測控儀器設(shè)計(jì)復(fù)習(xí)

第一章測控儀器設(shè)計(jì)概論第一節(jié)測控儀器的概念和組成第二節(jié)

測控儀器及其設(shè)計(jì)的發(fā)展?fàn)顩r與趨勢第三節(jié)

測量儀器通用術(shù)語及定義第四節(jié)

對測控儀器設(shè)計(jì)的要求和設(shè)計(jì)程序

習(xí)題第一節(jié)測控儀器的概念和組成一、測控儀器的概念按照系統(tǒng)工程學(xué)的觀點(diǎn),生產(chǎn)過程中有三大技術(shù)系統(tǒng):★

以能量到能量變換為主的能量流系統(tǒng)如鍋爐,冷凝器,熱交換器,發(fā)動(dòng)機(jī)等★

以材料到材料變換為主的材料流系統(tǒng)如機(jī)床,農(nóng)業(yè)機(jī)械,紡織機(jī)械,液壓機(jī)械等

★以信息獲取到測量、變換、控制、處理、顯示等為主的信息流系統(tǒng)，如儀器儀表、計(jì)算機(jī)、通信裝置、自動(dòng)控制系統(tǒng)等。測控儀器的概念在現(xiàn)代計(jì)量測試儀器中，測量與控制已經(jīng)密不可分，測控儀器則是利用測量和控制的理論，采用機(jī)、電、光各種計(jì)量測試原理及控制系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)相結(jié)合的一種范圍廣泛的測量儀器。

本課程的要求：①掌握機(jī)、電、光、計(jì)算機(jī)技術(shù)相結(jié)合的儀器總體設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)理論知識；②學(xué)會如何從設(shè)計(jì)任務(wù)出發(fā)，進(jìn)行總體設(shè)計(jì)的方法；③具有進(jìn)行儀器精度設(shè)計(jì)的能力。本門課程力求使學(xué)生在測控儀器設(shè)計(jì)中具有勇于探索、有創(chuàng)新思維的設(shè)計(jì)能力。

測控儀器的組成

二、

測控儀器種類繁多，其組成多種多樣，但可按其各部分的功能來分成若干組成部分。測控儀器組成以圖1—1“微電子產(chǎn)品視覺檢測儀”

為例說明。儀器組成：支承底座、精密工作臺、X、Y二維運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌、立柱、顯微鏡及CCD攝像器件、光柵系統(tǒng)、精密驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、光源。1基準(zhǔn)部件5信息處理與運(yùn)算裝置2傳感器與感受轉(zhuǎn)換部件6顯示部件

3放大部件7驅(qū)動(dòng)控制器部件

4瞄準(zhǔn)部件8機(jī)械結(jié)構(gòu)部件

第二節(jié)測控儀器及其設(shè)計(jì)的發(fā)展?fàn)顩r與趨勢一、發(fā)展趨勢:

高精度與高可靠性、高效率、智能化、多樣化與多維化。（1）高精度與高可靠性

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對測控儀器的精度提出更高的要求，如幾何量nm精度測量，力學(xué)量的mg精度測量等。同時(shí)對儀器的可靠性要求也日益增高，尤其是航空、航天用的測控儀器，其可靠性尤為重要。

（2）高效率

大批量產(chǎn)品生產(chǎn)節(jié)奏，要求測量儀器具有高效率，因此非接觸測量、在線檢測、自適應(yīng)控制、模糊控制、操作與控制的自動(dòng)化、多點(diǎn)檢測、機(jī)光電算一體化是必然的趨勢。二、發(fā)展概況—現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法

二、

現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法的特點(diǎn)：(1)程式性強(qiáng)調(diào)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)與銷售的一體化。(2)創(chuàng)造性突出人的創(chuàng)造性，開發(fā)創(chuàng)新性產(chǎn)品。(3)系統(tǒng)性用系統(tǒng)工程思想處理技術(shù)系統(tǒng)問題。力求系統(tǒng)整體最優(yōu)，同時(shí)要考慮人-機(jī)-環(huán)境的大系統(tǒng)關(guān)系。(4)優(yōu)化性通過優(yōu)化理論及技術(shù)，以獲得功能全、性能良好、成本低、性能價(jià)格比高的產(chǎn)品。(5)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)計(jì)算機(jī)將更全面地引入設(shè)計(jì)全過程，計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)不僅用于計(jì)算和繪圖，在信息儲存、評價(jià)決策、動(dòng)態(tài)模擬、人工智能等方面將發(fā)揮更大作用。

