T-ZZB 3539-2023 單晶硅棒磨倒一體機(jī)_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載ICS

25.080.50學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載CCS

J

55 T/ZZB

3539—2023單晶硅棒磨倒一體機(jī)Mono-silicon

and

chamfering

發(fā)布

浙江省質(zhì)量協(xié)會(huì) 發(fā)

布學(xué)ww.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)兔兔w下載學(xué)ww.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)兔兔w下載學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載 前 言

.............................................................................II1

...............................................................................12 規(guī)范性引用文件

.....................................................................13 術(shù)語(yǔ)和定義

.........................................................................14 基本參數(shù)

...........................................................................15

...............................................................................26 基本要求

...........................................................................27 技術(shù)要求

...........................................................................38 試驗(yàn)方法

...........................................................................49 檢驗(yàn)規(guī)則

...........................................................................710 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存

............................................................811 質(zhì)量承諾

..........................................................................8附錄

A(規(guī)范性)

精度項(xiàng)目要求及檢驗(yàn)方法............................................... 10學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載 本文件按照GB/T

1.1—《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則

第1草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由浙江省質(zhì)量協(xié)會(huì)歸口。本文件主要起草單位:天通日進(jìn)精密技術(shù)有限公司。本文件參與起草單位:嘉興學(xué)院、嘉興嘉麟智能科技有限公司。王濤、朱一豪、何振衛(wèi)、周振峰、王銳。本文件評(píng)審專家組長(zhǎng):陳鋒。II學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載1 范圍驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存及質(zhì)量承諾。本文件適用于加工邊距尺寸為

mm~

mm

2 規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,文件。GB/T

307.1—2017 滾動(dòng)軸承向心軸承 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GB

2894 安全標(biāo)志及其使用導(dǎo)則GB/T

3177 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS) 光滑工件尺寸的檢驗(yàn)GB/T

—2019 機(jī)械電氣安全 機(jī)械電氣磨倒一體機(jī) 第

1

部分:通用技術(shù)條件GB/T

7344 交流伺服電動(dòng)機(jī)通用技術(shù)條件GB/T

9969 工業(yè)產(chǎn)品使用說(shuō)明書 GB/T

10610 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)

表面結(jié)構(gòu) 輪廓法 評(píng)定表面結(jié)構(gòu)的規(guī)則和方法GB/T

14264 半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)GB

15760—2004 金屬切削機(jī)床 安全防護(hù)通用技術(shù)條件GB/T

—1998 機(jī)床檢驗(yàn)通則 第

1

:在無(wú)負(fù)荷或精加工條件下機(jī)床的幾何精度GB/T

—2017 滾珠絲杠副 第

3

部分:驗(yàn)收條件和驗(yàn)收檢驗(yàn)JB/T

7665— 通用機(jī)械噪聲聲功率級(jí)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)定 聲強(qiáng)法JB/T

—2014 無(wú)心外圓磨床 第

2

部分:技術(shù)條件3術(shù)語(yǔ)和定義GB/T

14264界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。3.1單晶硅棒磨倒一體機(jī) mono-silicon

grinding

and

chamfering

integrated

machine集磨面和棱邊倒角功能于一體的單晶硅棒加工設(shè)備。4基本參數(shù)磨倒一體機(jī)的基本參數(shù)應(yīng)符合表1的規(guī)定?!?000每個(gè)砂輪可獨(dú)立控制/mm156

xwzf.b學(xué)兔兔www.com標(biāo)準(zhǔn)下載T/ZZB

3539—xwzf.b學(xué)兔兔www.com標(biāo)準(zhǔn)下載表1 基本參數(shù)5 型號(hào)磨倒一體機(jī)型號(hào)編制規(guī)則如下:XXMD XX X

MD

XX

MD

1000

6基本要求6.1 設(shè)計(jì)研發(fā)6.1.1應(yīng)采用計(jì)算機(jī)輔助軟件進(jìn)行產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),采用三維模擬裝配方法進(jìn)行產(chǎn)品驗(yàn)證。6.1.2 應(yīng)采用仿真軟件對(duì)磨頭、立柱、壓緊頭等主體結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度、剛性特性進(jìn)行分析、校核。6.1.3 應(yīng)具備滿足客戶個(gè)性化定制需求的模塊化、智能化設(shè)計(jì)研發(fā)能力。6.2 原材料與零部件6.2.1主軸用角接觸球軸承精度等級(jí)應(yīng)不低于

