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發(fā)展航天微電子產(chǎn)業(yè)打造航天制造品牌張俊超張俊超航天科技集團(tuán)時(shí)代電子公司黨委副書記兼七七一所所長各位領(lǐng)導(dǎo),各位來賓,同志們,朋友們:四月的西安,春風(fēng)習(xí)習(xí),暖意融融。作為航天制造的參與者和航天微電子領(lǐng)域的研制者和管理者,我有幸來到航天制造高峰論壇,今天我發(fā)言的題目是《發(fā)展航天微電子產(chǎn)業(yè),打造航天制造品牌》。發(fā)言共分四個(gè)部分:一、微電子發(fā)展歷程及在國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展中的作用;二、微電子在新型航天工業(yè)體系中的地位和意義;三、航天微電子發(fā)展現(xiàn)狀;四、航天微電子發(fā)展構(gòu)想。一、微電子發(fā)展歷程及在國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展中的作用自1958年德克薩斯儀器公司(TI)發(fā)明了世界第一塊集成電路以來,電子工業(yè)進(jìn)入了集成電路的時(shí)代。經(jīng)過近50年的發(fā)展,集成電路已經(jīng)從最初的小規(guī)模集成電路(SSI)起步,先后經(jīng)歷了中規(guī)模(MSI)、大規(guī)模(LSI)、超大規(guī)模(VLSI)、巨大規(guī)模(ULSI),發(fā)展到目前的特大規(guī)模集成電路(GSI)和系統(tǒng)芯片(SOC),單個(gè)電路芯片集成的元件數(shù)也從十幾個(gè)發(fā)展到目前的幾億個(gè)甚至幾十億個(gè)。集成電路的集成度每3年增長4倍,特征尺寸每3年縮小2倍,這就是著名的摩爾定律。芯片的特征尺寸已經(jīng)從1978年的10μm發(fā)展到現(xiàn)在的32nm,集成度從1971年的1KDRAM發(fā)展到現(xiàn)在的4GDRAM;硅片的直徑尺寸由2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸發(fā)展到12英寸。T硅片T硅片尺寸特征尺寸集成度SSIMSILSIVLSIULSIGSI10μm3μm1.2μm0.35μm0.18μmμm65nm2英寸3英寸4英寸6英寸8英寸12英寸SOC圖1微電子發(fā)展歷程示意圖眾所周知,微電子是現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)和信息社會(huì)的基礎(chǔ),是改造和提升傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)。隨著全球信息化、知識(shí)經(jīng)濟(jì)浪潮的到來,微電子產(chǎn)業(yè)的地位越來越重要,它已成為事關(guān)一個(gè)國家國民經(jīng)濟(jì)、國防建設(shè)、人民生活和信息安全的基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。由于微電子的重要戰(zhàn)略地位,西方發(fā)達(dá)國家至今仍對(duì)我國實(shí)施出口和轉(zhuǎn)移的嚴(yán)格控制,遏制我國在電子信息的快速發(fā)展。集成電路產(chǎn)業(yè)對(duì)國民經(jīng)濟(jì)的戰(zhàn)略作用主要表現(xiàn)在當(dāng)代產(chǎn)業(yè)鏈上,現(xiàn)代經(jīng)濟(jì)數(shù)據(jù)表明,每1-2元集成電路的產(chǎn)值,可創(chuàng)造10元的電子工業(yè)產(chǎn)值,拉動(dòng)100元的GDP增長。隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,微電子的倍增效應(yīng)還在增大。據(jù)美國半導(dǎo)體協(xié)會(huì)(SIA)預(yù)測,到2012年,集成電路全行業(yè)銷售額將達(dá)到6000億美元,它將支持6-8萬億的電子裝備和30萬億美元的電子信息服務(wù)業(yè),那時(shí)世界GDP總值將達(dá)到50萬億美元。2007年,我國集成電路市場需求總額達(dá)到了5470億元,成為世界第一大集成電路市場,而國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額為1251.3億元,僅能滿足國內(nèi)需求的23%,且絕大多數(shù)企業(yè)的產(chǎn)品主要集中在中低端的消費(fèi)類芯片,多數(shù)高端集成電路必須從國外進(jìn)口(我國集成電路市場需求發(fā)展預(yù)測、集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)銷發(fā)展預(yù)測見圖2、圖3)。