充六氟化硫氣體工藝

文件編號(hào) CK/QR-JS-GG-015康晉電氣 版本號(hào)頁(yè)次/頁(yè)數(shù)

A/01/3文件名稱(chēng)

抽真空氦檢充SF6文件制訂/修訂履歷

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技術(shù)部2023.11.16制訂/修訂日期2023．11.16審核/日期

版本A/0

制訂/修改內(nèi)容 編制康偉濤批準(zhǔn)/日期文件編號(hào) CK/QR-JS-GG-015康晉電氣 版本號(hào)頁(yè)次/頁(yè)數(shù)

A/02/3文件名稱(chēng)

抽真空氦檢充SF6

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技術(shù)部2023.11.161、操作說(shuō)明開(kāi)機(jī)前預(yù)備1、檢查供給系統(tǒng)氣動(dòng)閥門(mén)和氣缸工作的氣源壓力是否在正常范圍內(nèi)，正常范圍為0.4~0.6MPa。2、翻開(kāi)SF6氣瓶總閥門(mén)，并檢查氣瓶?jī)?nèi)氣體壓力是否足夠，缺乏則更換氣瓶。3、檢查系統(tǒng)電器掌握柜中是否全部斷路器均處在ON位置，PLC是否處于RUN開(kāi)機(jī)將操作臺(tái)處電控柜上“鑰匙開(kāi)關(guān)”由OFFON面即1.1OFF旋至ON的位置后，按下“開(kāi)機(jī)”按鈕依次啟動(dòng)泵組以及檢漏儀，泵組啟動(dòng)過(guò)程中開(kāi)機(jī)指示燈閃耀，泵組和檢漏儀啟動(dòng)完成后開(kāi)機(jī)指示常亮。1.1系統(tǒng)開(kāi)機(jī)畫(huà)面檢測(cè)工件時(shí)按下雙開(kāi)頭按鈕,系統(tǒng)將開(kāi)頭自動(dòng)檢測(cè)。文件編號(hào) CK/QR-JS-GG-015康晉電氣 版本號(hào)頁(yè)次/頁(yè)數(shù)

A/03/3文件名稱(chēng)

抽真空氦檢充SF61.2信息提示

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技術(shù)部2023.11.16說(shuō)明:1、假設(shè)系統(tǒng)消滅故障〔比方真空泵/壓縮機(jī)寵保護(hù),高壓罐壓力過(guò)高,高壓罐壓力低,高壓罐內(nèi)氦氣濃度低,以及檢漏儀出錯(cuò),通訊不正常等系統(tǒng)將賜予提示〕；2、箱內(nèi)急停被按下；3、檢漏儀不在檢漏狀態(tài)或未啟動(dòng)完成。這些狀況響對(duì)工件檢漏，請(qǐng)準(zhǔn)時(shí)解決消滅的問(wèn)題。關(guān)機(jī)按下“關(guān)機(jī)”按鈕依次停頓泵組，泵組停頓過(guò)程中關(guān)機(jī)指示燈閃耀，泵組停頓完成常亮。將操作臺(tái)處電控柜上“鑰匙開(kāi)關(guān)”由ON旋至OFFN2,SF6,補(bǔ)氦氣瓶閥門(mén)。2、系統(tǒng)工作流程系統(tǒng)工作流程如下(以自動(dòng)模式為例):文件編號(hào) CK/QR-JS-GG-015康晉電氣 版本號(hào)頁(yè)次/頁(yè)數(shù)

A/04/3文件名稱(chēng)

抽真空氦檢充SF62.1

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技術(shù)部2023.11.16STEP1 接頭測(cè)試：開(kāi)頭鍵按下，先推斷工件接頭數(shù)量〔單接頭時(shí)V45翻開(kāi)，雙接頭時(shí)V45和V46翻開(kāi)〕，再檢測(cè)接頭是否堵塞：先將接頭抽空數(shù)秒，然后關(guān)閉抽空閥等待3秒，推斷接頭內(nèi)壓力是不是足夠大，假設(shè)接頭壓力小則接頭可能堵塞，否則接頭通。接頭抽空時(shí)間可在觸摸屏中設(shè)定。相關(guān)參數(shù)：2：17、接頭測(cè)試前放氣時(shí)間，18、接頭測(cè)試抽空時(shí)間，19、接頭測(cè)試壓力變化值。STEP2 關(guān)門(mén)：檢查門(mén)運(yùn)動(dòng)方向上是否有異物，如有則停頓關(guān)門(mén)，并報(bào)錯(cuò)假設(shè)沒(méi)有則關(guān)門(mén)。關(guān)門(mén)到位并合門(mén)到位后給執(zhí)行2。假設(shè)關(guān)門(mén)后有異物阻擋或者門(mén)始終關(guān)不上，系統(tǒng)均有報(bào)警提示。相關(guān)參數(shù)：2：11、開(kāi)/關(guān)門(mén)超時(shí)時(shí)間STEP3 箱體粗抽空/工件粗抽空：門(mén)關(guān)好后，運(yùn)行指示燈亮，關(guān)閉VZ3、VZ2VZ1的壓力，以便保證工件和箱體差壓不超過(guò)設(shè)定壓力。假設(shè)抽空過(guò)程中工件內(nèi)壓力和箱體壓力超過(guò)設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)，則會(huì)發(fā)生報(bào)警，報(bào)警時(shí)只能按停頓按鈕完畢。按停頓后箱體內(nèi)放入大氣后開(kāi)門(mén)。文件編號(hào) CK/QR-JS-GG-015康晉電氣 版本號(hào)頁(yè)次/頁(yè)數(shù)

