振動(dòng)光譜技術(shù)

振動(dòng)光譜技術(shù)概述一、光譜分析的概念光譜分析是利用物質(zhì)發(fā)射的光而判斷物質(zhì)組成的一門技術(shù)；物質(zhì)的組成不同，在一定條件下能發(fā)射其特征的光譜；光的一個(gè)標(biāo)志是它的波長(zhǎng)，顏色不同，波長(zhǎng)不同；發(fā)射光譜分析的范圍：紫外（部分）、可見(jiàn)光、紅外（部分），160～850nm；Schl.ofOptoelectronicInform.

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發(fā)射光譜有三種線狀光譜：原子或離子被激發(fā)而發(fā)射（氣態(tài)或高溫）帶狀光譜：分子被激發(fā)而發(fā)射連續(xù)光譜：熾熱的固體或液體發(fā)射原子或離子被激發(fā)而產(chǎn)生的數(shù)萬(wàn)條光譜線已被測(cè)試，波長(zhǎng)已知；光譜激發(fā)光源：火焰、電弧、電火花、激光，等；光譜分析有較低的檢出限，可進(jìn)行定性和定量分析，特別適宜低含量元素級(jí)痕量元素分析；對(duì)難分離元素的分析特別有效；Schl.ofOptoelectronicInform.

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光譜分析是化學(xué)分析的補(bǔ)充；與發(fā)射光譜相對(duì)應(yīng)的為吸收光譜；克希霍夫定律：任何物體的發(fā)射和吸收的本質(zhì)均決定于光譜項(xiàng)和選擇規(guī)則；物質(zhì)不僅有自已的特定發(fā)射光譜，而且有自已特定的吸收

光譜；吸收光譜的分析根據(jù)記錄強(qiáng)度方式的不同有四種：

目視、照相、光電、熱電吸收光譜應(yīng)用譜帶而非譜線，其中分子吸收光譜就屬于譜帶分析；光譜分析的速度快。Schl.ofOptoelectronicInform.

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二、光譜分析基礎(chǔ)1、原子的結(jié)構(gòu)量子力學(xué)的應(yīng)用！2、原子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)電子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)：薛定諤方程核外電子運(yùn)動(dòng)有四種差別:層次（主量子數(shù)n）：K,L,M,N,…組態(tài)（角量子數(shù)l）：s,p,d,f,…量子軌道（磁量子數(shù)m）：0,±1,±2,…±l,

自旋：正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)Schl.ofOptoelectronicInform.

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2、原子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)（續(xù)）核外電子排布的規(guī)律：（1）最低能量原理；（2）Pauli不相容原理；表1-2-2（3）Hund規(guī)則。3、原子的能級(jí)不連續(xù)的能量狀態(tài)—能級(jí)；能級(jí)的多重結(jié)構(gòu)：決定于電子自旋；內(nèi)量子數(shù)J的概念：電子自旋角動(dòng)量與軌道角動(dòng)量耦合得到的電子總角動(dòng)量。

圖1-1-2

表1-3-2Schl.ofOptoelectronicInform.

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4、能級(jí)符號(hào)與光譜項(xiàng)一條譜線是一個(gè)元素的兩個(gè)能級(jí)之間的躍遷而產(chǎn)生三、原子的激發(fā)與電離1、原子的激發(fā)熱激發(fā)、共振吸收（輻射能）激發(fā)、電場(chǎng)引起的碰撞激發(fā)、激發(fā)態(tài)原子能量交換引起的激發(fā)、電子和離子復(fù)合過(guò)程引起激發(fā)，等。各種元素的原子被激發(fā)所需要的最小激發(fā)能稱為該元素的共振電位。Schl.ofOptoelectronicInform.

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2、原子的電離在光源等離子區(qū)中，原子獲得足夠的能量后，可以使外層電子脫離原子體系，分裂成自由電子和離子。有一次電離、二次電離……離子亦可能被激發(fā)而發(fā)射光譜。一般情況下，離子光譜和原子光譜是不同的。3、元素的光譜化學(xué)性質(zhì)與元素周期表呈現(xiàn)周期性，變化規(guī)律有6條Schl.ofOptoelectronicInform.