第三節(jié)測量儀器通用術(shù)語及定義

儀器的技術(shù)指標(biāo)是用來說明一臺儀器的性能和作用的，主要技術(shù)指標(biāo)既作為設(shè)計(jì)依據(jù)，也用來考核所設(shè)計(jì)的儀器是否成功。作為測量儀器還必須要有規(guī)范的語言，稱之為測量儀器的術(shù)語。本節(jié)敘述的有關(guān)測量儀器的術(shù)語是根據(jù)JJFl001—1998全國法制計(jì)量技術(shù)委員會頒布的“通用計(jì)量術(shù)語及定義”來說明的。第四節(jié)對測控儀器設(shè)計(jì)的要求和設(shè)計(jì)程序

一、設(shè)計(jì)要求

二、測控儀器的設(shè)計(jì)程序第一章復(fù)

習(xí)

題

第二章儀器精度理論

意義：精度分析和精度設(shè)計(jì)是儀器設(shè)計(jì)的重要內(nèi)涵內(nèi)容：儀器誤差來源與特性誤差計(jì)算與評定誤差傳遞及相互作用的規(guī)律誤差合成與分配原則和方法對儀器精度的測試過程第一節(jié)儀器精度理論中的若干基本概念第二節(jié)儀器誤差的來源與性質(zhì)第三節(jié)儀器誤差的分析第四節(jié)儀器誤差的綜合第五節(jié)儀器誤差的分析合成舉例第六節(jié)儀器精度設(shè)計(jì)第一倡節(jié)儀器森精度苗理論給中的努若干彎基本均概念第二線節(jié)犁儀萍器誤啊差的梅來源毛與性具質(zhì)設(shè)計(jì)生產(chǎn)使用原理誤差制造誤差運(yùn)行誤差第三晝節(jié)儀器綢誤差恩分析任務(wù)艇：尋找抖影響春儀器幕精度棗的誤尖差根鑰源及蠢其規(guī)叔律；計(jì)算貌誤差女及其濱對儀政器總橋精度劑的影頂響程四度；目的昏：正確冊地選縫擇儀假器設(shè)枯計(jì)方破案；合理渣地確決定結(jié)種構(gòu)和議技術(shù)異參數(shù)起；為設(shè)避置誤成差補(bǔ)藏償環(huán)踢節(jié)提壘供依躺據(jù)。一、微分法二、傍幾何治法三、緩作用反線與膽瞬時(shí)則臂法四、惰數(shù)學(xué)兵逼近常法第四乞節(jié)孔儀煉器誤困差的犯綜合二、掠系統(tǒng)抽誤差閃的綜辯合在儀丈器設(shè)旱計(jì)、吸制造陰、測頑試驗(yàn)鑼收的蹈各個(gè)孫環(huán)節(jié)砌都需仰要進(jìn)婆行精察度評廣估，窩就離管不開瓣儀器剝誤差部的綜朝合。單由于擱儀器她源誤漠差很熊多、合性質(zhì)恰又各芒不相公同，氧因此并儀器村誤差忘綜合需方法添也各捷不相目同。醉根據(jù)棋儀器捧誤差笑性質(zhì)朵的不嫩同，促儀器承誤差蠶可按槐下述島方法伸綜合旗。一、瓦隨機(jī)獄誤差爽的綜汁合三、遼儀器牢總體列誤差紋的合勁成第五餅節(jié)儀器閘誤差劍分析蓋合成卸舉例第六鎖節(jié)醉儀爺器精承度設(shè)茂計(jì)儀器櫻精度退設(shè)計(jì)撥是儀任器精沈度綜伏合的警反問爬題，隆其根肥本任屬務(wù)是將給朋定的蹈儀器鍋總誤許差合負(fù)理地頸分配黨到儀搶器的歇各個(gè)寸組成之部件釘上，為熄正確滴設(shè)計(jì)針儀器歷的各間個(gè)組鉗成部狗件結(jié)蔬構(gòu)以階及制陵定零尊部件醋的公果差和講技術(shù)腫要求答提供乒依據(jù)躺。對促于一農(nóng)些對韻儀器熱精度廉影響數(shù)較大裙的環(huán)虛節(jié)給影予較筒嚴(yán)的次精度沈指標(biāo)染；對標(biāo)于那屆些對貿(mào)儀器歉精度末影響績較小花的環(huán)撲節(jié)給衰予較致寬松鄭的精溉度指傍標(biāo)，交在滿厚足儀焦器總盯精度棕要求等的前淡提下陷使制鍋造成鞠本降短致最巖小。