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文檔簡(jiǎn)介
.z.第一章思考題與習(xí)題1、什么是傳感器的靜態(tài)特性?它有哪些性能指標(biāo)?答:輸入量為常量或變化很慢情況下,輸出與輸入兩者之間的關(guān)系稱(chēng)為傳感器的靜態(tài)特性。它的性能指標(biāo)有:線(xiàn)性度、遲滯、重復(fù)性、靈敏度與靈敏度誤差、分辨率與閾值、穩(wěn)定性、溫度穩(wěn)定性、抗干擾穩(wěn)定性和靜態(tài)誤差(靜態(tài)測(cè)量不確定性或精度)。2、傳感器動(dòng)特性取決于什么因素?答:傳感器動(dòng)特性取決于傳感器的組成環(huán)節(jié)和輸入量,對(duì)于不同的組成環(huán)節(jié)(接觸環(huán)節(jié)、模擬環(huán)節(jié)、數(shù)字環(huán)節(jié)等)和不同形式的輸入量(正弦、階躍、脈沖等)其動(dòng)特性和性能指標(biāo)不同。3、*傳感器給定相對(duì)誤差為2%FS,滿(mǎn)度值輸出為50mV,求可能出現(xiàn)的最大誤差δ(以mV計(jì))。當(dāng)傳感器使用在滿(mǎn)刻度的1/2和1/8時(shí)計(jì)算可能產(chǎn)生的百分誤差。并由此說(shuō)明使用傳感器選擇適當(dāng)量程的重要性。已知:,;求:δm=?解:∵;∴若:則:若:則:由此說(shuō)明,在測(cè)量時(shí)一般被測(cè)量接近量程(一般為量程的2/3以上),測(cè)得的值誤差小一些。4、有一個(gè)傳感器,其微分方程為,其中y為輸出電壓(mV),*為輸入溫度(0C),試求該傳感器的時(shí)間常數(shù)τ和靜態(tài)靈敏度k。已知:;求:τ=?,k="解:將化為標(biāo)準(zhǔn)方程式為:與一階傳感器的標(biāo)準(zhǔn)方程:比較有:5、已知*二階系統(tǒng)傳感器的自振頻率f0=20kHz,阻尼比ξ=0.1,若要求傳感器的輸出幅值誤差小于3%,試確定該傳感器的工作頻率圍。已知:f0=20kHz,ξ=0.1。求:時(shí)的工作頻率圍。解:二階傳感器頻率特性(p14-1—30式)∵∴式中:則有:由(1)式:由(2)式:即:?。簞t有:第二章思考題與習(xí)題1、何為金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)?怎樣利用這種效應(yīng)制成應(yīng)變片?答:(1)當(dāng)金屬絲在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí),其電阻值將發(fā)生變化,這種現(xiàn)象稱(chēng)為金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)。(2)應(yīng)變片是利用金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng),將金屬絲繞成柵形,稱(chēng)為敏感柵。并將其粘貼在絕緣基片上制成。把金屬絲繞成柵形相當(dāng)于多段金屬絲的串聯(lián)是為增大應(yīng)變片電阻,提高靈敏度,2、什么是應(yīng)變片的靈敏系數(shù)?它與電阻絲的靈敏系數(shù)有何不同?為什么?答:(1)應(yīng)變片的靈敏系數(shù)是指應(yīng)變片安裝于試件表面,在其軸線(xiàn)方向的單向應(yīng)力作用下,應(yīng)變片的阻值相對(duì)變化與試件表面上安裝應(yīng)變片區(qū)域的軸向應(yīng)變之比。(2)實(shí)驗(yàn)表明,電阻應(yīng)變片的靈敏系數(shù)恒小于電阻絲的靈敏系數(shù)其原因除了粘貼層傳遞變形失真外,還存在有恒向效應(yīng)。3、對(duì)于箔式應(yīng)變片,為什么增加兩端各電阻條的截面積便能減小橫向靈敏度?答:對(duì)于箔式應(yīng)變片,增加兩端圓弧部分尺寸較柵絲尺寸大得多(圓弧部分截面積大),其電阻值較小,因而電阻變化量也較小。所以其橫向靈敏度便減小。4、用應(yīng)變片測(cè)量時(shí),為什么必須采用溫度補(bǔ)償措施?