GB/T

307.1—2017

5

級(jí)的要求。6.2.2滾珠絲杠精度應(yīng)不低于

17587.3—2017

7

級(jí)的要求。6.2.3 伺服電機(jī)應(yīng)符合

GB/T

的規(guī)定。6.3 工藝與裝備6.3.1磨倒一體機(jī)各部件應(yīng)采用專用工裝、夾具進(jìn)行組裝。學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載6.3.2 壓緊立柱、立柱部件應(yīng)采用精度不低于

0.01

的數(shù)控機(jī)床或加工中心進(jìn)行加工。6.4 檢驗(yàn)檢測(cè)6.4.1 應(yīng)具備幾何精度、加工精度、安全防護(hù)及功能要求等項(xiàng)目檢測(cè)能力。6.4.2 應(yīng)配備三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、硬度測(cè)試儀、振動(dòng)測(cè)試儀、聲級(jí)計(jì)等檢測(cè)設(shè)備。7 技術(shù)要求7.1 外觀7.1.1 外表面不應(yīng)有凸起、凹陷、粗糙不平、磕碰、劃傷和銹蝕。7.1.2 非機(jī)械加工的金屬外表面應(yīng)具有涂層防護(hù)。7.1.3 電氣、氣動(dòng)、潤(rùn)滑和冷卻等管道的外露部分應(yīng)布置緊湊,排列整齊,必要時(shí)應(yīng)用管夾固定。管子不應(yīng)產(chǎn)生扭曲、折疊與撕裂現(xiàn)象。7.1.4 外露的焊縫應(yīng)平直、均勻,不應(yīng)有裂紋、雜渣、焊瘤、燒穿等外觀缺陷。7.1.5 涂層應(yīng)光滑、平整,顏色、表面光澤應(yīng)均勻一致,不應(yīng)有明顯的刷痕、桔皮、起皺等缺陷。7.1.6 各種標(biāo)牌應(yīng)清晰、耐久,并應(yīng)固定在明顯位置,牢固、平整、不歪斜。7.2 功能要求7.2.1 控制系統(tǒng)應(yīng)具有程序參數(shù)設(shè)置、手動(dòng)和自動(dòng)操作的功能,顯示裝置應(yīng)能正確顯示工作參數(shù)。7.2.2 控制系統(tǒng)應(yīng)具有故障報(bào)警顯示功能。7.2.3 應(yīng)具有自動(dòng)上下料、自動(dòng)對(duì)接、自動(dòng)工序轉(zhuǎn)移等功能。7.2.4 裝夾應(yīng)準(zhǔn)確、可靠,并有到位自鎖功能。7.2.5 運(yùn)動(dòng)部件在中等進(jìn)給速度時(shí),正、負(fù)向啟動(dòng)、停止的控制應(yīng)靈活、可靠、準(zhǔn)確。7.2.6 7.2.7 氣動(dòng)裝置密封性和潤(rùn)滑性能良好,控制動(dòng)作靈活、準(zhǔn)確,且無(wú)滲(泄)漏現(xiàn)象。7.2.8 安全、保險(xiǎn)、防護(hù)裝置以及電氣系統(tǒng)的控制、聯(lián)鎖、保護(hù)功能應(yīng)可靠,動(dòng)作應(yīng)靈活、準(zhǔn)確。7.2.9 在操作界面中應(yīng)具有自動(dòng)磨削模式設(shè)置功能,能設(shè)置或修改砂輪轉(zhuǎn)速、磨削量、進(jìn)給速度、進(jìn)給行程等參數(shù)。7.3 整機(jī)性能7.3.1 空載性能7.3.1.1 軸承溫升不應(yīng)超過(guò)

K。7.3.1.2 運(yùn)動(dòng)部件移動(dòng)應(yīng)平穩(wěn)、靈活,無(wú)明顯爬行和振動(dòng),限位應(yīng)可靠。7.3.1.3 磨倒一體機(jī)的空運(yùn)轉(zhuǎn)噪聲聲壓級(jí)應(yīng)不大于

80

(A)。7.3.2 負(fù)載性能7.3.2.1 震動(dòng)、異響等不良現(xiàn)象。7.3.2.2 氣動(dòng)系統(tǒng)、潤(rùn)滑系統(tǒng)工作應(yīng)穩(wěn)定可靠,各聯(lián)結(jié)處無(wú)滲漏現(xiàn)象。7.4 生產(chǎn)效率7.4.1 長(zhǎng)度為

700

mm

mm×182

mm

min。/mm±0./mm0.05a

≤0.

RaRa0.1Ra0.2590±0./mm≤0.