一、印儀器此精度能指標(biāo)妙的確燒定二、叨誤差輔分配公方法第二游章渡復(fù)習(xí)題第三可章定測控沾儀器便總體晴設(shè)計(jì)測控譽(yù)儀器桿總體閑設(shè)計(jì)章，是盯指在崇進(jìn)行蛛儀器繪具體惡設(shè)計(jì)愚以前鹿，從儀器嚴(yán)自身述的功葵能、賭技術(shù)腔指標(biāo)霜、檢魯測與侵控制余系統(tǒng)急框架藏及儀京器應(yīng)親用的畢環(huán)境真和條廉件等總術(shù)體角墻度出康發(fā)，膝對儀滅器設(shè)化計(jì)中枕的全罰局問土題進(jìn)初行全陵面的魔設(shè)想鍵和規(guī)燙劃。要考仗慮的遍主要右問題鴿有：1.設(shè)計(jì)票任務(wù)名分析2.創(chuàng)新旨性構(gòu)臺思賭（所百能達(dá)朽到的未新功老能，鋪所實(shí)廣現(xiàn)的記新方沸法，杰所反那映出米的新姿技術(shù)漆，新曲理論煤等）3.測控野儀器同若干壯設(shè)計(jì)列原則廊的考乖慮4.測控寨儀器香若干劣設(shè)計(jì)與原理闊的斟兔酌5.測控蜂儀器預(yù)工作納原理機(jī)的選啟擇和仗系統(tǒng)融設(shè)計(jì)6.測控融系統(tǒng)洽主要宇結(jié)構(gòu)嗽參數(shù)榴與技返術(shù)指狡標(biāo)的贊確定7.儀器持總體屋的造裂型規(guī)吉?jiǎng)澋谝惶吖?jié)麻設(shè)計(jì)駁任務(wù)怎分析第二歪節(jié)偉創(chuàng)新由性設(shè)旱計(jì)第三仗節(jié)延測控衰儀器跪設(shè)計(jì)刻原則第四洲節(jié)饞測控狐儀器傲設(shè)計(jì)鑼原理第五幻玉節(jié)光測控腰儀器披工作趁原理坦的選卷擇和罵系統(tǒng)激設(shè)計(jì)第六淺節(jié)西測控報(bào)儀器供主要挎結(jié)構(gòu)泳參數(shù)限與技蔬術(shù)指某標(biāo)的閱確定第七么節(jié)據(jù)測控籌儀器勿的造仁型設(shè)躁計(jì)儀器靜總體耀設(shè)計(jì)顧的最逮終評盈估，旋是以套其所坑能達(dá)羨到的玻經(jīng)濟(jì)踢指標(biāo)透與技損術(shù)指咸標(biāo)來峽衡量歇，精度土與可邁靠性績指標(biāo)是測廚控儀丙器設(shè)梁計(jì)的那核心賄問題般。本章廚共分奔為七強(qiáng)節(jié)第一買節(jié)速設(shè)計(jì)瓶任務(wù)野分析第二少節(jié)擾創(chuàng)集新性間設(shè)計(jì)第三貓節(jié)清測控慌儀器怖設(shè)計(jì)臉原則六項(xiàng)訊設(shè)計(jì)普原則犧：一、惰阿貝(Ab懶be)原則聽及其鞏擴(kuò)展二、票變形振最小淋原則階及減頸小變虛形影穴響的況措施三、爽測量倒鏈最朗短原靠則四、館坐標(biāo)侮系統(tǒng)鳥一原漏則五、雙精度叼匹配撓原則六、宜經(jīng)濟(jì)肝原則第四蠶節(jié)乎測陜控儀挎器設(shè)由計(jì)原映理一、平均決讀數(shù)象原理二、比較亂測量顏原理三、補(bǔ)償負(fù)原理第五否節(jié)元測控賊儀器住工作先原理暫的選匪擇和恩系統(tǒng)牽設(shè)計(jì)第六茂節(jié)疼測琴控儀督器主迷要結(jié)限構(gòu)參窮數(shù)與縣技術(shù)癢指標(biāo)絡(luò)的確囑定第三矮章夢復(fù)習(xí)題第四狂章時(shí)精密申機(jī)械啦系統(tǒng)吉的設(shè)膝計(jì)在測狂控儀喝器中厭，精熱密機(jī)荷械系統(tǒng)統(tǒng)對蘇保證頂儀器鍛的測量腐精度、定位向精度和運(yùn)動(dòng)者精度起著反關(guān)鍵沖的作尊用。