答:用應(yīng)變片測(cè)量時(shí),由于環(huán)境溫度變化所引起的電阻變化與試件應(yīng)變所造成的電阻變化幾乎有相同的數(shù)量級(jí),從而產(chǎn)生很大的測(cè)量誤差,所以必須采用溫度補(bǔ)償措施。5、一應(yīng)變片的電阻R=120Ω,k=2.05。用作應(yīng)變?yōu)?00μm/m的傳感元件。①求△R和△R/R;②若電源電壓U=3V,求初始平衡時(shí)惠斯登電橋的輸出電壓U0。已知:R=120Ω,k=2.05,ε=800μm/m;求:①△R=?,△R/R=?②U=3V時(shí),U0=?解①:∵∴解②:初始時(shí)電橋平衡(等臂電橋)∵∴6、在材料為鋼的實(shí)心圓柱形試件上,沿軸線(xiàn)和圓周方向各貼一片電阻為120Ω的金屬應(yīng)變片R1和R2,把這兩應(yīng)變片接入差動(dòng)電橋(參看圖2-9a)。若鋼的泊松系數(shù)μ=0.285,應(yīng)變片的靈敏系數(shù)k=2,電橋電源電壓U=2V,當(dāng)試件受軸向拉伸時(shí),測(cè)得應(yīng)變片R1的電阻變化值△R=0.48Ω,試求電橋的輸出電壓U0。圖2-9a差動(dòng)電橋已知:R1=R2=120Ω,μ=0.285,k=2,U=2V,△R1=0.48Ω,△R1/R1=0.48/120=0.004求:U0=?解:∵∴又∵∴設(shè):R1=R2=R3=R4=R,對(duì)電橋若四臂電阻都變其輸出為:∵則有:本題:7、金屬應(yīng)變片與半導(dǎo)體應(yīng)變片在工作原理上有何不同?答:金屬應(yīng)變片的工作原理是:金屬應(yīng)變片在外力的作用下,應(yīng)變片的幾何尺寸(長(zhǎng)度和截面積)發(fā)生變化(機(jī)械形變)而引起應(yīng)變片的電阻改變,運(yùn)用它們的對(duì)應(yīng)關(guān)系實(shí)現(xiàn)測(cè)量目的。其靈敏系數(shù)(k≈1+2μ)主要是材料幾何尺寸變化引起的。半導(dǎo)體應(yīng)變片的工作原理是:半導(dǎo)體應(yīng)變片受到作用力后,應(yīng)變片的電阻率ρ發(fā)生變化,而引起應(yīng)變片的電阻值改變。其靈敏系數(shù)(k=△ρ/ρε)主要是半導(dǎo)體材料的電阻率隨應(yīng)變變化引起的?!裱a(bǔ)充題:已知四個(gè)相同的應(yīng)變片,靈敏度為k,泊松系數(shù)為μ,在試件上粘貼如圖。接入電橋如圖(A)(B)(C)(D)求:解:各應(yīng)變片電阻的相對(duì)變化1號(hào)應(yīng)變片:2號(hào)應(yīng)變片:3號(hào)應(yīng)變片:4號(hào)應(yīng)變片:由式:對(duì)圖(a):對(duì)圖(b):對(duì)圖(c):對(duì)圖(d):所以:第三章思考題與習(xí)題1、何謂電感式傳感器?它是基于什么原理進(jìn)行檢測(cè)的?答:電感式傳感器是利用電磁感應(yīng)原理將被測(cè)量轉(zhuǎn)換成線(xiàn)圈自感量或互感量的變換,再由測(cè)量電路轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化量輸出的一種裝置。它是基于電磁感應(yīng)原理進(jìn)行檢測(cè)的。2、減小零殘電壓的有效措施有哪些?答:(1)盡量使兩個(gè)線(xiàn)圈對(duì)稱(chēng)設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)使上下磁路對(duì)稱(chēng),制造時(shí)應(yīng)使上下磁性材料特性一致,磁筒、磁蓋、磁芯要配套挑選,線(xiàn)圈排列要均勻,松緊要一致,最好每層的匝數(shù)都相等。(2)減小磁化曲線(xiàn)的非線(xiàn)性由于磁化曲線(xiàn)的非線(xiàn)性產(chǎn)生零殘電壓的高次諧波成分,所以選用磁化曲線(xiàn)為線(xiàn)性的磁芯材料或調(diào)整工作點(diǎn),使磁化過(guò)程在磁化曲線(xiàn)的線(xiàn)性區(qū)。(3)使振蕩變壓器二次側(cè)對(duì)稱(chēng),兩個(gè)二次電壓的相位相同在一次側(cè)線(xiàn)圈上并聯(lián)一個(gè)電容,并調(diào)整電容大小使兩個(gè)二次電壓的相位相同。