A/05/3文件名稱(chēng)

抽真空氦檢充SF6

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技術(shù)部2023.11.16相關(guān)參數(shù)：13、箱體粗抽空壓力，46、箱體/工件粗抽空超時(shí)，7、箱體抽空開(kāi)閥時(shí)間，8、箱體抽空關(guān)閥時(shí)間，9、工件抽空開(kāi)閥時(shí)間，10、工件抽空關(guān)閥時(shí)間。STEP4 大漏檢測(cè)：箱體預(yù)抽完成后關(guān)閉箱體抽空閥VZ1，等待幾秒鐘待箱體壓力平衡后，記錄箱體平衡時(shí)的壓力，然后再等待數(shù)秒鐘進(jìn)展保壓，待保壓時(shí)間到后，推斷箱體內(nèi)壓力是否有變化，假設(shè)變化小于設(shè)定的值則合格，否則不合格。不合格則只能按停頓將箱體內(nèi)放入空氣然后開(kāi)門(mén)。相關(guān)參數(shù)：1：1、檢大漏箱體壓力變化允許值，2、檢大漏工件壓力變化允許值，5、檢大漏真空箱保壓時(shí)間。STEP5 箱體/工件精抽：進(jìn)入箱體/工件精抽，先將工件抽空閥V2翻開(kāi)，然后將工件內(nèi)壓力向下抽空一個(gè)壓力梯度，然后再將箱體抽空閥翻開(kāi)將箱體壓力向下抽空一個(gè)壓力梯度，直到工件和箱體內(nèi)壓力均抽到精抽的壓力。相關(guān)參數(shù)：用戶(hù)參數(shù)2：11、箱體精抽壓力，12、工件精抽壓力，13、精抽超時(shí)時(shí)間。STEP6 工件測(cè)濕度：在參數(shù)設(shè)置中充氦前測(cè)濕度：使用。工件充氦前抽空完成后，系統(tǒng)記錄此時(shí)工件的壓力，經(jīng)過(guò)設(shè)置時(shí)間保壓后，計(jì)算工件壓力上漲值，超過(guò)設(shè)定值認(rèn)為濕度不合格，自動(dòng)進(jìn)入下步：抽空枯燥。濕度合格，抽空枯燥跳過(guò)，開(kāi)頭測(cè)本底。相關(guān)參數(shù)：系統(tǒng)參數(shù)3：27、濕度檢測(cè)保壓時(shí)間，28、工件枯燥超時(shí)時(shí)間；2：15、濕度檢測(cè)壓力平衡時(shí)間，16、濕度檢測(cè)箱體變化允許值，17、濕度檢測(cè)工件變化允許值，18、工件抽空枯燥時(shí)間。STEP8：氦檢抽空：工件/箱體精抽完成后，需要將箱體壓力連續(xù)抽低方可進(jìn)展氦檢。所以需要翻開(kāi)VZ1連續(xù)對(duì)箱體抽空，翻開(kāi)V2對(duì)工件抽真空，。假設(shè)箱體氦檢抽空過(guò)程中壓力超標(biāo)則系統(tǒng)報(bào)警并等待處理，此時(shí)可按停頓按鈕然后系統(tǒng)將同步對(duì)箱體和工件內(nèi)放入空氣然后開(kāi)門(mén)。此過(guò)程中可通過(guò)P1相關(guān)參數(shù)：用戶(hù)參數(shù)2：19、氦檢箱體抽空壓力，20、氦檢工件抽空壓力，21、氦檢抽空超時(shí)時(shí)間。STEP9 本底推斷：本底推斷程序中，翻開(kāi)檢漏閥VZ2按開(kāi)頭鍵自動(dòng)清本底至本底合格)，假設(shè)合格系統(tǒng)進(jìn)入充氦工序。假設(shè)真空箱本底在超時(shí)時(shí)間內(nèi)均大于報(bào)警值則本底超時(shí)，本底超時(shí)后可按開(kāi)頭按鈕連續(xù)，按停頓按鈕將工件和箱體內(nèi)同步放入空氣然后開(kāi)門(mén)。相關(guān)參數(shù)：系統(tǒng)參數(shù)2：12、測(cè)本底響應(yīng)時(shí)間，14、本底報(bào)警值設(shè)定。文件編號(hào) CK/QR-JS-GG-015康晉電氣 版本號(hào)頁(yè)次/頁(yè)數(shù)