長期以來,我國缺乏高端微電子芯片自主設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)技術(shù),阻礙了我國信息化帶動(dòng)工業(yè)化和現(xiàn)代服務(wù)業(yè)的發(fā)展,已成為制約我國信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的嚴(yán)重瓶頸,嚴(yán)重影響我國產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的調(diào)整和新型工業(yè)化道路進(jìn)程。微電子技術(shù)在航天產(chǎn)品中的應(yīng)用,不僅對(duì)減小體積,減輕重量,降低功耗起到直接的作用,隨著航天型號(hào)有無問題的基本解決,對(duì)航天型號(hào)的性能要求將上升為各方關(guān)注的重點(diǎn),在提高落點(diǎn)的精度、提高反映速度、提高系統(tǒng)可靠性、提高系統(tǒng)生存能力,以及智能化、信息化的新需求下,微電子技術(shù)對(duì)航天產(chǎn)品的貢獻(xiàn)將愈加突出,航天微電子以其基礎(chǔ)地位支撐航天核心技術(shù)和產(chǎn)業(yè),在建立航天新一代制造體系、打造“航天制造”品牌的過程中將發(fā)揮更為重要的作用。三、航天微電子發(fā)展現(xiàn)狀我國非常重視航天微電子的發(fā)展,為了發(fā)展國防事業(yè),1965年,中央決定從中國科學(xué)院所屬的6個(gè)研究所整建制抽調(diào)7個(gè)研究室,組成集計(jì)算機(jī)、半導(dǎo)體集成電路、混合集成電路三大專業(yè)科研生產(chǎn)為一體的“156工程處”,為航天配套生產(chǎn)專用集成電路與計(jì)算機(jī)。四十多年的發(fā)展,我們一直致力于發(fā)展微電子產(chǎn)業(yè),服務(wù)于航天事業(yè),從初期的“156工程處”,發(fā)展成為包括現(xiàn)代化設(shè)計(jì)制造和規(guī)模化封裝、檢測等的大型企業(yè)。目前航天微電子資源主要集中在中國航天科技集團(tuán)公司航天時(shí)代公司。航天時(shí)代公司創(chuàng)造了我國計(jì)算機(jī)發(fā)展史上的“五個(gè)第一”:1965年研制出我國第一臺(tái)雙極小規(guī)模集成電路微計(jì)算機(jī);1971年研制出我國第一臺(tái)PMOS中規(guī)模集成電路微計(jì)算機(jī);1977年研制出我國第一臺(tái)16位大規(guī)模集成電路微處理器;1980年研制出我國第一臺(tái)CMOS中規(guī)模集成電路抗電磁脈沖加固專業(yè)計(jì)算機(jī);2006年研制出我國第一臺(tái)全國產(chǎn)化SIP計(jì)算機(jī)。在創(chuàng)造計(jì)算機(jī)技術(shù)發(fā)展輝煌的同時(shí),也創(chuàng)造了我國集成電路發(fā)展史上的“四個(gè)第一”:1977年研制出國內(nèi)第一塊16位微處理器;1994年建成國內(nèi)第一條模擬集成電路國軍標(biāo)生產(chǎn)線;1995年建成國內(nèi)第一條薄膜混合集成電路國軍標(biāo)生產(chǎn)線;1998年研制出國內(nèi)第一塊具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的32位浮點(diǎn)數(shù)字信號(hào)處理器。計(jì)算機(jī)產(chǎn)品參加國家所有大型航天發(fā)射飛行試驗(yàn)性能穩(wěn)定,數(shù)百萬只集成電路用于航天產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定、無一失誤。航天時(shí)代公司從事微電子產(chǎn)業(yè)的單位主要是771所、772所、西安太乙電子有限公司,從業(yè)人員3000余人。為加快集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,航天時(shí)代公司組建了計(jì)算機(jī)與集成電路設(shè)計(jì)制造中心。同時(shí)按照市場化運(yùn)作模式,打破原有事業(yè)單位管理體制,先后注冊(cè)成立北京時(shí)代民芯科技有限公司,注冊(cè)資本7000萬元;注冊(cè)成立西安西岳電子有限公司,注冊(cè)資本18000萬元,專門從事集成電路的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)?,F(xiàn)已具備0.13-0.35μm集成電路設(shè)計(jì)能力,擁有X英寸、X英寸集成電路生產(chǎn)線,具備15000片/月的生產(chǎn)能力。同時(shí)已建成年封裝能力6億只的集成電路封裝線,擁有國內(nèi)先進(jìn)的集成電路測試、篩選、失效分析、鑒定試驗(yàn)檢測設(shè)備,是國內(nèi)軍用集成電路檢測分析的定點(diǎn)單位。