仿真技術(shù)在流程績(jī)效管理中的應(yīng)用

仿真技術(shù)在半導(dǎo)體和集成電路生產(chǎn)流程優(yōu)化中的應(yīng)用閔春燕(1)王巖峰博士(2)（1.浙江大學(xué)應(yīng)用數(shù)學(xué)系計(jì)算機(jī)圖形圖象研究所杭州3100272.刃之礪信息科技（上海）公司總經(jīng)理）摘要：半導(dǎo)體和集成電路制造是一個(gè)流程高度復(fù)雜，資金高度密集的加工過程。與其他產(chǎn)品的制造過程相比，半導(dǎo)體和集成電路制造的特殊性表現(xiàn)在產(chǎn)品工序的繁多，對(duì)設(shè)備的高利用率要求，和最特殊的是，“再進(jìn)入”（Re-entry）的流程特點(diǎn)，也就是產(chǎn)品在加工過程中要多次返回到同一設(shè)備進(jìn)行不同工序的加工。這種特殊的工藝流程特點(diǎn)決定了半導(dǎo)體集成電路工序中的排隊(duì)優(yōu)化選擇策略比其他制造行業(yè)更為復(fù)雜，對(duì)生產(chǎn)效率和制造周期有更直接的影響。本文總結(jié)了當(dāng)前研究較多的幾個(gè)排隊(duì)選擇策略，通過EXTEND仿真軟件對(duì)英特爾的一個(gè)微型晶圓試驗(yàn)臺(tái)進(jìn)行初步研究，來說明計(jì)算機(jī)仿真手段在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)流程優(yōu)化中的作用。中圖分類號(hào)：TN3關(guān)鍵字：EXTEND軟件包；仿真；半導(dǎo)體集成電路；制造工藝流程；排隊(duì)策略；制造周期一．半導(dǎo)體和集成電路制造流程的特點(diǎn)如今，半導(dǎo)體（芯片或集成電路）越來越便宜，越來越普遍。然而集成電路（IC）的制造成本變得越來越高和工藝越來越復(fù)雜。隨著在工廠和設(shè)備上的大量投資，要處理多重再進(jìn)入（Multi-Reentrant）工藝流程以及IC技術(shù)加快更新?lián)Q代的速度，使得生產(chǎn)IC的工廠是最復(fù)雜，資金最密集的生產(chǎn)環(huán)境之一。無數(shù)事實(shí)證明，生產(chǎn)效率是利潤(rùn)的關(guān)鍵。半導(dǎo)體行業(yè)中有研究用平均制造周期（MeanCycleTime）和理論制造周期（Sumofprocesstime）之比（稱作實(shí)際－理論率）來衡量二者的差距，發(fā)現(xiàn)這個(gè)比率在2.5倍和10倍之間波動(dòng)，遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于其他制造行業(yè)[3]。比率越大，越說明工藝處理流程的復(fù)雜和不確定。導(dǎo)致半導(dǎo)體制造流程生產(chǎn)效率波動(dòng)的原因包括：產(chǎn)品工序的繁多，對(duì)設(shè)備的高利用率要求，和最特殊的是，“再進(jìn)入”（Re-entry）的流程特點(diǎn)。此外，變動(dòng)的質(zhì)量帶來的重新加工工序，產(chǎn)品的批處理，靈活性要求較高的產(chǎn)品轉(zhuǎn)換，對(duì)制造周期的快速反應(yīng)能力等等，都對(duì)半導(dǎo)體和集成電路行業(yè)的生產(chǎn)規(guī)劃增加了難度。對(duì)任何IC廠商，提高生產(chǎn)效率有三種方法：建立一個(gè)更有效的工廠，更新已有工廠或改變工廠的操作。包括英特爾，摩托羅拉在內(nèi)的多家財(cái)富100強(qiáng)半導(dǎo)體生產(chǎn)商選擇利用計(jì)算機(jī)仿真模型研究生產(chǎn)流程，指導(dǎo)他們重組生產(chǎn)操作。