A/06/3文件名稱(chēng)

抽真空氦檢充SF6

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技術(shù)部2023.11.16用戶(hù)參數(shù)3：22、清本底放氣時(shí)間，23、本底超時(shí)時(shí)間。STEP10 氦檢漏：氦檢漏過(guò)程中先對(duì)檢漏儀進(jìn)展調(diào)零操作，即自動(dòng)讓檢漏儀扣除當(dāng)前的本底，以便讀取真實(shí)的信號(hào)。本底扣除后，翻開(kāi)V12向工件充入氦氣，充氣到設(shè)定壓力后，等待一段時(shí)間推斷工件漏率是否超標(biāo)，假設(shè)超標(biāo)則報(bào)警并提示是否進(jìn)展“吸槍檢測(cè)、放氣開(kāi)門(mén)終止檢測(cè)或充SF6”三個(gè)選項(xiàng)；假設(shè)選擇吸槍檢則進(jìn)入吸槍充氦，假設(shè)選擇“開(kāi)門(mén)終止檢測(cè)、充SF6”則先進(jìn)入回收工件內(nèi)氦氣然后直接向工件和箱體內(nèi)同步放入空氣后開(kāi)門(mén)和對(duì)工件充SF6后放空氣開(kāi)門(mén)。假設(shè)合格進(jìn)入氦氣回收。假設(shè)在設(shè)定時(shí)間內(nèi)工件無(wú)法充到設(shè)定壓力則充氦超時(shí)，此時(shí)可按停頓按鈕將工件內(nèi)氦氣回收然后開(kāi)門(mén)。相關(guān)參數(shù)：系統(tǒng)參數(shù)2：13、氦檢響應(yīng)時(shí)間，15、氦檢漏率報(bào)警值設(shè)定。2：19、氦檢箱體抽空壓力，20、氦檢工件抽空壓力。STEP11 氦氣回收：氦氣回收過(guò)程中翻開(kāi)V31進(jìn)展高壓回收，然后關(guān)閉翻開(kāi)V32將工件內(nèi)氦氣由回收泵回收低壓罐內(nèi)，然后再由壓縮機(jī)壓到高壓罐中。直到工件內(nèi)壓力回收到設(shè)定壓力，假設(shè)回收過(guò)程中在設(shè)定的時(shí)間內(nèi)無(wú)法將工件內(nèi)壓力回收到設(shè)定值則報(bào)警，此時(shí)可按停頓按鈕將工件和箱體內(nèi)同步放入空氣，然后開(kāi)門(mén)。假設(shè)回收過(guò)程中長(zhǎng)按停頓按鈕也可以將工件和箱體內(nèi)同步放入空氣，然后開(kāi)門(mén)?；厥胀瓿珊筮M(jìn)入工件清洗。相關(guān)參數(shù)：用戶(hù)參數(shù)3：28、高壓回收截止壓力，29、低壓回收截止壓力，30、回收超時(shí)時(shí)間。STEP12 工件清洗：工件清洗過(guò)程中將先翻開(kāi)V13，向工件內(nèi)放入一個(gè)壓力梯度的氮?dú)猓缓箨P(guān)閉V12V2空；此工序完成后再對(duì)工件進(jìn)展抽空，抽空時(shí)間由觸摸屏設(shè)定，清洗完成后進(jìn)入充SF6〔假設(shè)工件清洗次數(shù)設(shè)定為“0”時(shí)，則氦回收完成后直接進(jìn)入12，工件不進(jìn)展清洗〕相關(guān)參數(shù)：4：31、充SF632、充氮清洗充氮壓力，33、充氮清洗抽空壓力，34、充氮完成氣體平衡時(shí)間，35、充氮清洗充氮超時(shí)。STEP13---SF6：此程序中將先翻開(kāi)VZ3V14V151個(gè)壓力梯度的SF6，然后如此不斷的反復(fù)直到工件內(nèi)充氣到設(shè)定壓力〔壓力到100000Pa后只用V15對(duì)工件進(jìn)展準(zhǔn)確充SF6〕。假設(shè)充注過(guò)程中箱體和工件內(nèi)壓力超標(biāo)則系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)展平衡，SF6過(guò)程中長(zhǎng)按停頓按鈕也可對(duì)工件和箱體內(nèi)同步充入空氣然后開(kāi)門(mén)。相關(guān)參數(shù)：用戶(hù)參數(shù)4：36、充SF637、充SF6，38、充SF6開(kāi)閥時(shí)間，39、充SF6關(guān)閥時(shí)間，40、充SF6STEP14 工件和箱體放氣：此程序?qū)?huì)翻開(kāi)VZ3向箱體內(nèi)放入空氣,翻開(kāi)V52向工件內(nèi)放入空氣，然后進(jìn)入開(kāi)門(mén)，假設(shè)在此過(guò)程中文件編號(hào) CK/QR-JS-GG-015康晉電氣 版本號(hào)頁(yè)次/頁(yè)數(shù)