陽隨著型精密迷測量漂與控慮制技眉術(shù)的造飛速申發(fā)展險(xiǎn)，對伸測控軟儀器喜中的飯精密歐機(jī)械奸系統(tǒng)蝴的功劫能和曉精度砌要求接也越攻來越恨高。香如對摟基座阻的變售形要極控制線在亞想微米匯量級胳；對余工作陵臺的莖定位菌精度連和傳末動(dòng)精耽度要逮求能刺達(dá)到0.笨1μ貝m；對京導(dǎo)軌婚的直登線度蕩要求梢達(dá)到0.靜1μ錯(cuò)m/悲m；主倒軸的扇回轉(zhuǎn)格精度常要求篇達(dá)到0.傅01蛛μm等。本章覽在精愿密機(jī)末械設(shè)臂計(jì)基徐礎(chǔ)上奔，重易點(diǎn)對撥系統(tǒng)嚼精度涌和性促能影榴響較荷大的爐機(jī)械葛結(jié)構(gòu)姐進(jìn)行山研究姿，如餐：基創(chuàng)座、苦導(dǎo)軌速、軸扁系及址伺服燈系統(tǒng)剖進(jìn)行歇等。本章娃共分姑為五款節(jié)：第一伸節(jié)盛儀器華的支論承件廟設(shè)計(jì)第二仗節(jié)糟儀器字的導(dǎo)禮軌及案設(shè)計(jì)第三哭節(jié)錘主軸商系統(tǒng)婆及設(shè)展計(jì)第四促節(jié)臂伺服臟機(jī)械北系統(tǒng)垂設(shè)計(jì)第五度節(jié)瞧微位廢移機(jī)謊構(gòu)及超設(shè)計(jì)第一供節(jié)療儀龍器的謠支承摸件設(shè)賣計(jì)儀器揀中的區(qū)支承謝件包蹈括基座語、立憐柱、臉機(jī)柜友、機(jī)幣箱等。遼它起翁著聯(lián)證接和輸支承設(shè)儀器臣的機(jī)渾、光現(xiàn)、電陽等各置部分謙零件假和部遙件的塘作用驕?；鶡捵颓昧⒅浀牧ρ曜冃斡潞蜏赝Ф茸兘承螌⑷庵苯优Ｓ绊懠獪y量塌精度責(zé)。支承慨件的搬結(jié)構(gòu)榮特點(diǎn)既和設(shè)盤計(jì)要哭求；橫截賣面積摔相同如時(shí)不礎(chǔ)同斷里面形熟狀慣泛性矩粥的比陶較；各種睜肋條(板)的形右狀及月其優(yōu)女缺點(diǎn)灣；支承傘件?；笥貌恼闲晕茨芗皽惛纳品ゴ胧┪?；基座昌與支拳承件市的壁際厚、通肋板鍵、肋夸條厚掛度。第二校節(jié)革儀巨器的述導(dǎo)軌伴及設(shè)揉計(jì)一、悲導(dǎo)軌氧的功前用與獻(xiàn)分類導(dǎo)軌仍的功乳用：導(dǎo)軌遇是穩(wěn)發(fā)定和頑靈活柿傳遞省直線舟運(yùn)動(dòng)徹的部按件，橋起著認(rèn)確保旨運(yùn)動(dòng)渾精度額及部但件間建相互親位置稠精度唱的作邀用。辯其由運(yùn)動(dòng)危導(dǎo)軌（動(dòng)睬導(dǎo)軌國）和支承辯導(dǎo)軌（靜膝導(dǎo)軌包）組激成。導(dǎo)軌漿種類胃：1）滑思動(dòng)摩劫擦導(dǎo)忌軌遺兩思導(dǎo)軌綿面間恒直接咱接觸汽形成己滑動(dòng)倡摩擦跡。2）滾節(jié)動(dòng)導(dǎo)虹軌樣動(dòng)算靜導(dǎo)缸軌面份間有悼滾動(dòng)殘?bào)w，廳形成削滾動(dòng)梅摩擦森。3）靜荷壓導(dǎo)撤軌牽兩暴導(dǎo)軌加面間注有壓顆力油弟或壓暮縮空精氣，鮮由靜到壓力侄使動(dòng)周導(dǎo)軌罪浮起朽形成液體慘或氣隙體摩委擦。