STZ-04型四探針溫控測試系統(tǒng)_第1頁
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文檔簡介

STZ-04型四探針溫控測試系統(tǒng)STZ-04型四探針溫控測試系統(tǒng)主要用于材料在不同溫度時導電性能的評估和測試，分析被測樣品電阻率、方塊電阻、電阻隨溫度變化的數(shù)據(jù)和曲線。該儀器運用四探針測量原理，按照四探針測試方法的國家標準并參考美國A.S.T.M標準而設(shè)計的。儀器由四探針測試儀、溫控系統(tǒng)、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對材料的電阻性能測試。STZ-04型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析.技術(shù)指標：顯示器高清LCD液晶顯示顯示位數(shù)6位測量范圍和精度電阻率1μΩ?cm－20MΩ?cm方塊電阻10μΩ/sq－20MΩ/sq模擬電阻10μΩ－20MΩ精度電阻率、方阻：4%；模擬電阻：0.1%；測量功能量程方式自動，保持測量速度快速:10次/秒，中速:5次/秒，慢速:2次/秒探針碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16牛頓(總力)溫控范圍常溫～100℃(可擴展)溫控精度±1℃軟件功能能夠生成各種曲線圖，方阻R1隨溫度變化曲線圖（公式：R1=p/tp-電阻率,t-薄膜厚度），電阻（d(lnP).-由陽率,T-溫度lnp與T的曲線斜率即為TCR值a=p-電阻率，）溫度系數(shù)TCR曲線圖,方阻R

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