事實(shí)證明，許多晶圓制造廠（FAB）的制造周期縮短了20％－30％，生產(chǎn)效率得到了很大的提高[1]。在改變晶圓生產(chǎn)運(yùn)作之前，為了降低風(fēng)險(xiǎn)，對(duì)重大的改進(jìn)進(jìn)行模擬是很有必要的。不僅變化不能對(duì)現(xiàn)有生產(chǎn)產(chǎn)生巨大的影響，而且要有足夠的數(shù)據(jù)證明變化應(yīng)該是有效果的。半導(dǎo)體生產(chǎn)商意識(shí)到建立晶圓生產(chǎn)的動(dòng)態(tài)仿真模型可以在不破壞現(xiàn)有操作的情況下提供可證實(shí)的結(jié)果。包括摩托羅拉在內(nèi)的許多半導(dǎo)體廠商選擇利用EXTEND仿真軟件包來模擬生產(chǎn)線運(yùn)作，產(chǎn)生了非常理想的效果。通過計(jì)算機(jī)仿真，可以對(duì)以下問題進(jìn)行深入研究：（1）多產(chǎn)品的混合組合對(duì)生產(chǎn)效率的影響；（2）在“再進(jìn)入”（Re-entry)情況下的產(chǎn)品處理排序的選擇；（3）生產(chǎn)瓶頸和生產(chǎn)設(shè)備使用率的分析；（4）原材料和在制品的釋放速度對(duì)生產(chǎn)效率的影響；（5）生產(chǎn)需求，原料供給，設(shè)備使用，人員配置等的波動(dòng)對(duì)生產(chǎn)效率的影響。摩（6）生產(chǎn)岔資源配置的邪合理性分析女；臘二延．EXTE肯ND仿真攀軟件的特點(diǎn)晝和在半導(dǎo)體陶制造中的應(yīng)則用種E憐XTEND縣是由美國(guó)I仗magin另eTha灘t公司開發(fā)銹的可對(duì)離散倍和連續(xù)時(shí)間濁系統(tǒng)仿真的稻高靈活性選、五高可擴(kuò)展性止，高性能價(jià)職格比的優(yōu)秀豪仿真平臺(tái)。罪在半導(dǎo)體和社集成電路制羨造領(lǐng)域，E門XTEND蕉也同樣得到郵了廣泛的應(yīng)速用，客戶包吼括摩托羅拉誕，愛立信，層諾基亞，國(guó)發(fā)家半導(dǎo)體，遣德州設(shè)備等邀世界一流企地業(yè)。喬它在半導(dǎo)體斬行業(yè)的適用宵性體現(xiàn)在以兵下方面：股由于兆EXTEN材D裂具有削高度視柔韌性皮和高度擴(kuò)展告性（可編程謝）成，子所以天可以根據(jù)費(fèi)任何流程和搭運(yùn)營(yíng)特點(diǎn)“堤量體裁衣”梅式設(shè)計(jì)模塊央，搭建模型秒。俯對(duì)半導(dǎo)體行膜業(yè)中的“再教進(jìn)入”（R朗e-ent賀ry）流程道模式非常適遺用。鞋用導(dǎo)EXTEN紙D開放的代槽碼體系和強(qiáng)造大的編程工似具，來模擬相各種決策，絲包括產(chǎn)品混揮合比例，工令藝排序，返憤工處理等等壯。特別是和運(yùn)EXCEL歷和數(shù)據(jù)庫(kù)的器接口，可以爺處理大量的待數(shù)據(jù)躬。時(shí)三替、雅EXTEN黨D澡仿真那半導(dǎo)體生產(chǎn)銜流程建?？喟咐走@個(gè)案例是罰用訂EXTEN度D帶仿真軟件，承建立半導(dǎo)體勸生產(chǎn)流程模言型，并通過朋對(duì)一系列在黨制產(chǎn)品排序個(gè)策略的考察天，找到適用瓣于流程特點(diǎn)權(quán)的最優(yōu)策略灣。瘋半導(dǎo)體晶圓該制造中5個(gè)由主要的加工察過程是化學(xué)梯清洗，平面眾光刻深，離子注入傻，金屬沉積摩/氧化，等許離子體/化耗學(xué)蝕刻。常央常會(huì)有某些解步驟被跳過云、重復(fù)或者叛用不同順序徹來完成。同臣一個(gè)晶圓謙能被某個(gè)特廉殊機(jī)器加工繡15到25蓄次之多，而類且每次退加工處理微所需的時(shí)間古都可能不同疫。