/700a

方棒邊距極差針對(duì)于同一根硅棒。ww兔w學(xué)兔.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載T/ZZB

3539—ww兔w學(xué)兔.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載7.4.2長(zhǎng)度為

700

mm

mm×182

mm

min。7.5 安全防護(hù)7.5.1 電氣系統(tǒng)布線符合

GB/T

5226.1—2019

章的規(guī)定7.5.2 指示燈和顯示器應(yīng)符合

5226.1—2019

10.3

的規(guī)定。7.5.3 光標(biāo)按鈕應(yīng)符合

GB/T

—2019

10.4

的規(guī)定。7.5.4 電氣系統(tǒng)標(biāo)記、警告標(biāo)示和參照代號(hào)應(yīng)符合

GB/T

5226.1—2019

章的規(guī)定。7.5.5 磨倒一體機(jī)外露可導(dǎo)電部分應(yīng)按照

5226.1—2019中8.2.1的要求連接到保護(hù)聯(lián)結(jié)電路上。保護(hù)聯(lián)結(jié)電路的連續(xù)性應(yīng)符合

GB/T

5226.1—2019

8.2.3

的規(guī)定。

端子和各保護(hù)聯(lián)結(jié)電路部件的有關(guān)點(diǎn)之間的每一個(gè)保護(hù)聯(lián)結(jié)電路的電阻應(yīng)不大于

0.1

7.5.6 在動(dòng)力電路導(dǎo)線和保護(hù)聯(lián)結(jié)電路間施加

Vd.c

時(shí)測(cè)得的絕緣電阻應(yīng)不小于

1

M7.5.7在動(dòng)力電路導(dǎo)線和保護(hù)接地電路之間應(yīng)經(jīng)受

Hz,1000

V

1

s

和擊穿現(xiàn)象。7.5.8 磨倒一體機(jī)的安全防護(hù)應(yīng)符合

15760—2004

5.5.1

的規(guī)定。7.6 精度7.6.1 幾何精度磨倒一體機(jī)的幾何精度應(yīng)符合附錄A中表的規(guī)定。7.6.2 進(jìn)給精度磨倒一體機(jī)的進(jìn)給精度應(yīng)符合附錄A中表的規(guī)定。7.6.3 上料定位精度磨倒一體機(jī)的工件上料定位精度應(yīng)不大于0.02

mm。7.6.4 工件精度磨倒一體機(jī)的工件精度應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2 工件精度8 試驗(yàn)方法8.1 外觀采用感官法進(jìn)行。mmrpmmmmm/min200#800#40030000.02800兔w兔學(xué)ww.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載T/ZZB

3539—兔w兔學(xué)ww.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載8.2 功能要求8.2.1 對(duì)磨倒一體機(jī)進(jìn)行程序參數(shù)設(shè)置、手動(dòng)和自動(dòng)操作,并檢查顯示裝置工作參數(shù)是否顯示正確。8.2.2 目測(cè)檢查控制系統(tǒng)是否有故障報(bào)警顯示功能。8.2.3 設(shè)置一個(gè)工作程序,進(jìn)行空運(yùn)轉(zhuǎn),核查磨倒一體機(jī)是否有自動(dòng)上下料、自動(dòng)對(duì)接、自動(dòng)工序轉(zhuǎn)移等功能。8.2.4 對(duì)磨倒一體機(jī)進(jìn)行裝夾操作,檢查是否準(zhǔn)確、可靠,并檢查是否有到位自鎖功能。8.2.5

試驗(yàn),并選擇適當(dāng)?shù)脑隽窟M(jìn)給進(jìn)行正、負(fù)向操作試驗(yàn),動(dòng)作應(yīng)靈活、可靠、準(zhǔn)確。手動(dòng)功能用目測(cè)法、觸摸法進(jìn)行。8.2.6 對(duì)磨倒一體機(jī)數(shù)字控制的各種指示燈、控制按鈕、機(jī)械按鈕等進(jìn)行操作及運(yùn)轉(zhuǎn)試驗(yàn),動(dòng)作應(yīng)靈活、可靠。8.2.7 漏現(xiàn)象。8.2.8 動(dòng)作應(yīng)靈活、準(zhǔn)確。8.2.9 在操作界面中選擇自動(dòng)切割模式,并設(shè)置砂輪轉(zhuǎn)速、磨削量、進(jìn)給速度、進(jìn)給行程等參數(shù)進(jìn)行模擬切割試驗(yàn),整個(gè)操作過(guò)程能順利完成。8.3 整機(jī)性能8.3.1 空載性能8.3.1.120±2