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四、譜線的特征譜線的強(qiáng)度和寬度，是兩個(gè)主要特征1、多重線強(qiáng)度比2、勻稱線強(qiáng)度比3、非勻稱線強(qiáng)度比4、譜線的寬度5、最后線及特征譜線組

表1－6元素的靈敏線及特征線Schl.ofOptoelectronicInform.

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五、分子光譜與分子結(jié)構(gòu)所有的原子和分子均能吸收電磁波，且對(duì)吸收的波長(zhǎng)具有選擇性分子的能量具有量子化特征，特征分子能級(jí)分子被光激發(fā)時(shí)，能級(jí)發(fā)生躍遷，產(chǎn)生吸收或發(fā)射光譜，能級(jí)提高，由基態(tài)躍遷到激發(fā)態(tài)化合物吸收或發(fā)射光量子時(shí)產(chǎn)生的光譜，叫分子光譜，比原子光譜復(fù)雜；后者為線狀光譜，前者為帶狀光譜Schl.ofOptoelectronicInform.

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五、分子光譜與分子結(jié)構(gòu)（續(xù)）從分子光譜中能得到分子中電子運(yùn)動(dòng)（電子結(jié)構(gòu)）和原子核振動(dòng)與轉(zhuǎn)動(dòng)的詳盡知識(shí)可進(jìn)行定性分析與定量分析，還能用以測(cè)量分子的能級(jí)、鍵長(zhǎng)、鍵角、力常數(shù)和轉(zhuǎn)動(dòng)慣量等微結(jié)構(gòu)參數(shù)歷史上，光譜數(shù)據(jù)對(duì)量子力學(xué)、結(jié)構(gòu)化學(xué)和光譜學(xué)的形成和發(fā)展，作出了不可磨滅的貢獻(xiàn)Schl.ofOptoelectronicInform.

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六、分子光譜分類分子光譜是分子內(nèi)部運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的反映，與分子能級(jí)有關(guān)分子內(nèi)的運(yùn)動(dòng)有：分子間的平動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)；原子間的相對(duì)振動(dòng)、電子躍遷、核的自旋躍遷。除了平動(dòng)外，其它運(yùn)動(dòng)都是量子化的Schl.ofOptoelectronicInform.

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1、分子吸收光譜純粹的轉(zhuǎn)動(dòng)光譜只涉及分子轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)的改變，不產(chǎn)生振動(dòng)和電子狀態(tài)的改變分子轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)躍遷能量變化很?。?0-4~10-2eV，吸收或輻射電磁波的波長(zhǎng)較長(zhǎng)：10-4~10-2m，在微波和遠(yuǎn)紅外區(qū)，稱為分子轉(zhuǎn)動(dòng)光譜轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)躍遷時(shí)能量很小，不會(huì)引起振動(dòng)和電子能級(jí)的躍遷，轉(zhuǎn)動(dòng)光譜最簡(jiǎn)單，是線狀光譜振動(dòng)光譜源于分子振動(dòng)能級(jí)間的躍遷，能量：0.5~1eV，伴有轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)改變，譜線密集，有細(xì)微結(jié)構(gòu)，吸收峰加寬，稱為“振動(dòng)-轉(zhuǎn)動(dòng)”吸收帶或“振動(dòng)”吸收，出現(xiàn)在紅外區(qū)，又稱“振動(dòng)-轉(zhuǎn)動(dòng)”光譜Schl.ofOptoelectronicInform.

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1、分子吸收光譜（續(xù)）紅外吸收光譜主要用于鑒定化合物的官能團(tuán)及異構(gòu)體分析，是定性鑒定化合物及其結(jié)構(gòu)的重要方法之一拉曼（Raman）光譜和紅外光譜一樣，研究分子的轉(zhuǎn)動(dòng)和振動(dòng)能級(jí)結(jié)構(gòu)，二者的起因和原理并不相同Raman光譜建立在拉曼散射效應(yīng)的基礎(chǔ)上，利用拉曼位移研究物質(zhì)結(jié)構(gòu)，是分子對(duì)單色光的散射引起，間接觀察分子振動(dòng)能級(jí)的躍遷紅外光譜直接觀察樣品分子對(duì)輻射能量的吸收情況Schl.ofOptoelectronicInform.

