采購需求及技術(shù)規(guī)格要求

采購需求及技術(shù)規(guī)格要求1、貨物需求一覽表序號貨物名稱數(shù)量預算（萬元）交貨期1射頻離子源等離子體改性系統(tǒng)16006個月2、工程技術(shù)要求大規(guī)模集成電路、半導體微納制造領(lǐng)域?qū)ι漕l等離子體源需求越來越大，為了研究低氣壓下大面積、均勻性、高密度射頻冷等離子體產(chǎn)生關(guān)鍵技術(shù)與物理特性，需要設(shè)計、加工制造一套射頻離子源等離子體改性系統(tǒng)，該系統(tǒng)有助于探索集成電路、半導體微納制造領(lǐng)域中等離子體刻蝕、鍍膜、清洗及特殊功能材料制備等關(guān)鍵技術(shù)。2.1、設(shè)備的主要用途及功能射頻離子源等離子體改性系統(tǒng)主要由主機和尾氣處理兩部組成。射頻離子源等離子體改性主機包括等離子體發(fā)生器包括射頻工藝腔體、供氣、真空、工藝控制、控制系統(tǒng)、安全系統(tǒng)等部分。射頻離子源等離子體改性主機主要用來測試與研究不同工藝條件對等離子體改性性能的影響，尾氣處理系統(tǒng)主要是對測試過程中產(chǎn)生的尾氣進行處理后達標排放。圖1射頻離子源等離子體改性系統(tǒng)示意圖2.3、工作條件設(shè)備安裝及環(huán)境要求：在安裝等離子刻蝕機時，需要保證設(shè)備具有穩(wěn)定、平整的安裝位置，并且能夠支撐設(shè)備的重量和大小。同時，應該保持房間內(nèi)部的潔凈和干燥。在使用等離子刻蝕機的過程中，還需要對室內(nèi)溫度、濕度、電磁場干擾等因素進行控制，以確保刻蝕質(zhì)量和設(shè)備的安全性。設(shè)備操作及預處理：在使用等離子刻蝕機之前，應該對待刻蝕材料進行清洗、退火等預處理，以提高刻蝕效果。同時，操作人員需要接受必要的培訓并熟悉設(shè)備的使用手冊，并了解不同的刻蝕模式和參數(shù)設(shè)置。在進行刻蝕操作時，需要保持設(shè)備穩(wěn)定運行，在刻蝕過程中不要中途停機或調(diào)整參數(shù)，以免影響刻蝕質(zhì)量和設(shè)備壽命。操作人員安全：在使用等離子刻蝕機時，操作人員需要遵守相關(guān)的安全規(guī)定。操作人員在進行等離子刻蝕操作時，需要佩戴防護手套、口罩以及防護眼鏡等個人防護設(shè)備，同時需要保證操作環(huán)境的通風良好，減少有害氣體對身體的危害。刻蝕氣體選擇：在使用等離子刻蝕機時，刻蝕氣體的選擇非常重要。不同的刻蝕氣體會對刻蝕材料產(chǎn)生不同的化學反應，因此需要根據(jù)刻蝕材料的性質(zhì)選擇合適的刻蝕氣體。在更換刻蝕氣體時，需要保持操作區(qū)域的通風，并對設(shè)備進行適當?shù)那逑春皖A處理。設(shè)備的維護與保養(yǎng)：等離子刻蝕機屬于高精密設(shè)備，需要進行定期的維護與保養(yǎng)。每次使用后，需要對設(shè)備進行清洗和消毒，并定期檢查和更換設(shè)備的耗材和易損件，以保證設(shè)備的正常運行和延長其使用壽命。廢棄物處理：在等離子刻蝕過程中，會產(chǎn)生有害廢棄物。這些廢棄物需要進行適當?shù)氖占吞幚恚员苊鈱Νh(huán)境造成污染。操作人員需要按照相關(guān)規(guī)定將廢棄物妥善存放，并按時交給專業(yè)機構(gòu)進行處理。2.4、技術(shù)性能指標要求表1主要硬件配置技術(shù)規(guī)格與性能硬件配置技術(shù)規(guī)格與性能要求系統(tǒng)數(shù)量模塊規(guī)格與要求工藝腔體1工藝腔體材質(zhì)Al6061等離子體源ICP：3kW，射頻偏壓：3kW下電極陽極氧化鋁，控溫范圍20-40℃升舉機構(gòu)Waferliftup/down限位機構(gòu)QuartzCoverRing腔體加熱模塊腔體加熱最高到40℃氣體供應1質(zhì)量流量計（MFC）4MFCS(ForH2/He/CF4/SF6/NF3/O2/N2/Ar)氣體過濾器4調(diào)壓閥4壓力計4真空系統(tǒng)1干泵抽速500m3/h工藝控制1蝶閥或鐘擺閥用于壓力控制薄膜硅真空計10T用于工藝控制大氣開關(guān)用于維護控制系統(tǒng)1PLC控制軟件Display安全系統(tǒng)1EMO1EMO安全互鎖Hardwareinterlock尾氣處理系統(tǒng)1尾氣處理柜處理NH3,H2,O2,CF4,SF6,NF3,CL2等電子特氣，總處理量：500SLM，通過SEMIS2安全認證。診斷系統(tǒng)1朗繆爾探針、光譜儀對等離子體溫度、密度等參數(shù)進行診斷要求：供應商根據(jù)采購人需求及三維設(shè)計圖，細化工程設(shè)計和圖紙，交付實物、圖紙及協(xié)助調(diào)試，知識產(chǎn)權(quán)歸采購人所有。2.5、技術(shù)服務要求及質(zhì)保要求供應商須提供完整的售后服務，產(chǎn)品質(zhì)保期不得低于1年，質(zhì)量保證期自最終驗收合格之日起算。質(zhì)保期內(nèi)產(chǎn)品出現(xiàn)故障，供應商應在收到采購人通知之后2小時響應。并在規(guī)定時間內(nèi)提供軟硬件故障的售后技術(shù)服務，具體為：24小時內(nèi)到達現(xiàn)場，48小時內(nèi)解決故障，緊急特殊情況按照采購人要求執(zhí)行。所有貨物保修服務方式均為供應商上門保修，由此產(chǎn)生的一切費用均由供應商承擔。質(zhì)保期過期后供應商需繼續(xù)提供維修和維護服務，配件與材料按照原合同價格執(zhí)行，其他按市場價執(zhí)行，且需48小時內(nèi)及時響應和處理。1.質(zhì)保要求產(chǎn)品通過交付驗收后，質(zhì)量保證期不得低于1年；供應商保證提供的設(shè)備經(jīng)過正確制造、安裝、調(diào)試及維護保養(yǎng)，并運行良好；在質(zhì)保期內(nèi)，供應商對由于設(shè)計、工藝或材料的缺陷而造成的任何缺陷或故障負全責，并對上述情況免費負責修理或更換有缺陷的零件；對超出質(zhì)量保證期和質(zhì)量保證范圍的情況，供應商有義務對設(shè)備作有償服務；技術(shù)服務供應商提供配套文件資料清單，負責擴展室在加工、安裝、調(diào)試過程中的現(xiàn)場技術(shù)指導；安裝結(jié)束后，供應商負責對設(shè)備各項性能指標按規(guī)定的項目逐一測試，直到驗收合格；故障響應時間：2小時內(nèi)響應，24小時內(nèi)到達到現(xiàn)場，48小時內(nèi)解決故障；2.6、驗收標準及驗收程序 1.驗收指標：設(shè)備性能技術(shù)標準:（以Si基作為驗收標準）設(shè)備測試項范圍漏水測試Leaksensoralarmwhenwaterleak氣體管路漏率測試<0.1mt/min：(PM+gasline)L/R–PML/R互鎖測試Passwithinterlocktable晶圓劃傷測試TransferLoopusebaresiwafertest：frontandbacksidesurfacescratchfree溫度平坦區(qū)測試Onwafertest(Vendorprovideonwafer)主腔低壓<0.1mtorr主腔漏率<2mtorr/min傳送平臺低壓<10mtorr傳送平臺漏率<5mtorr/min溫度控制±1?Cofsetpointwithoutloading腔體底座溫度控制±1?Cofsetpointwithoutloading制冷劑控溫（chiller液體：九鼎氟化液LC-110）工藝射頻電源setpoint<1000W：±1%SPsetpoint>1000W：±10W顆粒數(shù)量Processtool:<=20@0.12um,