3、渦流式傳感器有何特點(diǎn)"它有哪些應(yīng)用:答:渦流式傳感器的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于進(jìn)行非接觸的連續(xù)測(cè)量,靈敏度較高,適應(yīng)性強(qiáng)。它的應(yīng)用有四個(gè)方面:(1)利用位移為變換量,可做成測(cè)量位移、厚度、振幅、振擺、轉(zhuǎn)速等傳感器,也可做成接近開(kāi)關(guān)、計(jì)數(shù)器等;(2)利用材料的電阻率作為變換量,可做成測(cè)量溫度、材質(zhì)判別等傳感器;(3)利用磁導(dǎo)率作為變換量,可做成測(cè)量應(yīng)力、硬度等傳感器;(4)利用三個(gè)變換量的綜合影響,可做成探傷裝置。4、試比較渦流傳感器的幾種應(yīng)用電路的優(yōu)缺點(diǎn)?答:交流電橋電路:線(xiàn)性好、溫度穩(wěn)定性高,但存在零點(diǎn)殘余電壓?jiǎn)栴}及測(cè)量圍較??;諧振電路:電路簡(jiǎn)單,靈敏度高,但線(xiàn)性度差及圍更?。徽答侂娐罚簻y(cè)量圍較大,是電橋的2至3倍,但電路復(fù)雜。5、有一4極感應(yīng)感應(yīng)同步器,設(shè)h=5mm、θ=150、δ=0.15mm、r=6.5mm、N1=N2=900匝,勵(lì)磁電流I1=35mA、f=400Hz,試求:①輸出信號(hào)的靈敏度k(mV/deg)="②勵(lì)磁電壓u="第四章思考題與習(xí)題1、如何改善單組式變極距型電容傳感器的非線(xiàn)性?答:對(duì)于變極距單組式電容器由于存在著原理上的非線(xiàn)性,所以在實(shí)際應(yīng)用中必須要改善其非線(xiàn)性。改善其非線(xiàn)性可以采用兩種方法。(1)使變極距電容傳感器工作在一個(gè)較小的圍(0.01μm至零點(diǎn)幾毫米),而且最大△δ應(yīng)小于極板間距δ的1/5—1/10。(2)采用差動(dòng)式,理論分析表明,差動(dòng)式電容傳感器的非線(xiàn)性得到很大改善,靈敏度也提高一倍。2、單組式變面積型平板形線(xiàn)位移電容傳感器,兩極板相對(duì)覆蓋部分的寬度為4mm,兩極板的間隙為0.5mm,極板間介質(zhì)為空氣,試求其靜態(tài)靈敏度?若兩極板相對(duì)移動(dòng)2mm,求其電容變化量。(答案為0.07pF/mm,0.142pF)已知:b=4mm,δ=0.5mm,ε0=8.85×10-12F求:(1)k=";(2)若△a=2mm時(shí)△C="。解:如圖所示∵;;3、畫(huà)出并說(shuō)明電容傳感器的等效電路及其高頻和低頻時(shí)的等效電路。答:電容傳感器的等效電路為:其中:r:串聯(lián)電阻(引線(xiàn)、焊接點(diǎn)、板極等的等效電阻);L:分布電感(引線(xiàn)、焊接點(diǎn)、板極結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的);CP:引線(xiàn)電容(引線(xiàn)、焊接點(diǎn)、測(cè)量電路等形成的總寄生電容)C0:傳感器本身電容;Rg:漏電阻(極板間介質(zhì)漏電損耗極板與外界的漏電損耗電阻)低頻時(shí)等效電路和高頻時(shí)等效電路分別為圖(a)和圖(b):4、設(shè)計(jì)電容傳感器時(shí)主要應(yīng)考慮哪幾方面因素答:電容傳感器時(shí)主要應(yīng)考慮四個(gè)幾方面因素:(1)減小環(huán)境溫度濕度等變化所產(chǎn)生的影響,保證絕緣材料的絕緣性能;(2)消除和減小邊緣效應(yīng);(3)減小和消除寄生電容的影響;(4)防止和減小外界干擾。5、何謂“電纜驅(qū)動(dòng)技術(shù)”?采用它的目的是什么?答:電纜驅(qū)動(dòng)技術(shù),即:傳感器與測(cè)量電路前置級(jí)間的引線(xiàn)為雙屏蔽層電纜,其屏蔽層與信號(hào)傳輸線(xiàn)(即電纜芯線(xiàn))通過(guò)1:1放大器而為等電位,從而消除了芯線(xiàn)與屏蔽層之間的電容。由于屏蔽線(xiàn)上有隨傳感器輸出信號(hào)等大變化的電壓,因此稱(chēng)為“驅(qū)動(dòng)電纜”。采用“電纜驅(qū)動(dòng)技術(shù)”的目的是減小或消除寄生電容的影響。6、畫(huà)出電容式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖,并說(shuō)明其工作原理。