集成電路設(shè)計(jì)人員規(guī)模已進(jìn)入國內(nèi)前十名,擁有國內(nèi)先進(jìn)的集成電路設(shè)計(jì)硬件和軟件,配備了完整的測試工具和測試軟件。產(chǎn)品包括航天高可靠數(shù)字集成電路、模擬集成電路及混合信號(hào)電路、衛(wèi)星通訊類、民用消費(fèi)類等電路。公司現(xiàn)有一條X英寸集成電路生產(chǎn)線,于1996年建成通線,批產(chǎn)水平為3-5μm,研制能力1.5μm,月生產(chǎn)能力為5000片。十多年來,為航天裝備生產(chǎn)集成電路上百個(gè)產(chǎn)品,數(shù)百萬只電路,同時(shí)提供了數(shù)億只民用集成電路產(chǎn)品。生產(chǎn)工藝有雙極集成電路生產(chǎn)工藝、CMOS集成電路工藝、體硅和SOI抗輻射加固集成電路工藝、高壓VDMOS工藝,具有航天應(yīng)用特種工藝的研發(fā)能力。已建成的X英寸0.35μm集成電路生產(chǎn)線,投資額為9億人民幣,生產(chǎn)水平為0.8-0.35μm,生產(chǎn)能力為15000片/月,將打造成為西部地區(qū)最重要的芯片代工廠。目前X英寸生產(chǎn)線已具備0.5--0.8μmCMOS以及雙極工藝加工能力。但由于集成電路工藝開發(fā)周期長,產(chǎn)品驗(yàn)證時(shí)間長,作為建成初期的經(jīng)濟(jì)效益,要通過開發(fā)民用集成電路產(chǎn)品進(jìn)行補(bǔ)償,逐步實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)平衡。公司現(xiàn)有兩條國內(nèi)一流的陶瓷封裝線和一條規(guī)?;a(chǎn)的塑封線,已于2007年擴(kuò)產(chǎn)至年產(chǎn)6億塊的封裝能力,年內(nèi)擴(kuò)產(chǎn)至每年12億只,可進(jìn)行各類DIP、CLCC、PGA陶瓷封裝和民用DIP、SOP、QFP等系列塑封裝。在測試方面,公司有國內(nèi)各種先進(jìn)的測試設(shè)備,可完成各類數(shù)字及模擬電路測試,市場覆蓋全國26個(gè)省市,200余家單位,具備1億只/月的測試能力。表1航天時(shí)代公司微電子產(chǎn)業(yè)能力序號(hào)名稱生產(chǎn)能力技術(shù)水平1X英寸集成電路生產(chǎn)線5000片/月批產(chǎn)3-5um研制1.5um2X英寸集成電路生產(chǎn)線15000片/月0.8um-0.35um3陶瓷封裝線12億只/年DIP、CLCC、PGA4塑封線DIP、SOP、QFP5測試能力1億只/月根據(jù)國際上的發(fā)展趨勢和航天微電子技術(shù)發(fā)展的實(shí)際需要出發(fā),我們重新打造了產(chǎn)業(yè)鏈,將集成電路設(shè)計(jì)、加工、封裝、檢測的部分按照不同的性質(zhì)進(jìn)行分工重組,組建了航天時(shí)代民芯公司,西岳電子,建設(shè)封裝線,將檢測能力推向市場。面對(duì)微電子人才配置國際化、收入高的總體壓力,積極推行人才激勵(lì)機(jī)制改革實(shí)踐。四、航天微電子發(fā)展構(gòu)想航天微電子作為服務(wù)航天的行業(yè)電子,首先要滿足航天產(chǎn)品維護(hù)、生產(chǎn)及未來發(fā)展的需要,實(shí)現(xiàn)核心芯片國產(chǎn)化。并圍繞新型航天工業(yè)體系建設(shè),充分利用戰(zhàn)略機(jī)遇期,加快信息化建設(shè),完善航天微電子研究開發(fā)體系;加強(qiáng)技術(shù)創(chuàng)新,全面提升航天微電子水平,實(shí)現(xiàn)從被動(dòng)滿足裝備需求轉(zhuǎn)變?yōu)橹鲃?dòng)推動(dòng)裝備發(fā)展;加快新一代航天微電子工業(yè)體系建設(shè),推動(dòng)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級(jí),打造微電子“航天制造”品牌,實(shí)現(xiàn)軍民融合寓軍于民,走出一條有中國特色的航天微電子綠色制造的發(fā)展道路,提高航天產(chǎn)品的國際競爭能力。實(shí)現(xiàn)微電子設(shè)計(jì)、制造、封裝、測試產(chǎn)業(yè)上規(guī)模上水平,到2010年,航天微電子產(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)到15億元。具體發(fā)展構(gòu)想如下:一是打造平臺(tái)。