Z硅片自動(dòng)裝片機(jī)介紹

序號(hào)設(shè)備名稱(chēng)型號(hào)制造商數(shù)量

1LOC裝片機(jī)LOC-DB3NICHIDEN1TZ-2400硅片自動(dòng)裝片機(jī)應(yīng)用行業(yè)：電子

TZ-2400硅片自動(dòng)裝片機(jī)是根據(jù)光伏產(chǎn)業(yè)和國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展及市場(chǎng)需求而開(kāi)發(fā)研制的新型自動(dòng)化設(shè)備，可通過(guò)數(shù)控裝置可靠地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝片，并有連鎖保護(hù)、工況顯示、故障報(bào)警等功能。

該設(shè)備主要用于硅片、太陽(yáng)能電池片等類(lèi)似形狀的自動(dòng)裝片，整機(jī)采用3工位立式升降機(jī)構(gòu)，由伺服電機(jī)、滾珠絲杠系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)精確傳動(dòng)。是光伏、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化裝片、大大降低裝片破損率、提高效能的生產(chǎn)型設(shè)備。

結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)

1、設(shè)備為整體式框架結(jié)構(gòu)，布局合理，操作方便，外觀新穎；

2、工作原理是以流量和壓力可調(diào)的水為介質(zhì)柔性接觸于硅片，利用水流動(dòng)和斜面使硅片無(wú)阻力倒人盒內(nèi)，有效避免人工裝片時(shí)人為目素造成的破損，實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)易方便、準(zhǔn)確快速地裝盒；

3、硅片裝片前先放置于水槽，水槽內(nèi)的水通過(guò)加熱系統(tǒng)保持一定的溫度，做到人性化操作；

4、水系統(tǒng)為循環(huán)用水，經(jīng)過(guò)初濾后再經(jīng)濾袋式過(guò)濾機(jī)循環(huán)使用；

系統(tǒng)控制

1、采月PLc可編程控制器，程序運(yùn)行可靠，功能齊全，各種運(yùn)行模式均可在控制面板上調(diào)節(jié)、設(shè)定；

2、設(shè)備配置全套進(jìn)口交流伺服系統(tǒng)進(jìn)行高精度定位；

3、采月OMRON高靈敏度傳感器進(jìn)行掃描監(jiān)控；

4、設(shè)備具有零位和工作位置的校準(zhǔn)功能，校準(zhǔn)快速、準(zhǔn)確、精度高；

5、操作面板簡(jiǎn)單清晰，并配有各種故障及狀志指示燈，方便操作；

安全與保障

1、采用水工作狀態(tài)監(jiān)控，設(shè)有水位自動(dòng)調(diào)節(jié)功能；

2、運(yùn)行過(guò)程設(shè)有極限位置報(bào)警；

3、設(shè)有裝料保護(hù)傳感器，防止工位與滑片槽板的碰撞；

4、設(shè)備設(shè)有緊急停止及復(fù)位停止功能；

5、具有整機(jī)漏電保護(hù)裝置和接地端子。反饋信息>>

2LOC烘箱IPHH-201MTabai

Espec1劃片機(jī)沿該機(jī)套主要午用于德硅集菜成電慌路，士發(fā)光赴二極扎管，撇鈮酸航鋰、幼壓電奮陶瓷充、石擊英、寇砷化門(mén)鎵、牛藍(lán)寶嘗石、駐氧化慶鋁、勇氧化奇鐵、薪玻璃享等材漆料的煙劃切效加工狼。

厭岸榜主要屠技術(shù)悅特點(diǎn)

服1.毯

Y勤軸采便用滾文動(dòng)導(dǎo)就軌，腿進(jìn)口拜高密溫度定映位電霞機(jī)，剖光柵當(dāng)尺閉藝環(huán)控美制，速無(wú)誤飄差積餐累

終2.滾

同危時(shí)安鐵裝環(huán)邀形光博和同健軸光廟,C朗CD球監(jiān)視皺對(duì)準(zhǔn)飼系統(tǒng)豈。

愈3.哀

簡(jiǎn)誘單、宰友好逝的用葵戶操映作界逗面，哄具有寺刃具移磨損握自動(dòng)傲補(bǔ)償吸功能慣。

竭4.艱

進(jìn)圍口空稅氣靜病壓主安軸（訓(xùn)交流弓），株具有烏精度念高、疲剛性燕好等資特點(diǎn)尾。

廣5.級(jí)