4）彈赴性摩配擦導(dǎo)載軌沈利楊用材存料彈招性變咱形，清使運(yùn)符動(dòng)件桑做精性密微賞小位灰移。段這種豈導(dǎo)軌僅有已彈性撲材料叛內(nèi)分干子間群的內(nèi)臂摩擦罪。二、治導(dǎo)軌憶設(shè)計(jì)餐的基聲本要低求三、喉導(dǎo)軌統(tǒng)設(shè)計(jì)節(jié)應(yīng)遵躁守的侵原理怪和準(zhǔn)臺則四、粉滑動(dòng)畜摩擦色導(dǎo)軌灑及設(shè)劣計(jì)滑動(dòng)哨導(dǎo)軌架是支洋承件筆和運(yùn)倉動(dòng)件幣直接線接觸蜂的導(dǎo)決軌。譜優(yōu)點(diǎn)穴是結(jié)雖構(gòu)簡柄單、累制造南容易屈、接旺觸剛撥度大錘。缺醒點(diǎn)是桿摩擦束阻力乞大、勇磨損紐奉快，辦動(dòng)、踢靜摩睛擦系博數(shù)差像別大歪，低蹤蝶速度映時(shí)，業(yè)易產(chǎn)適生爬姥行。五、升滾動(dòng)夕摩擦嫂導(dǎo)軌污及設(shè)規(guī)計(jì)滾動(dòng)起摩擦艇導(dǎo)軌盛是在黎兩導(dǎo)鈴軌面金之間縮慧放入洽滾珠撇、滾神柱、猶滾針蘆等滾筒動(dòng)體蠶，使壓導(dǎo)軌乏運(yùn)動(dòng)祝處于傭滾動(dòng)討摩擦殺狀態(tài)圣。由常于滾遣動(dòng)摩樂擦阻痰力小充，使慮工作予臺移蹈動(dòng)靈討敏，漂低速吩移動(dòng)圣時(shí)也慕不易會產(chǎn)生水爬行枕。工丹作臺呈起動(dòng)黑和運(yùn)佳行消修耗的狐功率瞞小，魂滾動(dòng)惹導(dǎo)軌攏磨損價(jià)小，個(gè)保持呼精度氧持久普性好剪，故長在儀而器中礙廣泛翠應(yīng)用圓。但是鏡，這蝕種導(dǎo)形軌是應(yīng)點(diǎn)或紐奉線接課觸，獵故抗換振性憐差，蕩接觸挪應(yīng)力能大。邪在設(shè)衡計(jì)這貪種導(dǎo)譯軌時(shí)巧，對渣導(dǎo)軌妥的直淘線度右和滾委動(dòng)體日的尺聽寸精娘度要遞求高互。導(dǎo)刪軌對嫂臟物青比較愛敏感尾，要宵很好碧的防娛護(hù)，眠其結(jié)峰構(gòu)比血滑動(dòng)貌導(dǎo)軌隔復(fù)雜番，制墊造困聰難，保成本幼高。六、駛靜壓細(xì)導(dǎo)軌附及設(shè)池計(jì)要熊點(diǎn)▼靜壓貼導(dǎo)軌榮定義媽：靜壓崗導(dǎo)軌疼是在積動(dòng)導(dǎo)刪軌與龜靜導(dǎo)撐軌之坑間，炕因液品體壓耍力油扶或氣賓體靜塊壓力睡而使夜動(dòng)導(dǎo)軌及單工作返臺浮丹起，您兩導(dǎo)陵軌之漢間工耐作面最不接丈觸，序而形妥成完用全的優(yōu)液體崇或氣構(gòu)體摩捎擦。根據(jù)辭導(dǎo)軌裝面間初產(chǎn)生叨靜壓底力的扒介質(zhì)祥不同蓋而分顛為液體乓靜壓氧導(dǎo)軌和空氣艘靜壓顧導(dǎo)軌。▼趨靜兔壓導(dǎo)劃軌的胃特點(diǎn)紫：1）靜仇壓導(dǎo)咬軌的掉導(dǎo)軌頓面間拆摩擦每是液旗體分煌子或址氣體拜分子蛛摩擦倆，因忠而摩炭擦系住數(shù)極低（0.松00續(xù)05），方故沒痕有爬薄行，盼不產(chǎn)典生磨習(xí)損，毀壽命呼長，恥驅(qū)動(dòng)肯功率堵小。2）精尋度高裂，靜叫壓導(dǎo)婆軌是依根據(jù)驢彈性臭平均藝原理煌設(shè)計(jì)股的，緞因液幫體或松氣體招分子輸?shù)膹椥云竭w均作物用而雅使導(dǎo)朝軌運(yùn)囑動(dòng)精詠度提乏高。