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2、分子發(fā)射光譜分子發(fā)射光譜包括熒光光譜和磷光光譜，是光致發(fā)光光譜某些物質(zhì)受紫外光激發(fā)后，在回到基態(tài)的過(guò)程中發(fā)射出比原激發(fā)波長(zhǎng)更長(zhǎng)的熒光，產(chǎn)生分子熒光光譜（MFS）MFS具有高靈敏度和選擇性，可用于研究熒光物質(zhì)的結(jié)構(gòu)，適宜生物大分子研究，可進(jìn)行定量分析熒光產(chǎn)生于單線激發(fā)態(tài)向基態(tài)躍遷，而分子磷光光譜（MPS）是單線激發(fā)態(tài)先過(guò)渡到三線激發(fā)態(tài)，然后由三線激發(fā)態(tài)躍遷返回到基態(tài)產(chǎn)生的MPS主要應(yīng)用于環(huán)境分析和藥物分析中有機(jī)化合物的測(cè)定Schl.ofOptoelectronicInform.

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3、核磁共振波譜核磁共振波譜（NMR）是波長(zhǎng)為射頻（106~109μm）、頻率為兆赫茲、能量很低的電磁波照射樣品分子不引起分子的振動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)躍遷，也不引起電子能級(jí)躍遷，但能與磁性原子核相互作用磁性原子核的能量在強(qiáng)磁場(chǎng)下裂分為兩個(gè)或兩個(gè)以上的能級(jí)，吸收射頻輻射后發(fā)生能級(jí)躍遷，稱為核磁共振波譜由高分辨溶液NMR譜、固體高分辨NMR譜以及寬譜線NMR譜有使用價(jià)值僅限于1H、13C、19F、31P以及15N等少數(shù)原子核，其中以氫譜和碳譜應(yīng)用最為廣泛Schl.ofOptoelectronicInform.

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3、核磁共振波譜（續(xù)）NMR成像技術(shù)可以直接觀察材料的空間立體構(gòu)象和內(nèi)部缺陷，指導(dǎo)材料加工過(guò)程N(yùn)MR法具有精密、準(zhǔn)確、深入物質(zhì)內(nèi)部而不破壞被測(cè)樣品的特點(diǎn)超高分辨率NMR譜儀的發(fā)展以及二維及多維脈沖技術(shù)的應(yīng)用，為生物大分子和高分子材料結(jié)構(gòu)的研究，開(kāi)辟了廣闊的道路，為研究材料微觀結(jié)構(gòu)的組成與生物功能的關(guān)系，提供了更豐富、更可靠的科學(xué)依據(jù)高分辨固體NMR技術(shù)，為直接研究固體材料的化學(xué)組成、形態(tài)、構(gòu)型、構(gòu)象以及化學(xué)動(dòng)力學(xué)過(guò)程等，提供了有效的實(shí)驗(yàn)方法Schl.ofOptoelectronicInform.

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第一節(jié)振動(dòng)光譜-紅外光譜紅外光譜主要是吸收光譜；適用于檢測(cè)有機(jī)高分子材料組成與結(jié)構(gòu)；也可用于檢測(cè)無(wú)機(jī)非金屬材料及其與有機(jī)高分子形成的復(fù)合材料的組成與結(jié)構(gòu)。Schl.ofOptoelectronicInform.

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一、概述也可稱紅外吸收光譜分析；被吸收的特征頻率取決于物質(zhì)的化學(xué)組成和內(nèi)部結(jié)構(gòu)；特別適用于有機(jī)物內(nèi)部結(jié)構(gòu)分析；對(duì)于鑒別官能團(tuán)的種類特別有效。Schl.ofOptoelectronicInform.

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二、紅外光譜的形成和紅外區(qū)的分類近紅外：0.75～2.00μm中紅外：2～25μm遠(yuǎn)紅外：25～1000μm紅外區(qū)使用的波長(zhǎng)單位是微米（μm）；常常以“波數(shù)”（cm-1）做單位：波數(shù)＝104/λ，其中λ的單位為nmSchl.ofOptoelectronicInform.

