。

九、標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)的建議說(shuō)明

建議本文件的性質(zhì)為推薦性機(jī)械團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)。

十、貫徹標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議

建議本文件批準(zhǔn)發(fā)布6個(gè)月后實(shí)施。

本文件發(fā)布后，全國(guó)金屬切削機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)功能部件分會(huì)擬在正式出版后

6個(gè)月內(nèi)組織召開(kāi)標(biāo)準(zhǔn)化行業(yè)會(huì)議或在線(xiàn)上，對(duì)本文件進(jìn)行解讀和宣貫。

5

《硅片切片機(jī)用高速高精主軸》

編制說(shuō)明

一、工作簡(jiǎn)況

1任務(wù)來(lái)源

本項(xiàng)目是根據(jù)中國(guó)機(jī)械工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)協(xié)會(huì)中機(jī)標(biāo)字［2023］04號(hào)文《關(guān)于印發(fā)

2023年第一批團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制修訂計(jì)劃的通知》安排，由無(wú)錫陽(yáng)光精機(jī)股份有限公司負(fù)責(zé)

制定的項(xiàng)目名稱(chēng)為《硅片切片機(jī)用高速高精主軸》的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)。計(jì)劃編號(hào)CAMS2023002，

為基礎(chǔ)公益類(lèi)項(xiàng)目，計(jì)劃應(yīng)完成時(shí)間為2023年。

2主要工作過(guò)程

起草（草案、調(diào)研）階段：計(jì)劃下達(dá)后，功能部件分標(biāo)委會(huì)組織各起草單位成立了

硅片切片機(jī)用高速高精主軸》起草工作組，由楊錦擔(dān)任組長(zhǎng)的工作組確定工作方案，提

出進(jìn)度安排。起草工作組本著認(rèn)真負(fù)責(zé)的態(tài)度，廣泛收集、分析相關(guān)文獻(xiàn)和資料，在對(duì)

搜集的意見(jiàn)和建議進(jìn)行研究分析、資料查證工作，結(jié)合實(shí)際應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，全面地總結(jié)和歸

納，在此基礎(chǔ)上編制完成了《硅片切片機(jī)用高速高精主軸》標(biāo)準(zhǔn)草案，并組織專(zhuān)家對(duì)標(biāo)

準(zhǔn)中的主要內(nèi)容進(jìn)行多次研討和認(rèn)真修改，于2023年5月28日形成了標(biāo)準(zhǔn)征求意見(jiàn)稿。

征求意見(jiàn)階段：

審查階段：

報(bào)批階段：

3主要參加單位和工作組成員及其所做的工作等

本文件起草單位：無(wú)錫陽(yáng)光精機(jī)股份有限公司、通用技術(shù)集團(tuán)機(jī)床工程研究院有限

公司、國(guó)家機(jī)床質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心，浙江晶盛機(jī)電股份有限公司。

本文件主要起草人員為：楊錦、吳宗彥、周志、張維、趙欽志、李書(shū)林。

所做的工作：楊錦擔(dān)任起草工作組組長(zhǎng)，全面協(xié)調(diào)標(biāo)準(zhǔn)起草工作；周志主要負(fù)責(zé)標(biāo)

準(zhǔn)文本的制定等工作；吳宗彥主要負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)項(xiàng)目的試驗(yàn)和驗(yàn)證等工作；趙欽志和李

書(shū)林要負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)資料的收集、審查校對(duì)等工作；張維主要負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)材料的審核等工作。

二、標(biāo)準(zhǔn)編制原則和主要內(nèi)容

1標(biāo)準(zhǔn)編制原則

1

本文件在制定工作中遵循“面向市場(chǎng)、服務(wù)產(chǎn)業(yè)、自主制定、適時(shí)推出、及時(shí)修訂、

不斷完善”的原則，標(biāo)準(zhǔn)制定與技術(shù)創(chuàng)新、試驗(yàn)驗(yàn)證、產(chǎn)業(yè)推進(jìn)、應(yīng)用推廣相結(jié)合，統(tǒng)

籌推進(jìn)。

本文件在結(jié)構(gòu)編寫(xiě)和內(nèi)容編排等方面依據(jù)GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1

部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》進(jìn)行編寫(xiě)。在確定本文件主要技術(shù)性能指標(biāo)時(shí)，

綜合考慮生產(chǎn)企業(yè)的能力和用戶(hù)的利益，尋求最大的經(jīng)濟(jì)、社會(huì)效益，充分體現(xiàn)了標(biāo)準(zhǔn)

在技術(shù)上的先進(jìn)性和技術(shù)上的合理性。符合現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章，并與其保持一

致。

2標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容

本文件分為：前言、范圍、規(guī)范性引用文件、術(shù)語(yǔ)和定義、分類(lèi)、外形、形式與標(biāo)

識(shí)符號(hào)、技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、幾何精度要求及檢驗(yàn)、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)識(shí)、包裝與貯存

共九章。本文件規(guī)定了硅片切片機(jī)用高速高精主軸的術(shù)語(yǔ)和定義、分類(lèi)、外形、形式與

標(biāo)識(shí)符號(hào)、技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、幾何精度要求及檢驗(yàn)、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)識(shí)、包裝與貯

存。

（1）關(guān)于“范圍”

本文件規(guī)定了硅片切片機(jī)用高速高精主軸的術(shù)語(yǔ)與定義、分類(lèi)、外形、形式與標(biāo)識(shí)