答:電容式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖為:其中:1、5為兩個(gè)固定極板;2為殼體;3為支撐彈簧片;4質(zhì)量塊;A面和B面為固定在質(zhì)量塊上的電容器的極板。當(dāng)測(cè)量垂直方向上直線(xiàn)加速度時(shí),傳感器的殼體2固定在被測(cè)振動(dòng)體上,振動(dòng)體的振動(dòng)使殼體相對(duì)質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng),因而與殼體固定在一起的兩固定極板1、5相對(duì)質(zhì)量塊4運(yùn)動(dòng),致使上固定極板5與質(zhì)量塊4的A面組成的電容器C*1以及下固定極板與質(zhì)量塊4的B面組成的電容器C*2隨之改變,一個(gè)增大,一個(gè)減小,它們的差值正比于被測(cè)加速度,而實(shí)現(xiàn)測(cè)量加速度的目的。7、什么是電容式集成傳感器?它有何特點(diǎn)?答:運(yùn)用集成電路工藝把電容敏感元件與測(cè)量電路制作在一起構(gòu)成電容式集成傳感器。她的核心部件是一個(gè)對(duì)被測(cè)量敏感的集成電容器。集成電容傳感器的特點(diǎn)是:體積小、輸出阻抗小、可批量生產(chǎn)、重復(fù)性好、靈敏度高、工作溫度圍寬、功耗低、寄生電容小等特點(diǎn)?!裱a(bǔ)充題:已知差動(dòng)式極距型電容傳感器,原始極距δ0=0.25mm,極板直徑D=38.2mm,采用電橋作轉(zhuǎn)換電路,傳感器兩電容分別串接R=5.1KΩ的電阻作為電橋兩臂,另兩臂為固定電容C=0.001μF,電橋供電電壓為U=60V,頻率f=400Hz,求:①傳感器靈敏度;②動(dòng)極板位移△δ=10μm時(shí),輸出電壓有效值為多大。已知:δ0=0.25mm;D=38.2mm;R=5.1KΩ;C=0.001μF;U=60V;f=400Hz;△δ=10μm。求:k=";U0="解:∵、同理:則有:所以:則:第五章思考題與習(xí)題1、簡(jiǎn)述磁電感應(yīng)式傳感器的工作原理。磁電感應(yīng)式傳感器有哪幾種類(lèi)型?答:磁電感應(yīng)式傳感器是以電磁感應(yīng)原理為基礎(chǔ)的,根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律可知,N匝線(xiàn)圈在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)切割磁力線(xiàn)或線(xiàn)圈所在磁場(chǎng)的磁通量變化時(shí),線(xiàn)圈中所產(chǎn)生的感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)e的大小取決于穿過(guò)線(xiàn)圈的磁通φ的變化率,即:根據(jù)這個(gè)原理,可將磁電感應(yīng)式傳感器分為恒定磁通式和變磁通式兩類(lèi)。2、*些磁電式速度傳感器中線(xiàn)圈骨架為什么采用鋁骨架?答:*些磁電式速度傳感器中線(xiàn)圈采用鋁骨架是因?yàn)榫€(xiàn)圈在磁路系統(tǒng)氣隙中運(yùn)動(dòng)時(shí),鋁骨架中感應(yīng)產(chǎn)生渦流,形成系統(tǒng)的電磁阻尼力,此阻尼起到衰減固有振動(dòng)和擴(kuò)展頻率響應(yīng)圍的作用。3、何謂磁電式速度傳感器的線(xiàn)圈磁場(chǎng)效應(yīng),如何補(bǔ)償?答:線(xiàn)圈磁場(chǎng)效應(yīng)是指磁電式速度傳感器的線(xiàn)圈中感應(yīng)電流產(chǎn)生的磁場(chǎng)對(duì)恒定磁場(chǎng)作用,而使其變化。如公式知,由于B的變化而產(chǎn)生測(cè)量誤差。補(bǔ)償方法通常是采用補(bǔ)償線(xiàn)圈與工作線(xiàn)圈串接,來(lái)抵消線(xiàn)圈中感應(yīng)電流磁場(chǎng)對(duì)恒定磁場(chǎng)的影響。4、為什么磁電感應(yīng)式傳感器在工作頻率較高時(shí)的靈敏度,會(huì)隨頻率增加而下降?