3000

rpm

30

溫度,并在靠近軸承處用紅外測(cè)溫儀檢測(cè)。8.3.1.2 在室溫(20±2)℃條件下,砂輪轉(zhuǎn)速

3000

rpm,連續(xù)運(yùn)行

30

條件下,運(yùn)動(dòng)部件高速進(jìn)

2/3

要求。8.3.1.3 噪聲聲壓級(jí)按

JB/T

7665—2007

進(jìn)行測(cè)量。8.3.2負(fù)載性能采用表3規(guī)定的的試驗(yàn)參數(shù)進(jìn)行負(fù)載試驗(yàn),檢查運(yùn)行情況。表3 試驗(yàn)參數(shù)8.4 生產(chǎn)效率8.4.1 在表

3

試驗(yàn)參數(shù)下運(yùn)行磨倒一體機(jī),對(duì)長(zhǎng)度為

700

,規(guī)格為

182

×

的硅方,當(dāng)砂輪際時(shí)間。8.4.2在表

3

試驗(yàn)參數(shù)下運(yùn)行磨倒一體機(jī),對(duì)長(zhǎng)度為

700

,規(guī)格為

182

×

的硅方,當(dāng)砂輪際時(shí)間。學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載8.5 安全防護(hù)8.5.1

電氣系統(tǒng)布線按

GB/T

—2019

中第

13

章規(guī)定的試驗(yàn)方法進(jìn)行。8.5.2

指示燈和顯示器按

GB/T

5226.1—2019

10.3

規(guī)定的試驗(yàn)方法進(jìn)行。8.5.3

按鈕按

GB/T

5226.1—

10.4

規(guī)定的試驗(yàn)方法進(jìn)行。8.5.4

電氣系統(tǒng)的標(biāo)記、警告標(biāo)志和參照代號(hào)按

GB/T

—2019

中第

16

章規(guī)定的試驗(yàn)方法進(jìn)行。8.5.5

保護(hù)聯(lián)接電路的連續(xù)性按

GB/T

—2019

規(guī)定的試驗(yàn)方法進(jìn)行。8.5.6

絕緣電阻按

GB/T

5226.1—2019

18.3

規(guī)定的試驗(yàn)方法進(jìn)行。8.5.7

耐壓試驗(yàn)按

GB/T

5226.1—2019

18.4

規(guī)定的試驗(yàn)方法進(jìn)行。8.5.8

安全防護(hù)按

GB

15760—

5

章規(guī)定的方法進(jìn)行。8.6 精度8.6.1 幾何精度按本文件附錄A中表的規(guī)定進(jìn)行。8.6.2 進(jìn)給精度按本文件附錄A中表的規(guī)定進(jìn)行。8.6.3上料定位精度試驗(yàn)具體步驟如下:a) 取工件上同一高度的四個(gè)面進(jìn)行測(cè)量;3 4Y Yb) 如圖

1

1、

3 4Y Yc)

1

3

高度,讀出

3

面的數(shù)值。同一樣測(cè)量工件的

2、4

面,得出的差值即為實(shí)際的工件在加工臺(tái)面上

X、

X、

軸的偏心值與磨倒一體機(jī)自帶的檢測(cè)的偏心值進(jìn)行對(duì)比,得出結(jié)論。圖1 工件上料測(cè)量示意圖8.6.4 工件精度7.18.17.28.27.3.18.3.17.3.28.3.27.48.4×7.5.18.5.17.5.28.5.27.5.38.5.37.5.48.5.47.5.58.5.5107.5.68.5.6117.5.78.5.7×127.5.88.5.8137.6.18.6.1147.6.28.6.2×157.6.38.6.3×167.6.48.6.4×om標(biāo)準(zhǔn).cxwzf.bww兔w學(xué)兔下載T/ZZB

3539—om標(biāo)準(zhǔn).cxwzf.bww兔w學(xué)兔下載8.6.4.1 邊距、直徑按

GB/T

3177

規(guī)定的方法進(jìn)行檢驗(yàn),用精度為

0.01

mm

的游標(biāo)卡尺測(cè)量方棒的對(duì)邊距離,測(cè)量部位至少包括頭、中、尾三個(gè)測(cè)量部位。8.6.4.2 粗糙度按

10610

規(guī)定的方法進(jìn)行。8.6.4.3 鄰面夾角采用分辨率為

°,精度為±0.03°的相應(yīng)檢具進(jìn)行。8.6.4.4平面度采用精度等級(jí)為

1

級(jí)規(guī)格不小于

1000

×

mm

的大理石平臺(tái)和精度為

0.01

的按表

3

的試驗(yàn)參數(shù)進(jìn)行方棒檢測(cè)。9 檢驗(yàn)規(guī)則9.1檢驗(yàn)分類產(chǎn)品檢驗(yàn)分出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。檢驗(yàn)項(xiàng)目見表4。表4 檢驗(yàn)項(xiàng)目9.2 出廠檢驗(yàn)9.2.1 出廠檢驗(yàn)由公司質(zhì)檢部門負(fù)責(zé),出廠檢驗(yàn)應(yīng)逐臺(tái)檢驗(yàn),出廠檢驗(yàn)項(xiàng)目見表