θ鈴軸采完用直匠驅(qū)交京流伺歸服系藥統(tǒng)工喜作臺(tái)育，精辱度更偽高。

覺(jué)扮主要保技術(shù)見(jiàn)指標(biāo)軸轉(zhuǎn)速3000~40000rpm對(duì)準(zhǔn)

系統(tǒng)照明光源同軸＋環(huán)形輸出功率1.5kW放大倍率150XX軸切割行程Max230mm顯示器15″彩色LCD切割速度0.1~400mm/s操作

系統(tǒng)控制系統(tǒng)PCBaseY軸切割行程Max165mm操作系統(tǒng)Windows?2000單步步進(jìn)精度0.003mm語(yǔ)言中文全程最大誤差0.005/165mm加工

尺寸工作尺寸160mm×160mm或Φ6″Z軸有效行程/刀盤(pán)尺寸Max20mm/Φ61mm圓形工作臺(tái)Φ6″重復(fù)定位精度0.003mm方形工作臺(tái)160mm×160mm刀具應(yīng)用尺寸φ50mm~φ61mm安裝體積500×865×1700(mm)θ軸轉(zhuǎn)角范圍Max320°凈重500Kg重復(fù)定位精度±5″電源AC220V±10%，三相

3鍵合機(jī)FB-131KAIJO2行WB愉-9爬1D臣手動(dòng)恢多功搭能鍵蠶合機(jī)齊（邦呆定機(jī)升）憲

膊WB蔥-9岡1D掏是適羅合于青特殊徐電子餓元器惕件封婚裝生讀產(chǎn)中餐芯片型內(nèi)部廚引腳陶互連播工藝課應(yīng)用席的專(zhuān)錢(qián)用設(shè)狠備，峰是電體子元蝴器件注封裝距生產(chǎn)辣中關(guān)走鍵設(shè)炊備之夸一。均

殺WB嘉-9揚(yáng)1D碼是可滋配置逼為具光有球絨焊、能楔焊灘、深盟腔壓炊焊功病能的風(fēng)手動(dòng)設(shè)多功施能壓透焊機(jī)什。

孝盡皆應(yīng)用丈范圍

鬼□戰(zhàn)混合泡電路噸、C則OB群模塊

勿□召M(fèi)C異M、腹ME仁MS社器件

巖□景RF爬器件仔/模椒塊

答□描光電猴器件

箏□河微波撐器件

懇敬功能

穩(wěn)□

水球鍵謹(jǐn)合

蝦□

你30坊°、填4懷5°罩、襪60慨°掌楔鍵抵合

習(xí)□

你90渡°深佳腔鍵被合(錫腔深優(yōu)可達(dá)屠12稼mm蒜)

覺(jué)□

停手動(dòng)艘完成軌各種膽線弧瀉

抬□

劉存儲(chǔ)偵30天個(gè)器鹽件的源程序?yàn)a主要輝技術(shù)永指標(biāo)摔榨鍵合浴頭

扛

某

貿(mào)手控洽Z行芳程：男14錯(cuò)mm亭

袍

冊(cè)

剪手控販X-蹦Y范嗎圍：失15利mm潤(rùn)×1傘5m滅m（乒比率鼓8:股1）風(fēng)

益升降貝臺(tái)Z艇行程席：1吳8m堂m泳升降羊臺(tái)X息-Y困范圍獻(xiàn)：2油50按mm拖×2宿70嘗mm釣瘋超聲勵(lì)波功舍率：疤0-搞3w蓄/0至-5輝w叉程控鼻壓力供范圍連：1婦0g坐-5暈0g鬧/1歇0g耗-1禁00父g晴焊線凝直徑浸：鋁蘭線2齒0μ罷m-露76習(xí)μm記

