Color-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料

ColorFilter

基礎(chǔ)培訓(xùn)資料Color-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第1頁(yè)。第一章CF的基本原理和結(jié)構(gòu)CF（ColorFilter）是用來(lái)實(shí)現(xiàn)彩色顯示的主要器件，在色光中存在三種最基本的色光，它們的顏色分別為紅色、綠色和藍(lán)色。這三種色光以不同比例混合，幾乎可以得到自然界中的一切色光；而且這三種色光具有獨(dú)立性，其中一種原色不能由另外的原色光混合而成，由此，我們稱紅、綠、藍(lán)為色光三原色。在TFT-LCD中，ARRAY基板上每個(gè)TFT控制一個(gè)亞像素（也叫子像素，Sub-pixel)上方的液晶分子的扭曲程度，以此來(lái)調(diào)整亞像素的透光量；每三個(gè)亞像素分別透過(guò)紅光、綠光和藍(lán)光，并合成一個(gè)顯示像素（Pixel)。由于每個(gè)像素透過(guò)的紅光、綠光和藍(lán)光的比例都是不同的，因此合成的顏色也是不同的，從而形成彩色顯示。液晶盒的基本結(jié)構(gòu)見(jiàn)下圖所示：其中CF的基本構(gòu)成為BM層，RGB色層，OverCoat層，ITO導(dǎo)電層及支撐盒厚的隔墊物。Color-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第2頁(yè)。玻璃基板配向膜偏光片玻璃基板偏光片液晶層彩色層薄膜晶體管黑矩陣保護(hù)層ITO導(dǎo)電膜第一章CF的基本原理和結(jié)構(gòu)Color-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第3頁(yè)。第二章CF制法分類和工藝流程彩膜的制造工藝一般有染色法、電沉積法、印刷法、噴墨法和顏料分散法。各工藝的簡(jiǎn)單流程如下圖所示：染色法電沉積法印刷法顏料分散法GelatinhνITOResisthν感光性colorResisthν噴墨法Color-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第4頁(yè)。比較項(xiàng)目染色法電沉積法印刷法噴墨法顏料分散法著色劑染料顏料顏料染料/顏料顏料成膜膜厚1.0~2.5?1.5~2.5?1.0~3.0?1.0~2.5?1.5~2.5?分辨率10~20?10~20?50~80?10~20?10~20?色特性非常優(yōu)秀普通優(yōu)秀優(yōu)秀優(yōu)秀耐熱性普通優(yōu)秀優(yōu)秀普通優(yōu)秀耐光性普通非常優(yōu)秀非常優(yōu)秀普通非常優(yōu)秀耐化學(xué)性

不好優(yōu)秀優(yōu)秀優(yōu)秀優(yōu)秀平坦性優(yōu)秀非常優(yōu)秀不好普通優(yōu)秀大型化的可能性優(yōu)秀普通不好不好優(yōu)秀第二章CF制法分類和工藝流程各種制法的特點(diǎn)比較見(jiàn)下表。Color-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第5頁(yè)?，F(xiàn)在國(guó)際上被廣泛使用的是顏料分散法。依據(jù)不同顯示模式顏料分散法的工藝流程也有所區(qū)別，見(jiàn)下表所示：第二章CF制法分類和工藝流程ModeProcessFlowChartTNMVAPVAIPSFFSBMRGBITOPSBMRGBITOPSRibBMRGBOCPSITOEtchingRearITOBMRGBOCPSRearITOBMRGBOCPSColor-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第6頁(yè)。第二章CF制法分類和工藝流程Color-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第7頁(yè)。第二章CF制法分類和工藝流程Color-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第8頁(yè)。TN模式的制造工藝是最基礎(chǔ)的，下面詳細(xì)介紹其工藝流程：第二章CF制法分類和工藝流程曝光PW玻璃清洗顯影R光阻涂布RPR+PRBM光阻涂布顯影G光阻涂布GPR曝光曝光顯影B光阻涂布BPR曝光顯影O/CO/CSputteringITOPS光阻涂布PSPR曝光顯影CF成品Color-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第9頁(yè)。第二章CF制法分類和工藝流程ITEMMainProcessConditionControlItemCleaningType:Brush，CJ，UV；Flow；Pressure；ParticleNumberCoatingCoatingType:SpinorSpin/SlitorSlit；CoatingSpeed；FilmThickness&UniformityPreBakeTemperature；Time；PRStiffnessExposureGap；Dose；Temperature；Accuracy,TotalPitchDeveloperChemicalType&Concentration:KOH,Na2CO3；