答:由理論推到可得傳感器靈敏度與頻率關(guān)系是:當(dāng)振動(dòng)頻率低于傳感器固有頻率時(shí),這種傳感器的靈敏度是隨振動(dòng)頻率變化;當(dāng)振動(dòng)頻率遠(yuǎn)大于固有頻率時(shí),傳感器的靈敏度基本上不隨振動(dòng)頻率而變化,而近似為常數(shù);當(dāng)振動(dòng)頻率更高時(shí),線(xiàn)圈阻抗增大,傳感器靈敏度隨振動(dòng)頻率增加而下降。5、變磁通式傳感器有哪些優(yōu)缺點(diǎn)?答:變磁通式傳感器的優(yōu)點(diǎn)是對(duì)環(huán)境條件要求不高,能在-150—+9006、什么是霍爾效應(yīng)?霍爾式傳感器有哪些特點(diǎn)?答:金屬或半導(dǎo)體薄片置于磁場(chǎng)中,當(dāng)有電流流過(guò)時(shí)。在垂直于電流和磁場(chǎng)的方向上將產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì),這種物理現(xiàn)象稱(chēng)為霍爾效應(yīng)?;魻杺鞲衅鞯奶攸c(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、堅(jiān)固、頻率響應(yīng)寬(從直流到微波)、動(dòng)態(tài)圍(輸出電動(dòng)勢(shì)的變化圍)大、無(wú)觸點(diǎn)、使用壽命長(zhǎng)、可靠性高、易于微型化和集成化。但它的轉(zhuǎn)換率較低,溫度影響大,在要求轉(zhuǎn)換精度較高時(shí)必須進(jìn)行溫度補(bǔ)償。7、*霍爾元件l、b、d尺寸分別為1.0cm×0.35cm×0.1cm,沿l方向通以電流I=1.0mA,在垂直于lb面方向加有均勻磁場(chǎng)B=0.3T,傳感器的靈敏度系數(shù)為22V/A·T,試求其輸出霍爾電動(dòng)勢(shì)及載流子濃度。已知:l×b×d=1.0cm×0.35cm×0.1cm;I=1.0mA;B=0.3T;kH=22V/A·T;求:UH=";n=?解:如圖∵∴而:∴n=8、試分析霍爾元件輸出接有負(fù)載RL時(shí),利用恒壓源和輸入回路串聯(lián)電阻R進(jìn)行溫度補(bǔ)償?shù)臈l件。如圖,設(shè):t0時(shí),靈敏系數(shù)kH0;輸入電阻Ri0;輸出電阻RO0。t時(shí),靈敏系數(shù)kHt;輸入電阻Ri0;輸出電阻ROt。兩者關(guān)系為:因?yàn)椋?;而:所以:;則:VL不隨溫度t變化的條件是:而:即有:若忽略Ro的影響,即RO0=0,則有:9、試說(shuō)明霍爾式位移傳感器的輸出UH與位移*成正比關(guān)系。答:因?yàn)榛魻栯妷簽椋?,若I一定,而使霍爾元件在一個(gè)沿空間均勻梯度的磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)即:。則有:,所以霍爾式位移傳感器的輸出UH與位移*成正比關(guān)系。10、霍爾式速度傳感器和磁電感應(yīng)式速度傳感器相比,各有哪些特點(diǎn)。答:霍爾式速度傳感器能測(cè)量慢速運(yùn)動(dòng)物體的速度。另外它的信號(hào)處理電路通常也集成在一起封裝的,無(wú)需外加信號(hào)處理電路,提高了抗干擾能力,并且,大多數(shù)霍爾式速度傳感器輸出的是數(shù)字信號(hào),所以它與數(shù)字邏輯、微機(jī)及PLC兼容。而磁電感應(yīng)式速度傳感器不適合于測(cè)量低速運(yùn)動(dòng)的物體。其輸出為模擬信號(hào),若要輸出數(shù)字信號(hào)需要附加處理電路,另外,磁電感應(yīng)式速度傳感器可以應(yīng)用于較高溫度的環(huán)境,工作溫度超過(guò)300度,而前者工作溫度圍較小。第六章思考題與習(xí)題1、什么是壓電效應(yīng)?答:沿著一定方向?qū)?些電介質(zhì)加力而使其變形時(shí),在一定表面上產(chǎn)生電荷,當(dāng)外力取消,又重新回到不帶電狀態(tài),這一現(xiàn)象稱(chēng)為正壓電效應(yīng)。當(dāng)在*些電介質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng),這些電介質(zhì)在一定方向上產(chǎn)生機(jī)械變形或機(jī)械壓力,當(dāng)外加電場(chǎng)散去,這些變形和應(yīng)力也隨之消失,此即稱(chēng)為逆壓電效應(yīng)。