生產(chǎn)線的掛“左再進(jìn)入窗”是半導(dǎo)體兇加工的特征憑，這在其他惑工業(yè)加工過運(yùn)程中并不常往見。晶圓群是以分批或涼者是批次形訪式在生產(chǎn)線掙上流動(dòng)的。滾在同一時(shí)間寒內(nèi)，某些加飯工步驟發(fā)生禮在一個(gè)晶圓仰上，一些步旁驟發(fā)生在一繡整批晶圓上描，一些步驟煤發(fā)生在很多都批晶圓枯上（即批處貌理）。陳在每一臺(tái)機(jī)竹器之前，會(huì)艙有許多不同疲種類，不同扭工序步驟的帆待處理產(chǎn)品資，如何選擇取最優(yōu)的匆排隊(duì)斯策略對(duì)整個(gè)哄生產(chǎn)系統(tǒng)的餅效率有著非傻常顯著的影貞響。排隊(duì)策劉略桐決痕定一個(gè)機(jī)器艙空下來和時(shí)其下一步雁要做的工作巾。機(jī)排隊(duì)原則經(jīng)鎖常用于瓶頸朽區(qū)域禽。含此外，拉產(chǎn)品的霉釋放策略葉可以通過羊控制抖產(chǎn)品釋放到揚(yáng)生產(chǎn)各環(huán)節(jié)貼的速度鑼方式，來獲對(duì)得更短的，鼻更現(xiàn)有效心的工藝流程趣時(shí)間?？紤]慮到郵半導(dǎo)體晶圓準(zhǔn)加工過程中令流程的復(fù)雜雁程度、不可乘預(yù)知的事件欣、人為干涉灰等，確定一乳個(gè)嘆最優(yōu)的排隊(duì)神策略和釋放尼策略是非常鄰具有挑戰(zhàn)性雞的丙。羊?yàn)榇?，我們父利用一個(gè)英色特爾公司提紐供的一個(gè)懼簡(jiǎn)化的叨晶圓生產(chǎn)流拼程來建立E涉XTEND燕仿真模型警[1嘴]慚。湊下圖是由抵英特爾拖制造系統(tǒng)首芹席科學(xué)家K柏arlK胸empf提膛供的懶試驗(yàn)臺(tái)哈模型嬌。這個(gè)試驗(yàn)碰臺(tái)是半導(dǎo)體巴FAB中一有個(gè)非常小的牽部分的一個(gè)管范例，也是分作為一個(gè)微問型FAB校而提出的癥。從擴(kuò)散幼鋤恥平湯面光刻工藝歡刮魯浙離子注追入盛圖一.5臺(tái)西機(jī)器，6個(gè)輝步驟的糠微鎮(zhèn)型FAB豐工藝流程示由意圖匙微型FAB稱包括在3獎(jiǎng)種不同的機(jī)清器組，仁6亂個(gè)步驟的工伯藝流程和至2種產(chǎn)品蘋晶片辯和試驗(yàn)晶片供。在每個(gè)機(jī)舒器組，步驟鋸4，5，6懲處都是一個(gè)籠再進(jìn)入入口竄。機(jī)器組包曉括擴(kuò)散—C剃1（2個(gè)機(jī)秘器Ma和M畜b），離子苦注入－C2法（2個(gè)機(jī)器解Mc和Md表）和平面光粱刻技術(shù)－C嗽3（一個(gè)機(jī)問器Me）。撕通過離散事碌件模擬模型恩，機(jī)器利用展率能被觀察項(xiàng)到并虛做庫(kù)多方位蛛比較，件在制產(chǎn)品錦隊(duì)列的統(tǒng)計(jì)僚數(shù)據(jù)能被記垮錄下來，平燥均咸制造周期個(gè)和平均WI哥P陰能被算出，婦產(chǎn)出量可以報(bào)被仿真卷出，瓶頸容熟量可以膨隨意增加減燙少逗，預(yù)防性的鴿維修進(jìn)程可重以被圍模擬，員工氧數(shù)量的波動(dòng)碎影響塵可以被確定財(cái)。仿真可以臣讓管理層欠無需打亂工暴廠的現(xiàn)狀浴，窄花費(fèi)最小地夕實(shí)驗(yàn)各種假融想的情況腥。胸四勒、襪排隊(duì)策略簡(jiǎn)的理論依據(jù)特半導(dǎo)體集成德電路中的優(yōu)訪化排隊(duì)策略涉的提出均據(jù)刷于排隊(duì)論中握兩個(gè)基本公萌式：蝦Littl壞e晝’琴sLaw采被和洋Kingm粉an另委Formu很la球。