3）導(dǎo)祖軌的頂承載魂能力虧較大治，剛妹度好訂。液川體靜艇壓導(dǎo)壟軌因餅壓力游油粘多性遠(yuǎn)桃大于姓氣體靜壓驕導(dǎo)軌得的空躍氣粘引度，掠因而根液體縮慧靜壓傅導(dǎo)軌芳剛性吐好于停氣體朱靜壓嚼導(dǎo)軌錘。4）導(dǎo)蠢軌工紅作面劣充滿等壓力針油或味壓縮渴空氣霸，而陸有吸漢振作心用，飛抗振梢性好構(gòu)。5）仙靜壓桃導(dǎo)軌駁的缺強(qiáng)點(diǎn)是弄結(jié)構(gòu)當(dāng)復(fù)雜咸，調(diào)統(tǒng)整費(fèi)壯事，甩成本缸較高消。需許要一茄套嚴(yán)駱格過律濾的供濁油或蜂供氣私設(shè)備竟。提高乳氣浮幻玉導(dǎo)軌磨性能愧的方價(jià)法吵為鬼提高具空氣響靜壓社導(dǎo)軌吧的剛箏度和陵承載狗能力緒，可貓采用異以下限幾種餅方法妄：1）結(jié)構(gòu)游上采線用閉響式導(dǎo)偽軌，閉箭式導(dǎo)答軌的存工作召面由赴兩個(gè)懲相對檢安裝獸的止厚推軸嚴(yán)承構(gòu)愛成，慕它的歉剛度柴一般布為單診面導(dǎo)互軌的合兩倍象，呈孟線性轟承載互特性石，穩(wěn)肺定性救好，譯運(yùn)動(dòng)掃精度添高。2）增加草供氣窗壓力，增階加供涌氣壓江力可立提高畫氣膜拼的剛突度。3）減小輪浮起熄間隙，加馬大封蘆閉力憤，在蟲一定誘范圍狼內(nèi)氣感浮導(dǎo)摧軌的展剛度涼隨氣乳膜厚驢度的鍵減小佩而增曲大。4）載荷起補(bǔ)償，在真導(dǎo)軌獎(jiǎng)內(nèi)或賢供氣糠回路隨中，毅安裝蠟載荷姨補(bǔ)償參機(jī)構(gòu)右，使漫氣浮南導(dǎo)軌卡在載亭荷發(fā)武生變薄化時(shí)堅(jiān)，浮懂起量垃變化場很小煎，從鋼而使凱剛度瘦增大舉。5）提高幸阻尼炊力增瞧加剛腎度，如特采用紡粉末文冶金烤多孔腐材料尼節(jié)流奧器，譯用大始面積笑微孔燭節(jié)流而代替寬小孔惡節(jié)流最，使位靜壓脫導(dǎo)軌比剛度倡提高紙；采駱用氣滿、液疏雙向忌潤滑清液，瞇因潤爺滑面曬含有而油層通，而祖增加少滑動(dòng)擺阻尼腳，使段導(dǎo)軌惡運(yùn)動(dòng)推方向亞的剛窮度增板加；回采用參半氣煎浮導(dǎo)惑軌，杰使導(dǎo)墳軌面惑有部被分接認(rèn)觸，險(xiǎn)保持殺恒定潔的庫鉛倫摩渡擦力顏，又唯有適面當(dāng)?shù)膽M阻力譽(yù)，提桿高了漏承載護(hù)力和似剛度慘。七、虛設(shè)計(jì)鉗時(shí)導(dǎo)熊軌選報(bào)擇要市點(diǎn)（一堵）導(dǎo)這軌形渠式的若選擇在設(shè)尿計(jì)儀普器時(shí)斥，其聚導(dǎo)軌吵形式芹的選爸擇是倆非常覺重要鍛的一遮個(gè)環(huán)壁節(jié)，守導(dǎo)軌瞞的選掩擇不犁僅決滿定了念儀器涼的精踏度指床標(biāo)是婚否達(dá)司到設(shè)扇計(jì)要溜求，黎同時(shí)報(bào)也決浪定了錢儀器仍的成盾本高掛低；飯選擇匙導(dǎo)軌恩形式尊時(shí)，掛要考趁慮的紹因素斗很多凱，如港導(dǎo)向畜精度字、運(yùn)泉?jiǎng)悠绞练€(wěn)性聯(lián)、承煎載能征力（饞剛度滿）、榆耐磨跪性、叉使用爽環(huán)境恨、安停裝形姑式、門各向泛靜力土矩、欲運(yùn)動(dòng)像速度促、行屈程大順小、蛇成本罰等因腎素。緞?dòng)捎诖裁糠N有形式蔬的導(dǎo)速軌各轎有其墊特點(diǎn)臺，所磁以在后選擇挑時(shí)要州綜合披考慮應(yīng)。表4-梳4為各烤種導(dǎo)線軌的跡比對許。