孝

聯(lián)金線辮1痰7μ途m-泉50勾μm經(jīng)虜打火柴裝置喉：N棚-E燥FO改（-廢35獻(xiàn)00問(wèn)V）允

粘成球贈(zèng)大小自：焊檢線直跨徑的健1.形5倍次到4偶倍唉供線灑裝置箭：1楊/2?！彼簾崤_(tái)君溫度閣：室墨溫-禁30支0泳℃習(xí)脾操作笛菜單雙：5在”T倍FT巧彩屏宅，中齊文菜法單

沒(méi)處電源繞：A或C2模20芒V±池10靜%（圾50劑/6滾0H升z）心≤4席00診W攪外形火尺寸石：6裙50蠟×6僻50騰×4往00每mm濤接重量擋：約喘70腹kg穿標(biāo)準(zhǔn)胳配置扇主機(jī)泳1蠟/2繡”線裕軸勝LE辨D誤照明意燈風(fēng)體視望顯微脆鏡尤進(jìn)口肌換能析器強(qiáng)夾持撤臺(tái)外溫控旱盒（呈鋁絲短楔焊恢無(wú)）甲

框打火塊盒（糖楔焊敞無(wú)）包

可吃選附間件梳

洪

暫

舅

萄□揪各種遲特種陪夾具泊、熱焰臺(tái)

身

紐

政□參各種過(guò)劈刀莫及金暈線、遲鋁線艇

吃

岸

影□熊劈刀混加熱鍵配件竟（~賞30米0杯℃受）

放

患

謎□終工具帆包（房克力否計(jì)、灶鑷子畜、厚療度塞毒尺等題）

4鍵合檢查機(jī)FBC-010SANYU1

5塑封壓機(jī)FAMS-CNEC

LaserMaker1斃6案塑封觀模偽54收P

匹TS啟OP研

甜Ⅱ華N展EC刷

L耕as胖er蘭Ma梅ke娛r假2

旅7繪烘箱偶N糧OI晃-3獅01匙2F耕U灣中央闖理研吸1

彎8兇去廢廁料機(jī)建T絡(luò)C-沖70駕5盈NE霞C

采La軋se疤rM進(jìn)ak鍬er闊1

楚9謙去廢積料模鬼5燈4P燕

T休SO存P

怨Ⅱ券N淚EC責(zé)

L忙as表er躍Ma沸ke黨r抱2

興10亭激牲光打繩標(biāo)機(jī)樣L話M-李66拳4莊NE答C

瞞La握se針rM雁ak莖er太1

供11弓切把筋打蜜彎?rùn)C(jī)巾S鋤P-亭43怨42枯-N園R夕石井峽工作士所污1?！癟宮O-軌22醬0自柄動(dòng)半腔導(dǎo)體本封裝領(lǐng)設(shè)備鏟沖切規(guī)打彎壘機(jī)”敏的詳統(tǒng)細(xì)說(shuō)僚明倚TO湖-2朽20俗半導(dǎo)魔體封植裝設(shè)資備沖競(jìng)切打驚彎?rùn)C(jī)答（自繁動(dòng)）卵沖切份方式翅：一廣次完趁成沖挖筋、免分粒循、底捎邊聚上料討方式幼：氣區(qū)動(dòng)手慶指上對(duì)料，歪三料黑盒自名動(dòng)換買(mǎi)料，霧每盒搬65努條拴送料心方式躬：機(jī)南械往腿復(fù)式混運(yùn)動(dòng)寨送料稠，抓奏塑姑封體版。所杏有導(dǎo)株軌拋靈光處利理，鞭防止煉劃傷組錫層滋沖切皆頻率誘：正撒常產(chǎn)在量1斯40谷00贊UP陸H狡換管藥方式清：計(jì)周數(shù)換涌管。獄雙排移料管包待料拆，無(wú)鍵管報(bào)拐警擦動(dòng)力該部分嗓：1溪2T膜的液上壓系甜統(tǒng)誓沖模婆結(jié)構(gòu)尊：六躍導(dǎo)柱今定位府，三浸板式拳結(jié)構(gòu)權(quán)，上答下刀橋均為寺硬質(zhì)秒合金巾，壽誓命6駕0萬(wàn)位沖獵控制襖方式殺：三圈菱P侵LC生+1始0.眾4寸杯全彩寧觸摸矩屏次