符號(hào)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝與貯存。

本文件適用于硅片切片機(jī)用高速高精主軸的生產(chǎn)、檢驗(yàn)和用戶(hù)驗(yàn)收。

（2）關(guān)于“規(guī)范性引用文件”

本章節(jié)引用相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T191—2008包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志等。

（3）關(guān)于“術(shù)語(yǔ)和定義”

本章節(jié)對(duì)硅片切片機(jī)用高速高精主軸、最高轉(zhuǎn)速這兩個(gè)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了定義。

（4）關(guān)于“分類(lèi)、外形、形式與標(biāo)識(shí)符號(hào)”

本章節(jié)硅片切片機(jī)用高速高精主軸給出了產(chǎn)品型號(hào)的表示方法。

（5）關(guān)于“技術(shù)要求”

本章節(jié)設(shè)置的項(xiàng)目要求共9項(xiàng)。具體包括：熱處理、外觀及尺寸、跑合試驗(yàn)、溫升、

噪聲、振動(dòng)、最高轉(zhuǎn)速、靜剛度、密封性能。

（6）關(guān)于“檢驗(yàn)方法”

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本章節(jié)設(shè)置的項(xiàng)目要求共9項(xiàng)。具體包括：檢驗(yàn)條件、外觀和尺寸檢查（包括：外

觀、安裝尺寸的檢查、軸芯軸端形式及外錐的檢查}、跑合試驗(yàn)、溫升檢驗(yàn)、噪聲檢驗(yàn)、

振動(dòng)檢驗(yàn)、最高轉(zhuǎn)速檢驗(yàn)、靜剛度檢驗(yàn)、密封性能檢驗(yàn)。

（7）關(guān)于“幾何精度要求及檢驗(yàn)”

本章節(jié)規(guī)定了硅片切片機(jī)用高速高精主軸幾何精度的檢驗(yàn)項(xiàng)目及檢驗(yàn)方法。

（8）關(guān)于“檢驗(yàn)規(guī)則”

本章節(jié)設(shè)置的項(xiàng)目要求共4項(xiàng).具體包括：檢驗(yàn)分類(lèi)、出廠(chǎng)檢驗(yàn)、形式檢驗(yàn)及判定

規(guī)則。

（9）關(guān)于“標(biāo)識(shí)、包裝與貯存”

本章節(jié)給出了在產(chǎn)品出廠(chǎng)時(shí)的標(biāo)識(shí)、標(biāo)明內(nèi)容以及產(chǎn)品防銹、包裝和貯存的具體

要求。

3解決的主要問(wèn)題

近年來(lái)，隨著全球綠色能源的推廣，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，半導(dǎo)體用硅片供不應(yīng)求，

主要是由于硅片切割加工能力落后和產(chǎn)能不足造成，為此需要大力發(fā)展具有切割表面質(zhì)

量高、切割效率高、良品率高和可切割大尺寸材料等特點(diǎn)的新型硅片多線(xiàn)切割機(jī)。高速

高精主軸作為切片機(jī)的核心部件，對(duì)新型硅片多線(xiàn)切割機(jī)的發(fā)展具有舉足輕重的作用。

由于目前國(guó)內(nèi)尚無(wú)切片機(jī)用高速高精主軸標(biāo)準(zhǔn)，因此急需制定該標(biāo)準(zhǔn)，以支撐半導(dǎo)體用

硅片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

無(wú)錫陽(yáng)光精機(jī)股份有限公司作為國(guó)內(nèi)切片機(jī)用高速高精主軸的領(lǐng)先企業(yè)，掌握有高

速高精主軸線(xiàn)速、密封、軸承溫升控制等關(guān)鍵技術(shù)，其產(chǎn)品品質(zhì)也獲得了市場(chǎng)和用戶(hù)的

一致認(rèn)可。因此牽頭制定該團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，將填補(bǔ)標(biāo)準(zhǔn)空白，進(jìn)一步規(guī)范產(chǎn)品生產(chǎn)和使用，

并且?guī)?dòng)整個(gè)行業(yè)的規(guī)范化運(yùn)行。

三、主要試驗(yàn)（或驗(yàn)證）情況分析

項(xiàng)目起草工作組對(duì)國(guó)內(nèi)該類(lèi)產(chǎn)品和技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了全面調(diào)研，經(jīng)過(guò)大量查證并

結(jié)合實(shí)際應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，全面總結(jié)和歸納出了產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)。

本文件制定后，為了驗(yàn)證本文件是否科學(xué)合理、具有可操作性，本文件的檢驗(yàn)方法

和技術(shù)指標(biāo)是根據(jù)國(guó)內(nèi)從事硅片切片機(jī)的制造廠(chǎng)提供的真實(shí)數(shù)據(jù)和市場(chǎng)用戶(hù)的需求而

確定的。這些檢驗(yàn)項(xiàng)目和技術(shù)指標(biāo)是充分研究了相關(guān)制造企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，并對(duì)這些企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

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的技術(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行了研究分析。因而本文件采用的技術(shù)指標(biāo)和檢測(cè)方法是經(jīng)過(guò)制造廠(chǎng)和用

戶(hù)多年實(shí)踐驗(yàn)證的，同時(shí)也是結(jié)合市場(chǎng)發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步前景需要而最終確定的。本文件

形成后，又重新在有關(guān)制造廠(chǎng)進(jìn)行了使用驗(yàn)證，證明本文件科學(xué)、可行，在今后的實(shí)際

貫徹和應(yīng)用中，可以滿(mǎn)足行業(yè)的使用要求。