針對(duì)航天裝備的發(fā)展對(duì)高性能集成電路的急需,在新型航天工業(yè)體系中,提高軍民兩用微電子制造能力,研究制定宇航用集成電路設(shè)計(jì)制造規(guī)范、建立航天宇航級(jí)集成電路設(shè)計(jì)制造平臺(tái),為此,我們依據(jù)現(xiàn)有的生產(chǎn)線,自行開發(fā)和引進(jìn)結(jié)合,建立0.35μm/0.5μmCMOS、SOI、BiCMOS、抗輻射加固、嵌入式存儲(chǔ)器、BCD集成電路的現(xiàn)代化制造平臺(tái),開展超深亞微米設(shè)計(jì)、測試和封裝技術(shù)攻關(guān),研究異質(zhì)IP的集成技術(shù),研究復(fù)雜系統(tǒng)集成電路的系統(tǒng)級(jí)軟硬件協(xié)同驗(yàn)證技術(shù)和混合信號(hào)系統(tǒng)的驗(yàn)證技術(shù),研究自測試、信號(hào)完整性驗(yàn)證測試技術(shù)、研究低成本設(shè)計(jì)優(yōu)化以及嵌入式軟件技術(shù)等,建立完善宇航級(jí)CPU、DSP、SOC/SIP開發(fā)平臺(tái)。針對(duì)航天所需的長壽命、抗輻射、高可靠器件和民用通訊、汽車電子、HDTV、導(dǎo)航應(yīng)用等領(lǐng)域開發(fā)高性能處理器、大規(guī)??删幊唐骷‵PGA)、可編程系統(tǒng)芯片(PSOC)、高性能模擬器件以及數(shù)字電源產(chǎn)品。為了進(jìn)一步擴(kuò)大集成電路生產(chǎn)規(guī)模,對(duì)現(xiàn)有生產(chǎn)線進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn),并升級(jí)現(xiàn)有生產(chǎn)線為X英寸0.13μm,解決航天用關(guān)鍵微電子產(chǎn)品國產(chǎn)化問題,牢牢把握軍工領(lǐng)域制高點(diǎn)。在滿足航天對(duì)核心芯片的需求的同時(shí),積極開拓民用市場,更好更快的發(fā)展航天微電子產(chǎn)業(yè)。二是擴(kuò)大規(guī)模。積極圍繞新型航天工業(yè)體系的建立大力推進(jìn)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程,應(yīng)用現(xiàn)代制造技術(shù),擴(kuò)大集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模,優(yōu)先發(fā)展集成電路封裝,形成綠色封裝產(chǎn)業(yè),在西安航天民用產(chǎn)業(yè)基地投資新建年封裝能力為60億塊封裝測試廠,針對(duì)航天小型化、軍民兩用便攜式終端、功率電子模塊,開發(fā)BGA、CSP、MCP、SiP等高端封裝技術(shù),不斷拓寬應(yīng)用領(lǐng)域。當(dāng)前移動(dòng)通訊、PDA、GPS、數(shù)字相機(jī)等便攜式終端的發(fā)展,極大地推動(dòng)了集成電路封裝迅速向芯片級(jí)(CSP)、圓片級(jí)封裝(WLP)、三維(3D)封裝、系統(tǒng)級(jí)(SiP/SoP)封裝發(fā)展,因此開展封裝技術(shù)的技術(shù)攻關(guān),降低超深亞微米集成電路的封裝成本,解決超深亞微米集成電路的高密度的壓焊塊、高頻引起的趨膚效應(yīng)/熱點(diǎn)、電遷移等問題。同時(shí),我們正在積極開展SIP國產(chǎn)化計(jì)算機(jī)基本型攻關(guān),努力實(shí)現(xiàn)航天嵌入式計(jì)算機(jī)的更新?lián)Q代,并逐步研究推廣至其他民用領(lǐng)域。三是調(diào)整結(jié)構(gòu)。積極進(jìn)行產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整,創(chuàng)造市場需求,大力開發(fā)MEMS、雙向電源等相關(guān)技術(shù)產(chǎn)品,培育新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn),直接服務(wù)于國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)。重點(diǎn)發(fā)展太陽能產(chǎn)業(yè),形成新的產(chǎn)業(yè)。在西安航天科技產(chǎn)業(yè)園,采取進(jìn)口設(shè)備與國產(chǎn)設(shè)備相結(jié)合的方式,建設(shè)以太陽能電池為主體的300MW太陽能電池生產(chǎn)線,研究太陽能電池芯生產(chǎn)的新材料、新方法和新技術(shù),形成具有市場競爭優(yōu)勢的基于微電子工藝的新能源、新材料產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是應(yīng)用微電子技術(shù)實(shí)現(xiàn)微機(jī)械加工的微機(jī)械電子系統(tǒng),研究射頻、紅外、聲學(xué)、力學(xué)、磁學(xué)的微光機(jī)電傳感器(MOEMS)和慣性器件、執(zhí)行器技術(shù),開發(fā)相關(guān)技術(shù)和產(chǎn)
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