2、為什么壓電傳感器不能測(cè)量靜態(tài)物理量?答:壓電元件送入放大器的輸入電壓由上式可知,用·當(dāng)作用在壓電元件上的力是靜壓力(ω=0)時(shí),前置放大器輸入電壓等于零。因?yàn)殡姾删蜁?huì)通過(guò)放大器的輸入電阻和傳感器本身的泄漏電阻漏掉。所以壓電傳感器不能測(cè)量靜態(tài)物理量。3、壓電式傳感器中采用電荷放大器有何優(yōu)點(diǎn)?為什么電壓靈敏度與電纜長(zhǎng)度有關(guān)?而電荷靈敏度與電纜長(zhǎng)度無(wú)關(guān)?答:p115●補(bǔ)充題:1、有一壓電晶體,其面積為20mm2,厚度為10mm,當(dāng)受到壓力p=10MPa作用時(shí),求產(chǎn)生的電荷及輸出電壓:①零度*切的縱向石英晶體;②利用縱向效應(yīng)之BaTiO3(壓電瓷)。已知:S=20mm2,δ=10mm,P=10MPa,求:Q=?,V=?解:①∵而:∴又∵而:∴解②∵而:∴同上:又∵而:∴2、*壓電晶體的電容為1000pF;Kq=2.5C/cm,Cc=3000pF,示波器的輸入阻抗為1MΩ和并聯(lián)電容為50pF,求;①壓電晶體的電壓靈敏度;②測(cè)量系統(tǒng)的高頻響應(yīng)③如系統(tǒng)允許的測(cè)量幅值誤差為5%,可測(cè)最低頻率時(shí)多少?④如頻率為10Hz,允許誤差為5%,用并聯(lián)方式,電容值是多少?已知:求:解①∵∴解②依據(jù)教材p113(6-14)式∵;而:∴解③依據(jù)教材p113(6-15)式因:高頻響應(yīng)時(shí):而:則:其中:解得:解④因:則:其中:解得:3、用石英晶體加速度計(jì)及電荷放大器測(cè)量機(jī)器的振動(dòng),已知:加速度計(jì)靈敏度為5pC/g,電荷放大器靈敏度為50mV/pC,當(dāng)機(jī)器達(dá)到最大加速度值時(shí)相應(yīng)的輸出電壓幅值為2V,試求該機(jī)器的振動(dòng)加速度。已知:ka=5pC/g,kq=50mV/pC,Voma*=2V求:ama*=?解:因?yàn)椋簞t有:所以:4、石英晶體壓電式傳感器,面積為1cm2,厚度為1mm,固定在兩金屬板之間,用來(lái)測(cè)量通過(guò)晶體兩面力的變化。材料的彈性模量是9×1010Pa,電荷靈敏度為2pC/N,相對(duì)介電常數(shù)是5.1,材料相對(duì)兩面間電阻是1014Ω。一個(gè)20pF的電容和一個(gè)100MΩ的電阻與極板相連。若所加力F=0.01sin(103t)N,求;①兩極板間電壓峰一峰值;②晶體厚度的最大變化。已知:S=1cm2,δ=1mm,E=9×1010Pa,kq=2pC/N,εr=5.1,Ra=1014Ω,Ci=20pF,Ri=100MΩ,F(xiàn)=0.01sin(103t)N,F(xiàn)ma*=0.01N,ω=103求:①Vop-p="②Δδma*=?解①由圖知而:所以:則:又因:則有:Vop-p=2Uom=1.5mV解②因?yàn)椋簞t有:即有:所以:第七章思考題與習(xí)題1、光電式傳感器常用光源有哪幾種,哪些光源可用作紅外光源?答:光電式傳感器常用光源有自然光源和人造光源,人造光源包括熱輻射光源、氣體放電光源、電致發(fā)光光源和激光光源。可作為紅外光源的有白熾燈、Nd:YAG固體激光器、氦氖激光器、半導(dǎo)體激光器和染料激光器等。2、光電式傳感器常用接收器件有哪幾種,各基于什么原理各有什么特點(diǎn)?答:光電式傳感器常用接收器件按原理可分為熱探測(cè)器和光子探測(cè)器兩類(lèi)。熱探測(cè)器是基于光輻射與物質(zhì)相互作用的熱效應(yīng)。它其特點(diǎn)是:對(duì)波長(zhǎng)沒(méi)有選擇性(具有寬廣和平坦的光譜響應(yīng)),只與接收到的總能量有關(guān),適應(yīng)于紅外探測(cè)。而光子探測(cè)器是基于一些物質(zhì)的光電效應(yīng),即利用光子本身能量激發(fā)載流子。其特點(diǎn)是:具有一定的截止波長(zhǎng),只能探測(cè)短于這一波長(zhǎng)的光線(xiàn),但它們的響應(yīng)速度快,靈敏度高,使用廣泛。3、電荷藕合器件有哪幾種,各有那幾部分組成?