4。9.2.2 產(chǎn)品應(yīng)出廠檢驗(yàn)合格后方可出廠,并附有產(chǎn)品合格證。9.3 型式檢驗(yàn)9.3.1 當(dāng)出現(xiàn)下列情況之一時(shí),應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn):——試制的新產(chǎn)品或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)時(shí);——當(dāng)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、工藝或所用材料有重大改變時(shí);學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載——產(chǎn)品停產(chǎn)

1

年以上恢復(fù)生產(chǎn)時(shí);——出廠檢驗(yàn)結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)有較大差別時(shí)。9.3.2 應(yīng)從出廠檢驗(yàn)合格成品中隨機(jī)抽取

1

臺(tái)進(jìn)行型式檢驗(yàn),型式檢驗(yàn)項(xiàng)目見表

4

規(guī)定。9.3.3 型式檢驗(yàn)存在不合格項(xiàng)時(shí),判為不合格。10 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存10.1 標(biāo)志10.1.1 磨倒一體機(jī)都應(yīng)有銘牌。銘牌應(yīng)固定在明顯易見的位置上。10.1.2 對(duì)易造成人體傷害的位置應(yīng)設(shè)置符合

GB

2894

“當(dāng)心機(jī)械傷人”等標(biāo)志。10.1.3 磨倒一體機(jī)的銘牌上應(yīng)標(biāo)出下列各項(xiàng):——產(chǎn)品的型號(hào)和名稱;——產(chǎn)品編號(hào);——制造日期;——產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)號(hào);——生產(chǎn)廠名稱及地址。10.2 包裝及說(shuō)明書10.2.1 磨倒一體機(jī)的包裝應(yīng)有防銹、防潮措施。10.2.2 包裝箱上應(yīng)有怕雨、向上、小心輕放等字樣或標(biāo)志。10.2.3 使用說(shuō)明書的編寫應(yīng)符合

GB/T

9969

的要求,至少應(yīng)包括:——產(chǎn)品名稱;——產(chǎn)品概述(用途、特點(diǎn)、使用環(huán)境及主要使用性能指標(biāo)和額定參數(shù)等);——線路圖、接地說(shuō)明;——安裝和使用要求,維護(hù)和保養(yǎng)注意事項(xiàng);——產(chǎn)品附件名稱、數(shù)量、規(guī)格;——常見故障及處理辦法一覽表,售后服務(wù)事項(xiàng)和生產(chǎn)者責(zé)任;——生產(chǎn)廠名和地址。10.3 運(yùn)輸?shù)雀g物品混運(yùn)。10.4 貯存10.4.1

或側(cè)放。10.4.2 對(duì)臨時(shí)露天存放的包裝箱應(yīng)采取防雨、防潮和防止碰撞等措施。11 質(zhì)量承諾11.1 在符合使用說(shuō)明書的條件下,產(chǎn)品自到貨之日起質(zhì)保期

個(gè)月,在質(zhì)保期內(nèi)如出現(xiàn)因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題造成的磨倒一體機(jī)故障,生產(chǎn)廠應(yīng)進(jìn)行免費(fèi)維修。學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載T/ZZB

3539—學(xué)兔兔www.bzfxw.com標(biāo)準(zhǔn)下載11.2如出現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量訴求時(shí),生產(chǎn)廠應(yīng)在

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小時(shí)內(nèi)做出響應(yīng),24

小時(shí)內(nèi)提供解決處理方案。準(zhǔn)zf.bxw學(xué)兔兔www.com標(biāo)下載T/ZZB

3539—準(zhǔn)zf.bxw學(xué)兔兔www.com標(biāo)下載AA附 錄 A(規(guī)范性)精度項(xiàng)目要求及檢驗(yàn)方法A.1 幾何精度檢驗(yàn)幾何精度檢驗(yàn)項(xiàng)目、允差及檢驗(yàn)方法見表A.1。表A.1檢驗(yàn)項(xiàng)目 G1簡(jiǎn)圖

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