蒸鍍儀操作規(guī)范

編號：XN/WI025-ZG-2009第3頁共4頁蒸鍍儀操作規(guī)程編號：XN/WI025-ZG-2009第1頁共4頁生效日期：2009.08版本/修改:A/0蒸鍍儀操作規(guī)程1．目的DM-300B型蒸鍍儀用于真空蒸鍍薄膜，主要用于測試膜層樣品光暗電導(dǎo)，激活能等項目時制作鋁柵。2．范圍新能研發(fā)中心實驗室3．責(zé)任實驗室設(shè)備負(fù)責(zé)人，負(fù)責(zé)設(shè)備的使用及日常維護(hù)與點檢并填寫設(shè)備使用記錄。4．操作流程4.1開機：4.1.1開房間內(nèi)電源總開關(guān)；4.1.2開連接蒸鍍儀的電源開關(guān)；4.1.3分別開通冷卻水“出水”和“進(jìn)水”開關(guān)；4.1.4.開蒸鍍儀總開關(guān)。4.2蒸鍍前準(zhǔn)備工作：4.2.1開充氣閥，對鐘罩內(nèi)充氣，再升鐘罩；4.2.2根據(jù)鐘罩內(nèi)是否清潔，先使用酒精清洗鐘罩內(nèi)的零部件；4.2.3安裝鉬舟，并將鋁絲條放入鉬舟中，并將所要沉積的襯底粘附于鋁板上；4.2.4.降鐘罩，在鐘罩下降的同時要觀察是否存在物品及雜物存在于鐘罩內(nèi)。4.3蒸鍍儀的預(yù)熱：4.3.1開機械泵，抽鐘罩，接通低真空測量，直至鐘罩內(nèi)真空度降低到5Pa以下；4.3.2調(diào)節(jié)螺絲至10-20帕之間，此時可以對蒸鍍襯底材料進(jìn)行轟擊處理，若不需要轟擊，則直接進(jìn)入下一步驟。轟擊時間根據(jù)需要自己控制，主要為了處理沉積襯底表面。轟擊完畢，把轟擊轉(zhuǎn)盤調(diào)零，再將表盤的“轟擊”檔轉(zhuǎn)為“關(guān)”檔；4.3.3將低閥推到抽系統(tǒng)位置，待壓強低于5Pa后，開擴散泵，預(yù)熱40分鐘。4.4蒸鍍薄膜：4.4.1在預(yù)熱完畢后，開高閥，約40-60秒后，接通高真空測量(開燈絲)，低真空測量換到擴散泵前級測量，當(dāng)真空度達(dá)到2-3×10-3，滿足蒸鍍真空要求；4.4.2開“工件旋轉(zhuǎn)”檔，根據(jù)需要調(diào)節(jié)“工件旋轉(zhuǎn)”的速度（接觸調(diào)壓器值20-30）；4.4.3開通烘烤，調(diào)節(jié)好所需的溫度，根據(jù)實際需要設(shè)置烘烤時間。如果無需烘烤，則可進(jìn)入下一步進(jìn)行蒸鍍實驗；4.4.4選好所放電極的位置，接通“蒸發(fā)”檔，將一顆“銅扭”插入對應(yīng)的電極位置，開始增大電流（180A左右）進(jìn)行溶解蒸鍍的材料，當(dāng)發(fā)現(xiàn)已經(jīng)熔解，將擋板擋住蒸發(fā)源。待完全熔解后，打開擋板，讓材料蒸鍍到襯底表面；4.4.5蒸鍍完畢后，各檔歸零。關(guān)高真空測量，關(guān)高閥，低閥拉出到“抽鐘罩”位置，停機械泵，待工件冷卻后，對鐘罩充氣，升鐘罩，取出零件，清洗鍍膜室。4.4.6如需另外蒸鍍，則重新?lián)Q襯底，電極（鉬舟）內(nèi)加料。4.5關(guān)機：4.5.1如果蒸鍍完畢，結(jié)束實驗時，先關(guān)高真空測量，關(guān)高閥，停擴散泵，開機械泵。待機2小時退熱后，將低閥拉出至“抽鐘罩”位置，讓鐘罩內(nèi)保持一定的真空度；4.5.2關(guān)蒸鍍儀的總開關(guān)；4.5.3先關(guān)“進(jìn)水”閥，后關(guān)“出水”閥（冷卻水）；4.5.4關(guān)蒸鍍儀的電源；4.5.5關(guān)總電源。4.6鍍膜實驗結(jié)束后，注意清洗各部分原件，各種材料歸位，打掃衛(wèi)生保持實驗室的干凈。5．注意事項5.1電極更換：用了數(shù)次鉬電極后，有可能再鍍膜時，加更大的電流，因此需要將用過的老的電極取下來，裝上新的電極。5.2鍍膜2－3次后，需要對鐘罩和內(nèi)部零件進(jìn)行清洗，避免微小顆粒進(jìn)入真空系統(tǒng)，導(dǎo)致真空泵的損壞。5.3突然停電：先切斷高真空測量，關(guān)高閥，低閥拉到抽鐘罩位置，關(guān)閉總電源，關(guān)閉其它工作狀態(tài)的按鈕。5.4通過控制時間和電流的大小，以及工件旋轉(zhuǎn)速度的快慢，決定蒸鍍薄膜的厚度和均勻性。6．設(shè)備日常維護(hù)點檢