答:電荷藕合器件有線(xiàn)陣電荷耦合器件和面陣電荷耦合器件。它由MOS光敏單元和讀出移位寄存器組成。4、電荷藕合器件中的信號(hào)電荷是如何傳輸?shù)模看穑阂缘湫偷娜郈CD為例說(shuō)明CCD電荷轉(zhuǎn)移的基本原理。三相CCD是由每三個(gè)柵為一組的間隔緊密的MOS結(jié)構(gòu)組成的陣列。每相隔兩個(gè)柵的柵電極連接到同一驅(qū)動(dòng)信號(hào)上,亦稱(chēng)時(shí)鐘脈沖。三相時(shí)鐘脈沖的波形如下圖所示。在t1時(shí)刻,φ1高電位,φ2、φ3低電位。此時(shí)φ1電極下的表面勢(shì)最大,勢(shì)阱最深。假設(shè)此時(shí)已有信號(hào)電荷(電子)注入,則電荷就被存儲(chǔ)在φ1電極下的勢(shì)阱中。t2時(shí)刻,φ1、φ2為高電位,φ3為低電位,則φ1、φ2下的兩個(gè)勢(shì)阱的空阱深度相同,但因φ1下面存儲(chǔ)有電荷,則φ1勢(shì)阱的實(shí)際深度比φ2電極下面的勢(shì)阱淺,φ1下面的電荷將向φ2下轉(zhuǎn)移,直到兩個(gè)勢(shì)阱中具有同樣多的電荷。t3時(shí)刻,φ2仍為高電位,φ3仍為低電位,而φ1由高到低轉(zhuǎn)變。此時(shí)φ1下的勢(shì)阱逐漸變淺,使φ1下的剩余電荷繼續(xù)向φ2下的勢(shì)阱中轉(zhuǎn)移。t4時(shí)刻,φ2為高電位,φ1、φ3為低電位,φ2下面的勢(shì)阱最深,信號(hào)電荷都被轉(zhuǎn)移到φ2下面的勢(shì)阱中,這與t1時(shí)刻的情況相似,但電荷包向右移動(dòng)了一個(gè)電極的位置。當(dāng)經(jīng)過(guò)一個(gè)時(shí)鐘周期T后,電荷包將向右轉(zhuǎn)移三個(gè)電極位置,即一個(gè)柵周期(也稱(chēng)一位)。因此,時(shí)鐘的周期變化,就可使CCD中的電荷包在電極下被轉(zhuǎn)移到輸出端,其工作過(guò)程從效果上看類(lèi)似于數(shù)字電路中的移位寄存器。5、簡(jiǎn)述利用CCD進(jìn)行工件尺寸測(cè)量的原理及測(cè)量系統(tǒng)的組成。答:利用CCD進(jìn)行工件尺寸測(cè)量的原理是根據(jù)工件成像輪廓覆蓋的光敏單元的數(shù)量來(lái)計(jì)算工件尺寸數(shù)據(jù)。如果在光學(xué)系統(tǒng)放大率為1/M的裝置中,有:式中:L—工件尺寸;N—覆蓋的光敏單元數(shù);d—相鄰光敏單元中心距離(±2d為圖像末端兩個(gè)光敏單元之間可能的最大誤差)。CCD測(cè)量系統(tǒng)由光學(xué)系統(tǒng)、圖像傳感器和微處理機(jī)等組成。6、試述用一維PSD進(jìn)行距離測(cè)量的原理。答:一維PSD結(jié)構(gòu)圖如下:由于橫向光電效應(yīng),當(dāng)PSD工作在反向偏壓狀態(tài)時(shí)(公用極3正電壓),流經(jīng)電極1、2的電流I1和I2與入射光的強(qiáng)度和入射光點(diǎn)的位置有關(guān)。如下式:由上兩式得:式中:*A為入射光點(diǎn)位置;L為PSD的長(zhǎng)度。顯然,通過(guò)I1與I2可確定入射光點(diǎn)位置*A。7、利用由斯乃爾定律推導(dǎo)出的臨界角θc表達(dá)式,計(jì)算水(n=1.33)與空氣(n≈1)分界面的θc的值。已知:n0=1;n1=1.33求:θc=?解:∵而:θ/=900,θ=θc∴8、求n1=1.46,n2=1.45的光纖的NA值;若外部的n0=1,求最大入射角θc="已知:n1=1.46;n2=1.45;n0=1求:NA=";θm=?解①:解②:∵∴9、光纖傳感器有哪幾種調(diào)制方式"答:光纖傳感器有3種調(diào)制方法,即:光強(qiáng)度調(diào)制型、光相位調(diào)制型和光偏振態(tài)調(diào)制型。10、利用光纖傳感器進(jìn)行位移測(cè)量的方法有哪些?簡(jiǎn)述其工作原理。答:利用光纖傳感器進(jìn)行位移測(cè)量主要有反射方式和瞬逝波方式兩種方法。反射式光纖傳感器工作原理是從發(fā)射光纖出射的光經(jīng)被測(cè)物表面直接或間接反射后,由接收光纖傳到光電器件上,光量隨反射面相對(duì)光纖端面的位移而變化而實(shí)現(xiàn)測(cè)量位移的目的。