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觸摸屏生產(chǎn)流程第1頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四Agenda電容觸摸屏介紹鍍膜蝕刻介紹單面ITO結(jié)構(gòu)雙面ITO結(jié)構(gòu)網(wǎng)印可剝膠及切割后段流程介紹第2頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四電容觸摸屏工作原理
普通電容式觸摸屏的感應(yīng)屏是一塊四層復(fù)合玻璃屏,玻璃屏的內(nèi)表面和夾層各涂有一層導(dǎo)電層,最外層是一薄層矽土玻璃保護層。當(dāng)我們用手指觸摸在感應(yīng)屏上的時候,人體的電場讓手指和和觸摸屏表面形成一個耦合電容,對于高頻電流來說,電容是直接導(dǎo)體,于是手指從接觸點吸走一個很小的電流。這個電流分從觸摸屏的四角上的電極中流出,并且流經(jīng)這四個電極的電流與手指到四角的距離成正比,控制器通過對這四個電流比例的精確計算,得出觸摸點的位置。第3頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四電容觸摸屏分類表面電容式由一個普通的ITO層和一個金屬邊框,當(dāng)一根手指觸摸屏幕時,從面板中放出電荷。感應(yīng)在觸摸屏的四角完成,不需要復(fù)雜的ITO圖案投射電容式(感應(yīng)電容式)采用1個或多個精心設(shè)計的、被蝕刻的ITO層,這些ITO層通過蝕刻形成多個水平和垂直電極自感應(yīng)電容式互感應(yīng)電容式第4頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四電容觸摸屏分類自感應(yīng)電容觸摸屏結(jié)構(gòu)互感應(yīng)電容觸摸屏結(jié)構(gòu)第5頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四鍍膜基板ITO鍍膜金屬鍍膜Sputter原理圖Remark:金屬鍍在錫面第6頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四
基板上光阻曝光顯影Mask光阻蝕刻去光阻ITO蝕刻---單面制程ITO第7頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四
基板上光阻曝光
顯影(搭橋)上光阻曝光金屬蝕刻---單面制程鍍金屬層顯影蝕刻去光阻搭橋所用光阻為負(fù)光阻,ITO&金屬蝕刻使用正光阻第8頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四搭橋結(jié)構(gòu)示意圖ITO絕緣材料金屬第9頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四
基板上光阻曝光顯影Mask光阻蝕刻去光阻金屬蝕刻---雙面制程(MetalFirst)金屬ITO第10頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四
基板上光阻曝光顯影蝕刻去光阻金屬面ITO蝕刻---雙面制程第11頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四
基板上光阻曝光顯影蝕刻去光阻非金屬面ITO蝕刻---雙面制程第12頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四雙層結(jié)構(gòu)示意圖金屬面ITO金屬非金屬面ITO第13頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四
網(wǎng)印可剝膠鍍SiO2不鍍SiO2第14頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四
切割功能測試第15頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四后段流程介紹ICSensorACF貼合FPC貼合功能測試第16頁,共18頁,2023年,2月20日,星期四后段流程介紹IC貼光學(xué)膠貼蓋板加壓脫泡ICIC
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