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文檔簡介

溫度在外延中的應(yīng)用

1.溫度簡介

2.溫度的物理概念

3.外延程序中的溫度設(shè)定

4.溫度產(chǎn)生和監(jiān)控原理

5.溫度異常的影響溫度簡介之低溫南極：冬-90℃，夏0℃北極：冬-50℃，夏15℃冰箱：冷凍室-18℃保鮮室5℃液氮：-180℃溫度簡介之常溫哈爾濱的冬天：-30~-10℃迪拜的夏天：均值45℃超凈間：21~23℃太陽能熱水器水箱：50℃（假設(shè)基本水溫10℃）溫度簡介之高溫熨斗：90~130℃水沸騰：100℃，油沸騰：200℃桑拿：濕蒸50℃，干蒸100℃藍(lán)色火焰：3000℃爆炒：220~270℃溫度簡介之超高溫?zé)掍摚?500~1700℃火箭發(fā)射火焰：3000℃飛船回收進(jìn)入大氣層：1600℃真金也怕火煉：1200℃火山巖漿：900~1200℃太陽表面：6000℃溫度物理概念熱現(xiàn)象：指跟物體的冷熱程度有關(guān)的物理現(xiàn)象。溫度：物體的冷熱程度。微觀上來講是物體分子熱運(yùn)動的劇烈程度。溫度表征的物體的屬性。溫度不能突變，升溫或降溫均需要時間。溫度的單位：a）攝氏度℃：

b）華氏度F：1℃=1.8F

c）開爾文K：0℃=273K

零度：0℃或273K叫做零度。水在0℃以上是液體，在0℃以下結(jié)冰成固定；（標(biāo)壓下）絕對零度：-273℃或0K叫做絕對零度。絕對零度是理論值，自然界中任何物體的溫度都在-273℃以上。人類也不可能制造出此溫度。地球上氣溫最高的地方：撒哈拉大沙漠/突尼斯55℃；地球上氣溫最低的地方：南極洲-90℃；中國氣溫最高的地方：新疆吐魯番53℃；中國氣溫最低的地方：黑龍江漠河-52℃；

人體的溫度極限：

體溫極限14.2℃~46.5℃；20℃時心臟停止；30℃時精神昏迷；環(huán)境溫度極限116℃；溫度的常見測量方法銀白色，-39~357℃，精度高水銀式溫度計紅色，-114~78℃，誤差大酒精式溫度計溫度：鋼片熱脹冷縮帶動指針濕度：毛發(fā)受濕度影響而變形帶動指針機(jī)械式溫濕度計電子式溫濕度計溫度：熱電偶（熱敏電阻）。-200~1300℃濕度：濕敏元件紅外溫濕度計接收物體輻射的紅外線。

-20~2000℃，精度不高，反應(yīng)快溫度在外延中的應(yīng)用In/Mg源：30℃TMGa源：5℃TEGa/Al源：20℃MO源伴熱線：約45℃溫度在外延中的應(yīng)用退火爐：480℃XRD水箱：23℃Chiller水箱：50℃工藝?yán)鋮s水PCW：7~10℃外延程序的溫度曲線外延時溫度異常的影響QW：溫度影響波長WLDHP：溫度影響表面、ESDQB：溫度影響波長

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