瞬逝波光纖傳感器工作原理是兩光纖端面斜切,端面對(duì)光纖軸線(xiàn)有相同角度,斜面拋光,以便光線(xiàn)再接收光纖頭形成全反射。當(dāng)兩光纖距離較遠(yuǎn)時(shí),沒(méi)有光通過(guò)斜切面耦合到接收光纖。但是,當(dāng)兩斜切面非常接近時(shí),由于光是一種電磁波,全反射時(shí)雖然沒(méi)有光能進(jìn)入相鄰介質(zhì),但電磁波卻能進(jìn)入相鄰介質(zhì)一定的深度,此電磁波就稱(chēng)為瞬逝波。所以,當(dāng)兩切面距離小于光波波長(zhǎng)時(shí),將有部分光透過(guò)間隙耦合到接收光纖,距離越近,耦合能量越大,根據(jù)此原理,可制成光纖位移傳感器。11、試述光柵式傳感器的基本工作原理。答:光柵式傳感器是利用光柵的莫爾條紋進(jìn)行測(cè)量測(cè)。光柵式傳感器一般由光源、標(biāo)尺光柵、指示光柵和光電器件組成。測(cè)量時(shí)取兩塊光柵常數(shù)相同的光柵,其中一塊用作標(biāo)尺光柵,它可以移動(dòng)(或固定不動(dòng)),另一塊用作指示光柵,它固定不動(dòng)(或可以移動(dòng)),兩者刻線(xiàn)面相對(duì),中間留有很小的間隙相疊合,組成光柵副。將其置于光源和透鏡形成的平行光束的光路中,若兩光柵柵線(xiàn)之間有很小的夾角,則在近似垂直于柵線(xiàn)方向上顯現(xiàn)出比柵距寬很多的明暗相間的莫爾條紋,當(dāng)標(biāo)尺光柵沿垂直于柵線(xiàn)方向每移過(guò)一個(gè)柵距時(shí),莫爾條紋近似沿柵線(xiàn)方向移過(guò)一個(gè)條紋間距。用光電器件接收莫爾條紋信號(hào),經(jīng)電路處理后用計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù),可得到標(biāo)尺光柵移過(guò)的距離,實(shí)現(xiàn)測(cè)量位移的目的。12、莫爾條紋是如何形成的?它有哪些特性?答:把兩光柵刻線(xiàn)面相對(duì),中間留有很小的間隙相疊合,將其置于光源和透鏡形成的平行光束的光路中,若兩光柵柵線(xiàn)之間有很小的夾角,則由于兩光柵的柵線(xiàn)相互擋光作用的結(jié)果,在近似垂直于柵線(xiàn)方向上顯現(xiàn)出比柵距寬很多的明暗相間的莫爾條紋。莫爾條紋具有運(yùn)動(dòng)有嚴(yán)格對(duì)應(yīng)關(guān)系、位移放大作用和誤差平均效應(yīng)等特點(diǎn)。13、試分析為什么光柵式傳感器有較高的測(cè)量精度?14、長(zhǎng)、圓光柵各有哪些種莫爾條紋"那些事常用的?15、用四只光敏二極管接受長(zhǎng)光柵的莫爾條紋信號(hào),如果光敏二極管的響應(yīng)時(shí)間為10-6s,光柵的柵線(xiàn)密度為50線(xiàn)1mm16、與單頻激光干涉儀相比較,說(shuō)明雙頻激光干涉儀有哪些特點(diǎn)"17、激光測(cè)微側(cè)頭為什么采用激光二極管作光源?18、簡(jiǎn)述激光掃描測(cè)長(zhǎng)的基本原理。19、簡(jiǎn)述激光多普勒測(cè)速的基本原理。第七章補(bǔ)充題:若要使光纖的最大入射角,纖芯的折射率n1=1.46,外部空氣折射率n0=1,試確定包層采用何種折射率n2的材料?!摺?1.45補(bǔ)充題:1、一自感式變氣隙型傳感器,圓形截面鐵芯平均長(zhǎng)度為12cm,截面積為1.5cm2,氣隙總長(zhǎng)為0.5mm,平均相對(duì)磁導(dǎo)率μr=2000,供電電源頻率f=500Hz,均勻繞線(xiàn)500匝①該線(xiàn)圈電感量L0。(μ0=4π×10―7H/m)②該線(xiàn)圈的品質(zhì)因數(shù)Q(忽略鐵損)已知:l=12cm=0.12m;S=1.5cm2=1.5×10-4m2;δ=0.5mm=0.5×10-3;μr=2000;f=500Hz;N=500;d=0.1mm。μ0求:①L0=?②Q=?解①因?yàn)椋篖0=N2/Rm而Rm=(l/μ0μrS)+δ/μ0S所以:解②因?yàn)椋篞=ωL0/R而:ω=2πf=2π×500=3141.59r
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