GB/T 42597-2023微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)陀螺儀

ICS3108099

CCSL.59.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)陀螺儀

()

Micro-electromechanicalsystemstechnology—Gyroscopes

IEC62047-202014Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—

(:,

Part20GroscoesIDT

:yp,)

2023-05-23發(fā)布2023-09-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

基本評(píng)級(jí)和特征

4…………………………1

陀螺儀的分類

4.1………………………1

絕對(duì)最大額定值

4.2……………………2

正常工作額定值

4.3……………………3

性能參數(shù)

4.4……………3

測(cè)量方法

5…………………5

標(biāo)度因數(shù)

5.1……………5

交叉軸靈敏度

5.2………………………15

零偏

5.3…………………18

輸出噪聲

5.4……………27

帶寬

5.5…………………31

分辨率

5.6………………36

附錄資料性陀螺儀特性測(cè)量值的準(zhǔn)確度

A()…………38

參考文獻(xiàn)

……………………39

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用半導(dǎo)體器件微機(jī)電器件第部分陀螺儀

IEC62047-20:2014《20:》。

本文件做了下列最小限度的編輯性改動(dòng)

:

為與現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)將標(biāo)準(zhǔn)名稱改為微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)陀螺儀

a),《(MEMS)》;

糾正了原文中的錯(cuò)誤更正了圖中寬帶噪聲范圍的標(biāo)注

b)IEC62047-20:2014:18;

糾正了原文中的錯(cuò)誤更正了公式和公式的運(yùn)算符號(hào)

c)IEC62047-20:2014:(20)(21)。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC336)。

本文件起草單位蘇州市質(zhì)量和標(biāo)準(zhǔn)化院中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司工業(yè)和信息化部電子第

:、、

五研究所東南大學(xué)蘇州市標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)北京航天控制儀器研究所華東光電集成器件研究所四川富

、、、、、

生電器有限責(zé)任公司中國(guó)合格評(píng)定國(guó)家認(rèn)可中心北京微元時(shí)代科技有限公司

、、。

本文件主要起草人沈俊杰李根梓顧楓張碩董顯山周再發(fā)來(lái)萍邢朝洋王曉臣張運(yùn)昌

:、、、、、、、、、、

王志遠(yuǎn)閆桂珍

、。

Ⅰ

GB/T42597—2023/IEC62047-202014

:

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)陀螺儀

()

1范圍

本文件規(guī)定了陀螺儀的術(shù)語(yǔ)和定義額定值性能參數(shù)及測(cè)量方法

、、。

陀螺儀主要用于消費(fèi)電子工業(yè)和航空航天等陀螺儀廣泛采用和半導(dǎo)體激光器技術(shù)

、。MEMS。

2規(guī)范性引用文件

本文件沒(méi)有規(guī)范性引用文件

。

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

轉(zhuǎn)臺(tái)rotatingtable

速率轉(zhuǎn)臺(tái)ratetable

測(cè)量過(guò)程中裝載陀螺儀的旋轉(zhuǎn)裝置

。

32

.

地球自轉(zhuǎn)速率earthrate

由于地球的自轉(zhuǎn)而在慣性空間中產(chǎn)生的角速率

。

注根據(jù)國(guó)際地球自轉(zhuǎn)和參考系統(tǒng)服務(wù)的規(guī)定地球在慣性空間中的角速率由恒星日定義為小時(shí)分

:(IERS),,2356

鐘秒因此地球在慣性空間中的角速率約為有關(guān)定義的詳細(xì)信息請(qǐng)參閱網(wǎng)

4.098903691。,15.04°/h。,IERS

站

()。

33

.

標(biāo)度因數(shù)scalefactor

陀螺儀輸出電壓或輸出數(shù)字信號(hào)與加載角速率的比值