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三、紅外光譜分析的理論基礎(chǔ)IR-Infrared波長(zhǎng)：2500～25000nm（2.5~25μm）波數(shù)：4000～400cm-1產(chǎn)生紅外吸收的條件：a.輻射能與受激態(tài)和基態(tài)間的能量差一致；b.振動(dòng)時(shí)分子的偶極矩有所改變；c.與其它吸收峰不重疊；d.有足夠強(qiáng)度能被檢測(cè)出；e.在儀器掃描的波數(shù)范圍內(nèi)。Schl.ofOptoelectronicInform.

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四、紅外光譜基本原理及應(yīng)用紅外光譜的產(chǎn)生來(lái)源于分子對(duì)入射光子能量的吸收而產(chǎn)生的振動(dòng)能級(jí)的躍遷；分子振動(dòng)從基態(tài)躍遷到高能態(tài)，伴隨有偶極矩的改變者就吸收紅外光子，形成紅外吸收譜。Schl.ofOptoelectronicInform.

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四、紅外光譜基本原理及應(yīng)用（續(xù)）一切物質(zhì)都有運(yùn)動(dòng)，分子（共價(jià)鍵連接原子）也有運(yùn)動(dòng)；分子運(yùn)動(dòng)服從量子力學(xué)規(guī)律，其能量由平動(dòng)能、轉(zhuǎn)動(dòng)能、振動(dòng)能、電子能四個(gè)部分組成；分子的平移運(yùn)動(dòng)可以連續(xù)變化，不是量子化的；并非所有的能級(jí)之間的躍遷都是可能的；振動(dòng)光譜選律：振動(dòng)光譜分為紅外光譜和拉曼光譜；從量子力學(xué)的觀點(diǎn)來(lái)看，振動(dòng)時(shí)分子偶極矩發(fā)生變化，則振動(dòng)是紅外活性的；振動(dòng)時(shí)分子極化率發(fā)生變化，則振動(dòng)是拉曼活性的；振動(dòng)時(shí)偶極矩和極化率都發(fā)生變化，則振動(dòng)既是紅外活性的、也是拉曼活性的。Schl.ofOptoelectronicInform.

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分子的轉(zhuǎn)動(dòng)光譜主要是指氣體的轉(zhuǎn)動(dòng)光譜（自學(xué)）；分子的純振動(dòng)光譜雙原子分子的伸縮振動(dòng)

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分子的純振動(dòng)光譜多原子的分子的振動(dòng)Schl.ofOptoelectronicInform.

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分子的振-轉(zhuǎn)光譜Schl.ofOptoelectronicInform.

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振動(dòng)模式伸縮振動(dòng)

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雙原子的伸縮振動(dòng)

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對(duì)稱伸縮振動(dòng)

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對(duì)稱伸縮振動(dòng)

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反對(duì)稱伸縮振動(dòng)

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彎曲振動(dòng)

變角振動(dòng)

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對(duì)稱變角振動(dòng)

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反對(duì)稱（不對(duì)稱）變角振動(dòng)

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面內(nèi)彎曲振動(dòng)

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面外彎曲振動(dòng)

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面內(nèi)搖擺振動(dòng)

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面外搖擺振動(dòng)

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卷曲振動(dòng)

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關(guān)于倍頻峰對(duì)于非諧振子，可以從振動(dòng)能級(jí)n=0向n=2或n=3或更高的振動(dòng)能級(jí)躍遷，稱為倍頻振動(dòng)。Schl.ofOptoelectronicInform.

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合（組）頻峰振動(dòng)耦合——基頻振動(dòng)頻率相同或相近費(fèi)米共振——一種振動(dòng)倍頻或合頻與另一種基頻相近誘導(dǎo)效應(yīng)——電子云密度移動(dòng)共軛效應(yīng)——π~π共軛和p~π共軛氫鍵效應(yīng)——分子間氫鍵和內(nèi)氫鍵這些內(nèi)容可以自學(xué)，對(duì)于全面理解紅外光譜有意義1、分析試樣的處理試樣的濃度和厚度要適中；不應(yīng)含有游離水；多組分試樣預(yù)先進(jìn)行組分分離1）壓片法堿金屬鹵化物KBr,KCl2）薄膜法在紅外透明基片上“沉積薄膜”Schl.ofOptoelectronicInform.