抱12牧切賴(lài)筋打牙彎模胞5躬4P蜜

T告SO燙P

供Ⅱ斯石蝦井工績(jī)作所瞎2

欠13處插砍拔機(jī)腐T促I(mǎi)R燃-7很00咱M濟(jì)NE看C

奏La諸se納rM述ak梅er朋1

通14持M愚BT吼P覽RO西FI把T1褲10嗽0A仁J悔ap讓an殊

E迎ng慌in場(chǎng)ee爆ri沾ng貧3

峰15茄T泳BT困A福F8海63晴0侮安藤代電氣暖2

練16案分鴨選機(jī)呢M吧67料21租A唉AD逮VA帖NT經(jīng)ES匙T喊2

碼17深分毀選機(jī)伍M言67岡41荷A紗AD甩VA融NT演ES心T疼2

拆18鳳老界化測(cè)山試板港檢查素儀貌TB離-5役00廚D襖OD徹O督1

綱19襯T貫BT們

H彼OS勢(shì)T窄PC薄安減藤電層氣采1

宴20拿可擊視檢刃查系蝕統(tǒng)梯LI巷-7曲00爹HS考/T踏-G巨S2升安疏永獸1

隱21圖T博ES卡TE分R

岔OP街TI慎ON饑A曬DV臘AN紫TE刷ST叼1

掀22緒M庫(kù)EM號(hào)OR亭Y

鼓測(cè)試哲系統(tǒng)垃T評(píng)55瀉81棗H溫AD答VA叼NT攪ES泳T衛(wèi)2

估23鋸B帽ak注e

壟Ov毫en夕N斧OI濫-3彎01戲2F魚(yú)U奉Ta賺ba氣i

灶Es稿pe圈c糧1

知合計(jì)乏3詞3穩(wěn)塑料扶封裝眾專(zhuān)用獵壓機(jī)御（簡(jiǎn)水稱(chēng)塑飼封壓環(huán)機(jī)）風(fēng)用于難集成仇電路戰(zhàn)芯片萄封裝率行業(yè)丹，是編集機(jī)躍械、欠液壓克、電晶氣為陵一體褲的機(jī)顏電一闊體化白產(chǎn)品蘆。主脂要是練通過(guò)床PL獸C來(lái)饒控制斤液壓撇系統(tǒng)第里的煙各閥預(yù)件的遵開(kāi)啟方并通杠過(guò)塑補(bǔ)封壓墾機(jī)的接心臟罩部分封——你液壓岔模塊惑來(lái)分餐配油炒路，陶并且捧通過(guò)伙電磁推比例穿閥來(lái)緩控制換流量鼠與壓死力，椅從而勾達(dá)到蘋(píng)控制嫩合模干和注疑射的發(fā)速度陳與壓旋力。蟻

銅◆蕩閣采用股高集批成度聚的液枕壓模施塊和視整體鼓式結(jié)摩構(gòu)的歇油缸辛（一稻主油版缸和療四輔陵油缸脆）減轉(zhuǎn)少了燒液壓異管路帖的使臣用，牲使得撓液壓指系統(tǒng)違的滲催漏可遠(yuǎn)能性即降低窮到最芳低點(diǎn)當(dāng)。

扔◆辣欺工作醉平臺(tái)腎厚度輝為1屯70論㎜，父是特漫殊配也比的脆金屬塊鑄造貸而成宣，且糞其熱運(yùn)膨脹勞范圍油也只洞有±錦0.誤02益㎜，蘆從而趴實(shí)現(xiàn)粗小公上差裝撒配，潔這樣匪不僅暢移動(dòng)鑒時(shí)不較發(fā)生處震顫葡，合泉模時(shí)買(mǎi)對(duì)模缸具的粱損傷水也大錫大減洪輕，添不僅個(gè)可以忠延長(zhǎng)糊壓機(jī)充的壽帶命（竹其設(shè)視計(jì)使惹用壽浪命為自30脾年）吳，而隔且也春大大凝延長(zhǎng)趙了模亂具的闊使用誓壽命船。

確◆撞的斷電致保護(hù)淺裝置撤可以檢在突串然斷蹈電時(shí)簡(jiǎn)完成捏當(dāng)次昌操作揚(yáng)，避變免了田因斷戒電而釀造成壤的損滑失；勤模具釘保護(hù)昌系統(tǒng)附可以吵在0許.2待mm腳以上陽(yáng)雜物荒或引趴線框確架垂鈴直方辰向變漲形量列超過(guò)仔0.撈2m毀m時(shí)莊，發(fā)汪出報(bào)亡警并陵停止百工作稿。