特性導(dǎo)軌名稱

導(dǎo)向精度運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性承載能力耐磨性使用環(huán)境成本滑動(dòng)導(dǎo)軌較高較好大差要求不高低滾動(dòng)導(dǎo)軌高較好較低較好要求較高較高液體靜壓導(dǎo)軌高好較大好要求高高空氣靜壓導(dǎo)軌高好較低好要求高高表4-請4各種智導(dǎo)軌嗽的比鬧對第三千節(jié)虹主軸厭系統(tǒng)使及設(shè)癢計(jì)在測壤控儀境器中啊，主并軸系棒統(tǒng)由余主軸嗽、軸請承及辟安裝靜在主軍軸上涼的傳渣動(dòng)件晨或分民度元嬸件組扎成。凡作險(xiǎn)回轉(zhuǎn)挽運(yùn)動(dòng)勞的儀今器中坊都必栽須有急主軸探系統(tǒng)賀。因堤此主指軸系忍統(tǒng)是兼測控搭儀器夕或精溝密機(jī)械勒的關(guān)虎鍵部藥件。在測氧控儀濾器中德主軸濤系統(tǒng)蔽的作錦用是怕作精踩密旋鴉轉(zhuǎn)運(yùn)居動(dòng)，咬分度亞運(yùn)動(dòng)?；蜻M(jìn)攀行精倡度分度、瓦測角況等。一、牛主軸柳系統(tǒng)煎設(shè)計(jì)處的基擋本要直求（一憂）主統(tǒng)軸回伸轉(zhuǎn)精叛度包括寬：徑能向、應(yīng)軸向骨、傾痛角、增端面要誤差京運(yùn)動(dòng)恰。①徑向他誤差慣運(yùn)動(dòng)—包括蔑傾角排運(yùn)動(dòng)鑒和純狹徑向竟運(yùn)動(dòng)新之和攏。②徑向樣跳動(dòng)—包括徑向竊誤差掌運(yùn)動(dòng)及偏心和圓度誤差③端面膽誤差母運(yùn)動(dòng)—軸向獵誤差意運(yùn)動(dòng)④端面役跳動(dòng)--端面淹誤差您運(yùn)動(dòng)粗及端檔面與硬軸線梢的垂握直度蟲、平據(jù)行度挎。七、思設(shè)計(jì)粥時(shí)軸俗系選范擇要什點(diǎn)儀器稿中的某軸系彎是用繁以支圓承儀萌器可福動(dòng)部純分圍恨繞某車一軸怠線作滴精確歌的回統(tǒng)轉(zhuǎn)運(yùn)雄動(dòng)進(jìn)壇行測原量，貴它是悔儀器逆的關(guān)灶鍵部斜件之微一?？菲湫螌⑹降挠赀x擇釣是非平常重塵要的昌一個(gè)藝環(huán)節(jié)稠，軸染系的慮選擇吼不僅群決定躺了儀鵲器的解測量資精度頁指標(biāo)到是否項(xiàng)達(dá)到躺設(shè)計(jì)攔要求券，同舟時(shí)也蠶決定粘了儀四器的更成本拒高低咱；選惠擇軸意系形否式時(shí)柔，要叛考慮冒的因徹素很幸多，焰如回殺轉(zhuǎn)精米度、上轉(zhuǎn)動(dòng)劇靈活法性、拆承載紐奉能力矮（剛足度）毫、壽桂命、習(xí)結(jié)構(gòu)店工藝瘦性、沃使用鍛環(huán)境扇、成圣本等沖因素跌。由莖于各戶種形鞏式軸稅系各爐有其梁特點(diǎn)輔，所義以在到選擇垮時(shí)要腫綜合胸考慮規(guī)。各改種軸闖系的利比對囑見表4-森6。表4-濤6軸系呀的比轉(zhuǎn)對

特性導(dǎo)軌名稱

回轉(zhuǎn)精度轉(zhuǎn)動(dòng)靈活性承載能力耐磨性使用環(huán)境成本滑動(dòng)軸系較高較差大差要求較低低滾動(dòng)軸系高較好較大較好要求較高較高液體靜壓軸系高好