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2、紅外分光光度計(jì)光學(xué)、電學(xué)和機(jī)械三者的綜合體；由紅外光源、單色器、紅外光檢測(cè)器等構(gòu)成；1）色散型紅外分光光度計(jì)

圖3-8-2圖3-9-2傅立葉變換紅外分光光度計(jì)（FT－IR）2）影響紅外分光光度計(jì)測(cè)量的因素a.分辨率；b.測(cè)量準(zhǔn)確度；c.掃描速度

“波數(shù)校正”的應(yīng)用Schl.ofOptoelectronicInform.

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3、紅外光譜與分子結(jié)構(gòu)

官能團(tuán)區(qū)：4000～1330cm-1（2.5~7.5μm）指紋區(qū)：1330~400cm-1（7.5~25μm）4、有關(guān)無(wú)機(jī)物的紅外光譜結(jié)構(gòu)基團(tuán)或化合物

圖3-23-2表3-5-25、紅外光譜的應(yīng)用與分析Schl.ofOptoelectronicInform.

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定性分析：根據(jù)某物質(zhì)紅外譜圖吸收峰的位置、形狀、強(qiáng)度定量分析：根據(jù)吸收峰的強(qiáng)度（在標(biāo)定的前提下）（一）用于定性化學(xué)分析與標(biāo)準(zhǔn)譜對(duì)照：試樣狀態(tài)、結(jié)晶形狀、溶劑效應(yīng)、其它（二）未知物結(jié)構(gòu)的測(cè)定有時(shí)需要結(jié)合其它分析手段，進(jìn)行綜合判定（1）譜圖解析官能團(tuán)區(qū)－－指紋區(qū)（2）未知物結(jié)構(gòu)分析舉例

氫化非晶硅（a-全譜）；（b-指紋區(qū)）

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氣體壓強(qiáng)對(duì)a-Si:H薄膜紅外吸收譜的影響Schl.ofOptoelectronicInform.

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不同NH3流量制備a-SiNx:H薄膜的FTIR吸收譜Schl.ofOptoelectronicInform.

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不同硅烷氣體溫度下制備a-Si:H薄膜的FTIR吸收譜Schl.ofOptoelectronicInform.

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不同硅烷氣體溫度下制備a-Si:H薄膜的FTIR吸收譜Schl.ofOptoelectronicInform.

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不同硅烷氣體溫度下制備a-Si:H薄膜的FTIR吸收譜Schl.ofOptoelectronicInform.

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不同硅烷氣體溫度下制備a-Si:H薄膜的FTIR吸收譜Schl.ofOptoelectronicInform.

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不同硅烷氣體溫度下制備a-Si:H薄膜的FTIR吸收譜Schl.ofOptoelectronicInform.

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（3）定量分析

朗伯定律：T=I/Io

=exp(-μL)或：A=lgIo/I=μo朗伯－比爾定律：A=lg1/T=lgIo/I=ECLE：消光系數(shù)C：濃度L：光程長(zhǎng)度6、用紅外光譜研究聚合反應(yīng)在高分子材料科學(xué)和高分子工程中有廣泛的應(yīng)用。Schl.ofOptoelectronicInform.

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7、紅外吸收法測(cè)定硅單晶中的氧、碳含量

氧的測(cè)定：2.5×1015～3.0×1018原子/cm3

碳的測(cè)定：5.0×1015～3.0×1018原子/cm3

8、紅外標(biāo)準(zhǔn)譜圖文獻(xiàn)及其檢索

1）薩特勒標(biāo)準(zhǔn)紅外光譜圖2）商品紅外光譜圖（ASTM）3）關(guān)于索引

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第二節(jié)振動(dòng)光譜-激光拉曼光譜激光拉曼光譜是紅外光譜的重要補(bǔ)充；適用于檢測(cè)有機(jī)高分子材料組成與結(jié)構(gòu)；也可用于檢測(cè)無(wú)機(jī)非金屬材料及其與有機(jī)高分子形成的復(fù)合材料的組成與結(jié)構(gòu)。Schl.ofOptoelectronicInform.