怖◆弓深變速捐/變留壓控細(xì)制系釀統(tǒng)，爪可實(shí)毒現(xiàn)設(shè)歲置多徑級(jí)速穩(wěn)度/仁多級(jí)撕壓力哈?？晒鹨酝昀钊{(diào)蛇整控嗽制塑寺封產(chǎn)隔品的擦各種供缺陷睬，從糊而提籠高產(chǎn)唐品的惰合格仁率。狂

乞◆槳冶裝有奮計(jì)時(shí)訪器，陪可方四便記稻錄合殿模次憑數(shù)；桌裝有高周計(jì)烈時(shí)器氧，可炸在一漢周內(nèi)鋒的任遠(yuǎn)意時(shí)盒間里抓使加怠熱棒井多次雞定時(shí)寶開(kāi)/妨關(guān)；賄裝有著光電溫安全活保護(hù)恰系統(tǒng)鎖，防獎(jiǎng)止操捧作人巨員不嬸慎被碧模具車(chē)夾手絮等人丟體受麥傷情蛛況的悲發(fā)生貓。

勞◆洋年注塑礎(chǔ)頭的勸行程啦是3鬼50告㎜,挖即放旺料空您間加際大5超0㎜冠，使驢操作諷人員頃便于錘把料催餅放慣入料席筒。唉

有◆雁米合模懇上升豆和注賄塑時(shí)書(shū)，為浪了保歸證各漆種安蓄全性裂，合肆模和脫注塑侮各自瞞設(shè)置捎了2偏個(gè)合沙模操多作鍵沸，只燒有當(dāng)戰(zhàn)0.壩5秒練內(nèi)同嚇時(shí)按座住2璃個(gè)操鵝作鍵汪時(shí)，旋設(shè)備酒才進(jìn)疫行合電模和身注塑涉。另襖外所留有安姐全保硬障系駕統(tǒng)在鵲固化寸期內(nèi)宇都不跡起作防用。著

鞋◆半休其中殺電腦般型壓炎機(jī)的喬所有接參數(shù)劑都可撓通過(guò)貓觸模阿屏來(lái)請(qǐng)?jiān)O(shè)置享和更牲改，蝕簡(jiǎn)單電、便共捷；往MG辮P系室統(tǒng)實(shí)絹現(xiàn)了哨在一遼臺(tái)設(shè)著備上轟單注萌射系茂統(tǒng)與冊(cè)多注今射系碧統(tǒng)（撒MG廊P系智統(tǒng)）比的兼券用；鈔集成湯電路鈴制備綿主要蒜工藝褲流程處及關(guān)椅鍵設(shè)兼?zhèn)淠l(fā)布沃時(shí)間悄：2掉00礦7-柏7-憂5套閱讀當(dāng)：級(jí)20恒44襲次鞭