大好要求高高氣體靜壓軸系高好較大好要求高高第四剪節(jié)騎伺睡服機(jī)海械系的統(tǒng)設(shè)高計(jì)在進(jìn)紐奉行點(diǎn)層、線漿、面剪或空拜間曲女面測顫量和天精密羞定位敏時(shí)，傻精密亮機(jī)械赤系統(tǒng)或需要杰作各估種運(yùn)等動(dòng)，導(dǎo)如直臥線運(yùn)日動(dòng)、妄回轉(zhuǎn)膨運(yùn)動(dòng)形、曲貸線運(yùn)掠動(dòng)、特空間氏運(yùn)動(dòng)勁等。興這些案運(yùn)動(dòng)增需要綠驅(qū)動(dòng)吹裝置酷、傳未動(dòng)裝構(gòu)置和缺控制破裝置絡(luò)構(gòu)成燥一個(gè)扒伺服素系統(tǒng)督來達(dá)氧到各曠種精溜密運(yùn)菜動(dòng)的執(zhí)目的括。運(yùn)蠢動(dòng)的句控制黨往往悄要用唇計(jì)算姥機(jī)來枝完成乎。一、槽伺服抬系統(tǒng)辱的分鍵類二、待伺服情驅(qū)動(dòng)格裝置三、多機(jī)械湯傳動(dòng)義裝置伺服仍系統(tǒng)山中的套機(jī)械承傳動(dòng)杏裝置輪有齒牛輪傳喊動(dòng)、斷蝸輪莖蝸桿瓦傳動(dòng)掃、絲引杠傳葡動(dòng)、廊彈性案傳動(dòng)胖、摩侄擦傳筒動(dòng)等下。傳動(dòng)吊裝置壞的作悅用是淚傳遞轉(zhuǎn)速聞和轉(zhuǎn)鞠矩，要漁求能礎(chǔ)使工問作臺巾靈敏對、準(zhǔn)芳確、喚穩(wěn)定遼地跟師蹤指慈令，滑實(shí)現(xiàn)哈精確壓移動(dòng)祝。第五統(tǒng)節(jié)衛(wèi)微者位移享機(jī)構(gòu)燒及設(shè)早計(jì)微位穿移技短術(shù)是犧一行名程小碌、分功辨力田和精朗度都串很高勢的技篩術(shù)，狗其精完度要負(fù)達(dá)到松亞微葬米和短納米晚級。奔通常窗把應(yīng)兵用微傻位移說技術(shù)五的系填統(tǒng)稱里為微賭系統(tǒng)防，它紗由微輪位移祥機(jī)構(gòu)準(zhǔn)、精佩密檢每測裝禮置和林控制拴裝置頂三部濟(jì)分組招成。典本節(jié)扁主要駐討論歪微位革移機(jī)視構(gòu)及田其驅(qū)丘動(dòng)原鮮理及激設(shè)計(jì)世問題宅。一、鋸常用牽的微祖位移值機(jī)構(gòu)二、姜微驅(qū)蠅動(dòng)器冶件三、新柔性絮鉸鏈柔性巧鉸鏈錢用于旅繞軸作復(fù)歌雜運(yùn)梨動(dòng)的籍有限仔角位茶移，典它的午特點(diǎn)胸是：供無機(jī)牌械摩毒擦、喬無間垂隙、丸運(yùn)動(dòng)酒靈敏筍度高彼。利船用柔泛性鉸事鏈原獅理研犧制的距角度哀微調(diào)倉裝置耕，在3′的角哪度范汁圍內(nèi)盒，達(dá)超到了10-7（°）的鍛穩(wěn)定尺分辨倚率。找近年墓來，暖柔性符鉸鏈圍又在逃精密血微位浸移工窩作臺取中得絡(luò)到了督實(shí)用誕，并兩被廣較泛地薦用于哨陀螺涂儀、庫加速承度儀附、精作密天讀平等漏儀器頓儀表茄中。童柔性銅鉸鏈窮有很廊多種結(jié)結(jié)構(gòu)榮，最誓普通條的形繞式是歷繞一偷個(gè)軸振彈性界彎曲帳，這意種彈光性變息形是揉可逆業(yè)的。四、謙精密健微動(dòng)讓工作朱臺設(shè)揀計(jì)要妖點(diǎn)（一扣）設(shè)矮計(jì)要數(shù)求1）微柳動(dòng)工遮作臺僚的支現(xiàn)承或炒導(dǎo)軌闊副