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拉曼散射：1928年，印度科學(xué)家C.V.Raman與K.S.Krishnan發(fā)現(xiàn)新的光散射現(xiàn)象ω0±ωM，ωM是與分子振動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)相關(guān)的頻率。1930年獲得諾貝爾物理獎(jiǎng)。Raman散射的實(shí)質(zhì)：光子與分子發(fā)生非彈性碰撞時(shí)，光子將能量交給分子后，分子的振動(dòng)能級(jí)得到激發(fā)并產(chǎn)生散射光。

Raman散射需要用全量子理論的方法論述。分子在振動(dòng)中極化率發(fā)生變化，才屬于拉曼活性；分子在振動(dòng)中偶極矩發(fā)生變化，屬于紅外活性。Schl.ofOptoelectronicInform.

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在拉曼散射中，光子把一部分能量給樣品分子，使部分基態(tài)分子躍遷到激發(fā)態(tài)，散射光能量減少，在垂直方向上可以檢測(cè)到頻率為（ν0-Δν）的譜線，稱為斯托克斯線。相反，光子從激發(fā)態(tài)分子中獲得能量，樣品分子從激發(fā)態(tài)回到基態(tài)，則在可以檢測(cè)到頻率為（ν0+Δν）的譜線，稱為反斯托克斯線。斯托克斯線及反斯托克斯線與入射光頻率的差，稱為拉曼位移。拉曼位移的大小與分子的躍遷能級(jí)差有對(duì)應(yīng)關(guān)系。Schl.ofOptoelectronicInform.

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激光拉曼光譜與紅外光譜的比較：物理過(guò)程不同都能提供分子振動(dòng)頻率的信息，拉曼效應(yīng)為散射過(guò)程，紅外光譜是吸收光譜。選擇性定則不同偶極矩變化對(duì)應(yīng)紅外活性，極化率變化對(duì)應(yīng)拉曼活性Raman光譜的優(yōu)點(diǎn)1、Raman光譜是一個(gè)散射過(guò)程，任何尺寸、形狀、透明度的樣品，只要能夠被激光照射到，可Raman光譜測(cè)試。由于激光束可以聚焦，Raman光譜可以測(cè)量極微量的樣品。Schl.ofOptoelectronicInform.

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Raman光譜的優(yōu)點(diǎn)（續(xù)）2、水的Raman散射極弱，Raman光譜可以測(cè)量含水樣品；玻璃的Raman散射也較弱，因而玻璃可作為理想的窗口材料，用于Raman光譜測(cè)量。3、對(duì)于聚合物及其他分子，Raman散射的選擇性定則限制較小，可以得到更為豐富的譜線。S-S,C-C,C=C,N=N等紅外較弱的官能團(tuán)，在Raman譜中信號(hào)較強(qiáng)。4、Raman效應(yīng)可用光纖傳遞，而紅外衰減極大。Schl.ofOptoelectronicInform.

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Raman光譜的不足存在熒光散射

強(qiáng)烈的熒光會(huì)掩蓋樣品信號(hào)。解決方案采用FT-Raman光譜儀：采用1.064nm近紅外激發(fā)，擬制電子吸收Schl.ofOptoelectronicInform.

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激光Raman光譜的應(yīng)用不同稀釋比薄膜的拉曼圖譜當(dāng)R=3時(shí)薄膜的拉曼TO峰在480附近，說(shuō)明了薄膜是非晶硅。當(dāng)R≧6時(shí)薄膜的TO峰移動(dòng)到了520附近，代表著納米晶粒的出現(xiàn)。隨著稀釋比的增加，TO峰的位置和強(qiáng)度也隨之變化。Schl.ofOptoelectronicInform.

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樣品氣體流量比(sccm)射頻功率密度(mW/cm2)晶粒直徑(nm)晶化率(%)ArSiH41301015000230515011.319380515011.8424120515012.563制備參數(shù)與拉曼分析結(jié)果薄膜晶化率的計(jì)算:因?yàn)榫Я５某叽绾苄?，所以β?Schl.ofOptoelectronicInform.

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不同氬稀釋比氫化硅薄膜拉曼光譜數(shù)據(jù)分析隨著稀釋比的增加ωTO也在增加，但是ΓTO卻在減小。這樣的變化趨勢(shì)意味著薄膜的短程有序性隨著稀釋比的增加而得到了改善。從圖中還可以看到，ITA/ITO隨著稀釋比的增加而減小，說(shuō)明薄膜的中程有序性也得到了改善。圖中第三條曲線的下降代表著薄膜中缺陷度的減小。Schl.ofOptoelectronicInform.

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