《半導體行業(yè)超純水工藝預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認證技術(shù)要求》

1半導體行業(yè)超純水工藝預(yù)處理陰陽塔用離子交換樹脂產(chǎn)品認證技術(shù)要求本文件適用于半導體行業(yè)超純水制備用的預(yù)處理陰陽塔用離子交核級陰離子交換樹脂中氯型、碳酸型、硫酸型離子交換樹脂粒度分布測定方法離子交換樹脂粒度、有效粒徑和均離子交換樹脂強度測定方法滲磨法離子交換樹脂滲磨圓球率、半導體行業(yè)超純水ultrapurewaterforsemiconductorin歐姆厘米(Ω·cm純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm（25℃)。2總有機碳totalorganic4.1強酸性陽離子交換樹脂4.1.1外觀黃色至褐色球狀顆粒。棕黃色至棕褐色(鈉型)，青褐色(氫型)球狀顆4.1.3理化性能%%%0.4mm0.50.4mm0.5%(>0.85mm9.5(>0.85mm4.5%4.2弱酸性陽離子交換樹脂4.2.1外觀4.2.3理化性能3%%%%＜0.315mm1%>1.25mm4%4.3強堿性陰離子交換樹脂4.3.1外觀4.3.3理化性能%%%%%≥80%4.4弱堿性陰離子交換樹脂4.4.1外觀44.4.3理化性能%%%%%4.5運行參數(shù)在規(guī)定的進水條件和裝置條件下，運行產(chǎn)水應(yīng)符合表5中規(guī)定的各項技術(shù)5.2游離水分測定測試除去外層包裝(編織袋或桶)后，將用透明塑料袋包裝的樹脂豎起直立，約10mi于容器中計量。應(yīng)從到貨樹脂中至少測定3件(袋或桶)，以所收集量的平均值計算整批到貨樹脂游離水5.3試樣預(yù)處理5.4含水量的測定5.5體積交換容量的測定5氫型樹脂交換容量用經(jīng)過預(yù)處理的試樣25mL，按GB/T8144-2008標鈉型樹脂交換容量按照GB/T8144氫氧型陰樹脂采用GB/T5760-2000氫氧型陰離子交換樹脂交換容量測定方法中規(guī)定的方法進行測氯型陰樹脂采用GB/T11992-2008氯型強堿性陰離子交換樹脂交換容量測定方法中規(guī)定的方法進Qv=Qwp(1?X)#(1)X——含水量，%。5.6濕視密度的測定濕視密度按GB/T8331-2008中規(guī)5.7濕真密度的測定濕真密度測定按GB/T8330-2008中規(guī)5.8粒度、有效粒徑和均一系數(shù)的測定粒度、有效粒徑和均一系數(shù)按GB/T5758-2001中規(guī)定5.9滲磨圓球率的測定滲磨圓球率測定用不經(jīng)篩分的原樣按GB/5.10運行參數(shù)的測定5.10.1試驗條件5.10.2試驗儀器——二氧化硅測定儀：量程0.03μg/L~0.2mg/L，精——總有機碳測定儀：量程0.03μg/L~50m