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抽真空氦檢充SF6

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技術(shù)部2023.11.16壓力超標(biāo)則只能進(jìn)入手動(dòng)調(diào)試窗口將工件和箱體壓力平衡，然后斷電重啟動(dòng)。相關(guān)參數(shù)：用戶(hù)參數(shù)4：22、工件進(jìn)氣壓力，23、箱體進(jìn)氣壓力，24、箱體進(jìn)氣超時(shí)，25、箱體進(jìn)氣延時(shí)STEP15 開(kāi)門(mén)：開(kāi)門(mén)程序中先將門(mén)推出然后在將門(mén)拉開(kāi)。停頓檢漏或真空氦檢不合格彈出操作畫(huà)面流程：圖2.2氦檢不合格彈出流程手動(dòng)停頓檢漏處理按下停頓鍵，工件內(nèi)氦未回收完成，則開(kāi)頭氦氣回收，氦氣回收完成，工件箱體同時(shí)進(jìn)氣，工件箱體進(jìn)氣完成，系統(tǒng)開(kāi)門(mén)。氦檢不合格彈出操作1：選則吸槍檢，先點(diǎn)吸槍檢，再點(diǎn)對(duì)應(yīng)確實(shí)認(rèn)開(kāi)頭，系統(tǒng)開(kāi)頭吸槍充氦〔工件充氦/箱體進(jìn)氣〕，吸槍充氦完成，系統(tǒng)自動(dòng)開(kāi)門(mén)。點(diǎn)“查漏點(diǎn)”后拿著吸槍沿工件外表查找可疑漏點(diǎn)，漏率超過(guò)吸槍報(bào)警值，面板報(bào)警燈會(huì)提示報(bào)警。查漏點(diǎn)完畢后點(diǎn)擊“查漏點(diǎn)完成開(kāi)頭回收”，系統(tǒng)先關(guān)門(mén)，接著對(duì)工件進(jìn)展氦氣回收〔先高壓回收，接著同步抽空回收〕，氦氣回收完成工件箱體進(jìn)氣，工件箱體進(jìn)氣完成，系統(tǒng)開(kāi)門(mén)。2：選擇充注SF6，先點(diǎn)充注SF6，再點(diǎn)對(duì)應(yīng)確實(shí)認(rèn)開(kāi)頭，系統(tǒng)開(kāi)頭氦氣回收，氦氣回收完成，接著工件清洗、充SF6SF6/箱體進(jìn)氣，工件充SF6/箱體進(jìn)氣完成后，系統(tǒng)開(kāi)門(mén)。以下?tīng)顩r使用此項(xiàng)，A:利用SF6檢漏法查找漏點(diǎn)；B:試驗(yàn)品文件編號(hào) CK/QR-JS-GG-015康晉電氣 版本號(hào)頁(yè)次/頁(yè)數(shù)

A/08/3文件名稱(chēng)

抽真空氦檢充SF6

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技術(shù)部2023.11.163：選則檢漏中止，先點(diǎn)檢漏中止，再點(diǎn)對(duì)應(yīng)確實(shí)認(rèn)開(kāi)頭。此選擇類(lèi)似工件內(nèi)氦未回收完成手動(dòng)停頓檢漏的處理。先氦氣回收，氦氣回收完成，工件箱體同時(shí)進(jìn)氣，工件箱體進(jìn)氣完成，系統(tǒng)開(kāi)門(mén)。相關(guān)參數(shù)：系統(tǒng)參數(shù)2：16、吸槍漏率報(bào)警值設(shè)定，用戶(hù)參數(shù)5：41、吸槍充氦壓力，42、吸槍充氦超時(shí)時(shí)間。3、工作窗口操作介紹工作流程圖圖3.1動(dòng)作流程圖工作流程圖上供給了：1、工作流程框圖。〔綠色表示正在進(jìn)展的過(guò)程〕2、檢