擋

掙

頑

器

堪1竄單晶演拉伸籌：庸在適鍛當(dāng)?shù)亩隃囟瘸硐拢x將特株制的晨籽晶趙與熔向化于鴿坩堝市內(nèi)的鍵高純系多晶消材料畫(huà)相接浪觸，鏡在籽里晶與厭坩堝紅相對(duì)輪旋轉(zhuǎn)驢的同及時(shí)，叮按一皂定速愛(ài)度向彩上提秧拉籽瞞晶，呈使熔音體不堡斷沿淹籽晶查晶向銜結(jié)晶敗，直梨接拉伸制成潑單晶瞞。相爆關(guān)設(shè)反備>夫>單矮晶爐宴獄2占切片遇：籠將半蒸導(dǎo)體妄單晶古按所云需晶丑向切間割成殺指定舒厚度紫的薄檢片相累關(guān)設(shè)睬備>蓮>內(nèi)崖圓切漏片機(jī)您多羨刀切午割機(jī)虹基3屢倒角列：怨由于垮剛切棚下來(lái)著的晶剃片外首邊緣杜很鋒壓利，惑硅單的晶又茂是脆漢性材恥料，愿為避叛免邊鬧角崩潛裂影揚(yáng)響晶帥片強(qiáng)匙度、襪破壞溪晶片懲表面晃光潔艦和對(duì)維后工摧序帶淡來(lái)污標(biāo)染顆肆粒，帝必須雜用專(zhuān)析用的豪設(shè)備獨(dú)自動(dòng)倒修整保晶片蝦邊緣宏形狀皂和外砌徑尺壺寸。另相關(guān)歡設(shè)備彼>>滑倒貞角機(jī)靜蜻4頸拋光蔥：專(zhuān)利用裹拋光脅劑對(duì)勤研磨總后的股晶片徑進(jìn)行箏物理旗、化杜學(xué)的貪表面餃加工拘，以打獲取嚇無(wú)晶竄格損杜傷的尚高潔夏凈度瓜、高冊(cè)平整勉度的后鏡面污晶片績(jī)。相摧關(guān)設(shè)燈備>采>敬單/運(yùn)雙面爬拋光嚷機(jī)款單/倦多頭慧拋光尋機(jī)剛5沉清洗槍?zhuān)荷嗪侠碚{(diào)的清直洗是攏保證賤硅片求表面遇質(zhì)量濱的重受要條遇件。土在晶僵片制島備過(guò)吊程中秧需要吹多次詞清洗嗓，以月去除嫂殘留秩在晶椅片表嗽面或壟邊緣掘的廢次屑等凱。相刺關(guān)設(shè)嘗備>墳>暈清洗警機(jī)孩沖洗新甩干奸機(jī)意6外忘延：疲在單脖晶襯沃底晶鐵片上面生長(zhǎng)波一層禽具有積與基目片不王同電唐子特返性的剛薄硅訪層。

訂相關(guān)予設(shè)備暑>>擇外延賽爐

翠7

渠氧化隆：省在高牛溫下哄，氧蜓和水蒙蒸氣癢跟硅儀表面嗚起化劑學(xué)作冊(cè)用，脹形成爬薄博予、均磚勻的親硅氧英化層塌。

蚊相關(guān)過(guò)設(shè)備極>>狠氧化以爐

蓋8化公學(xué)汽它相淀贊積（材CV衫D）史：被使一煤種或冶數(shù)種賓物質(zhì)盛的氣宅體以鋒某種寨方式擔(dān)激活門(mén)后，醋在襯疏底表原面發(fā)叮生化所學(xué)反環(huán)應(yīng)，私并淀傘積所泛需固螞體薄遣膜。

瓣相關(guān)愉設(shè)備報(bào)>>泄CV柱D設(shè)家備

強(qiáng)9濺性射：刑正離盟子受接強(qiáng)電漆場(chǎng)加褲速，蝦形成界高能輔量的準(zhǔn)離子杠流轟悼擊靶于材，扶當(dāng)離緩子的撓動(dòng)能果超過(guò)疲靶原薯子的售結(jié)合格能時(shí)威，靶報(bào)表面緣的原酷子就國(guó)脫離算表面嚇，濺僑射到避對(duì)面君的陽(yáng)敲極上漏，淀銳積成回薄膜殺。

胡相關(guān)雞設(shè)備貼>>耕濺射喉臺(tái)

膛10期光刻咱：井將掩巡模圖渡形轉(zhuǎn)黑印到至涂有址光刻戒膠的睜襯底狐晶片曉上。涂對(duì)準(zhǔn)耕和曝泛光是抬光刻攀工藝刷中最沾關(guān)鍵這的工挺序。

趴相關(guān)式設(shè)備崗>>踢接觸游/接之近式糠曝光流機(jī)統(tǒng)分步碼投影巖曝光拐機(jī)

來(lái)11藝刻蝕貿(mào)：次活性境氣體落可使茄曝光陜區(qū)，傍在晶欄片表房面建關(guān)立幾糧何圖畜形。

向相關(guān)伍設(shè)備永>>鑒刻蝕普機(jī)

穩(wěn)12老離子紀(jì)注入蜓：顫先使她待摻式雜的筆原子死電離頑，再切加速調(diào)到一扣定能逝量使竿之“君注入夠”到墊晶體封中，感經(jīng)過(guò)