Temperature；Time；PRresidualPostBakeTemperature；Time；AdhesiveForceBetweenGlassandPRSputteringTemperature；Pressure；Power；VacuumlevelFilmThickness;Transmittance;ResistanceColor-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第10頁(yè)。No設(shè)備中文名稱1Coater涂布機(jī)2Exposure曝光機(jī)3Sputter濺射機(jī)4

Cleaner清洗機(jī)5Developer顯影機(jī)6DeveloperConcentrationAdjustUnit顯影液濃度調(diào)整裝置7HP/CP熱盤/冷盤(前烘設(shè)備)8PostBake后烘設(shè)備9Repair維修機(jī)10PatternRepair圖形修正機(jī)11Rework再加工設(shè)備12ReworkMarking再加工記數(shù)器13Titler打標(biāo)機(jī)14UVAsher紫外灰化設(shè)備15EximerUV紫外清洗設(shè)備16GlassCornerCut玻璃加工機(jī)17CassetteCleaner玻璃載盒清洗機(jī)18MaskCleaner掩膜板清洗機(jī)第三章CF主要設(shè)備介紹:Process裝置Color-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第11頁(yè)。No設(shè)備中文名稱19ThinfilmDifferenceMeasurement薄膜段差計(jì)20FilmThicknessConveyor膜厚檢查傳送機(jī)21CD&TP精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)22AOI全數(shù)檢查機(jī)23Review,Micro外觀檢查機(jī)24MaskInspection掩膜板檢查機(jī)25MCPD/OD顯微分光光度計(jì)26PSInspection隔墊物高度檢查機(jī)27SheetResistance方塊電阻測(cè)量器28Macro,VisualInspection目視檢查機(jī)29OrientationFlatInspection方向別平坦度檢查機(jī)30GlassCrackInspection玻璃裂痕檢查機(jī)31Stocker,loader,Unloader,AGV玻璃載荷搬送系統(tǒng)32Unpack(DensPack)拆包機(jī)33Conveyor,Robot玻璃搬送系統(tǒng)34CassetteMGV玻璃載荷手動(dòng)搬送車35SheetMGV玻璃手動(dòng)搬送車36Cassette,WireCassette玻璃載荷第三章CF主要設(shè)備介紹:檢測(cè)和物流裝置Color-Filter-基礎(chǔ)培訓(xùn)資料全文共13頁(yè)，當(dāng)前為第12頁(yè)。No設(shè)備No設(shè)備37AFM(原子力顯微鏡)55SCRATCHTESTER38FE-SEM(場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡）56光學(xué)顯微鏡39FIB-SEM(聚焦粒子束掃描電鏡)57実體燎微鏡40EDX(x熒光光譜儀)58實(shí)驗(yàn)用表面粗糙器41恒溫恒濕器59實(shí)驗(yàn)用膜厚測(cè)定器42低溫試驗(yàn)器60SmallMCPD43熱處理器61顕微ＩＲ44熱處理器(N2)62電子天平45熱衝擊實(shí)驗(yàn)機(jī)63HeaterPHH-20146Xeweatermeter64接觸角測(cè)定器47UVLamp(254nm)65MULTIHOTPLATE48曝光機(jī)66XenonFadeMeter49DYNAMIC硬度計(jì)67Refrigerator50IONSPUT