Areacount<=5@0.5um

(addercount,bareSiwafer)氣體流量計精度±1%setpointwithintherangeof20%-90%ofMFCsize工藝壓力范圍Setpoint<100mt:±1mtorrSetpoint>100mt:±1%SP壓力穩(wěn)定時間<5sec(ChamberPressureOnly)射頻穩(wěn)定時間<3sec匹配功能–射頻匹配調(diào)諧和反射功率1.Forwardpower<=1000W:Reflectedpower<±1%setpoint2.Forwardpower>1000W:Reflectedpower<10w2.驗收主要步驟：驗收過程分為過程驗收、出廠驗收（預驗收）、交付驗收三個階段。（1）過程驗收采購人可以設(shè)置強制檢驗點，所有強制檢驗點以及關(guān)鍵項目均為本項目過程驗收項目。過程驗收項目組由采購人、供應商共同組成，驗收完成后形成驗收記錄并留存，作為最終驗收文件交付。（2）預驗收驗收地點：設(shè)備加工現(xiàn)場；驗收內(nèi)容：按驗收指標，驗收設(shè)備結(jié)構(gòu)尺寸、焊縫漏率、總漏率、射線檢測結(jié)果等；設(shè)備齊套情況；依據(jù)文件：技術(shù)方案、技術(shù)要求、詳細設(shè)計報告、設(shè)計圖紙等；交付文件：焊縫漏率檢測報告、射線檢測報告、材料證明報告、現(xiàn)場測試報告；廠家需提供驗收設(shè)備和必要的部件和設(shè)備如盲板、檢漏設(shè)備、密封圈等。（3）交付驗收驗收地點：采購人設(shè)備安裝現(xiàn)場，供應商需要將所有部件就位具備驗收條件。供應商需提前向采購人提出驗收所需的條件及設(shè)備，采購人無法提供的條件或設(shè)備供應商需自行解決；驗收內(nèi)容：部件配套情況檢查；部件外觀幾何尺寸檢測；法蘭水路打壓測試；漏率檢測等；依據(jù)文件：技術(shù)要求、詳細設(shè)計報告、設(shè)計圖紙等、招標文件；需要交付文件：詳細設(shè)計報告，產(chǎn)品安裝方案及評審文件；相關(guān)設(shè)計圖紙（可包括：零件圖、裝配圖、布置圖、系統(tǒng)圖等）；系統(tǒng)關(guān)鍵件、易損件、關(guān)鍵原材料的檢測報告或試驗報告；供應商外購重要部件的合格證、說明書、裝箱單等隨機文件；漏率檢測報告；產(chǎn)品合格證明；產(chǎn)品尺寸及公差檢測報告；研制過程中雙方協(xié)商確定需要補充提供的其它資料。3.驗收方法：1）按照圖紙要求驗收產(chǎn)品加工精度、粗糙度、焊縫是否均勻等，驗收標準參看