六Littl訂e’竊sLaw茂，更多情況撲下叫庫(kù)存規(guī)激律，委是指歡：憲在任意考察仁的系統(tǒng)中，型如果桶N何是骨存在于系統(tǒng)訂的所有裳產(chǎn)品慣總量貢，交λ塑是產(chǎn)品在加情工時(shí)扭進(jìn)入系統(tǒng)的撲平均到達(dá)率聽，廟T儉是作停留在系統(tǒng)譽(yù)中的奔平均周憑期疼時(shí)間由（瘡包括趕累積濟(jì)加工時(shí)間加章上葉累積切等待時(shí)間雁）鞠，則有嫩Kingm啦an候Form傍ula亡則臥說明了我系統(tǒng)中產(chǎn)品扛存量，系統(tǒng)嫩波動(dòng)（輸入昨波動(dòng)和覽處理餡波動(dòng)）及加殊工掩負(fù)荷哈之間的關(guān)系夏：番N紙=勿系統(tǒng)中產(chǎn)品描存量；伏V序=輸入變量捉+鏈處理偉變量；努ρ抽身=牌加工負(fù)荷系樣數(shù)齡1，翁可以看出序，當(dāng)?shù)Aρ蔥趨向1時(shí)，諸也就是當(dāng)機(jī)殿器（系統(tǒng)）耽接近滿負(fù)荷建工作時(shí)，宿系統(tǒng)中產(chǎn)品湖存量曬對(duì)系統(tǒng)波動(dòng)羞非常敏感。云由圈Littl蠟e須’苗sLaw蒜轟和季Kingm顏an蝕Form繡ula氣看出，弱為了要減少午整個(gè)FAB嗽的周期時(shí)間膝，則在產(chǎn)品嶺加工平均到弟達(dá)速度不變碎的情況下，藏根據(jù)憐Littl梅e織’短sLaw醬，要減少暑系統(tǒng)產(chǎn)品紙存量巷N井；跨同時(shí)又根據(jù)招Kingm判an護(hù)Form欺ula倍，在司ρ肥不變的情況客下減少軟系統(tǒng)波動(dòng)局V腐來達(dá)到觀減少系統(tǒng)產(chǎn)愉品存量站。叢五點(diǎn)、排隊(duì)策略犧的禽仿真結(jié)果違利用計(jì)算機(jī)街仿真模型，股我們考察了喇幾個(gè)在半導(dǎo)背體集成電路扯行業(yè)中研究稠較多的如下常排隊(duì)策略：嫂排隊(duì)策略名馳稱下解釋堆First垮Come愿Firs謙tSer輕ve(F闖CFS)定按照在制品廢到達(dá)機(jī)器的幅先后次序，膽先來先處理皆First淘Buff妄erFi喘rstS環(huán)erve碰(FBFS葡)霉按照盈工序順序標(biāo)軋識(shí)軌緩沖，S1嗽-S2-S氧3-S4-框S5-S6羅,FBF與S將高優(yōu)先浴級(jí)賦予工序凳在先的拳緩沖內(nèi)的在鵝途產(chǎn)品。對(duì)盼于同一機(jī)器彼，低優(yōu)先級(jí)核的緩沖中的材產(chǎn)品必須等勁到高優(yōu)先級(jí)舉緩沖中的產(chǎn)候品全部處理膏完畢之后，呈才開始處理橡。吸Last累Buffe泳r絲First她Serv掃e（LBF廉S）館按照工序順律序標(biāo)識(shí)緩沖攪，S1-S繩2-S3-胡S4-S5傳-S6,救FBFS將壇高優(yōu)先級(jí)賦辦予工序在后茅的緩沖內(nèi)的租在途產(chǎn)品。伐對(duì)于同一機(jī)競(jìng)器，低優(yōu)先受級(jí)的緩沖中暮的產(chǎn)品必須躺等到高優(yōu)先沈級(jí)緩沖中的床產(chǎn)品全部處館理完畢之后島，才開始處國(guó)理。段Minim氣umRe沒maini享ngPr備ocess錢Time伸(MRP農(nóng)T)防對(duì)于同一緩按沖中的產(chǎn)品仆，計(jì)算產(chǎn)品圖平均讀剩余蔽（理想）染制造時(shí)間總臺(tái)和，杠將排隊(duì)優(yōu)先跪順序賦予最番小守剩余制造時(shí)枕間的產(chǎn)品。淡Fluct糊uatio孫nSmo添othin貸g-Mea粒nCyc類leTi維me(FS顏MCT)暫對(duì)于同一緩慰沖中的產(chǎn)品陸，計(jì)算到交催貨期為止跳的允許剩余娘時(shí)間和從此痰緩沖到簡(jiǎn)下一個(gè)緩沖掃所需要的實(shí)尸際平均時(shí)間伙之間的松弛宜量約。松弛量越席小，優(yōu)先級(jí)昌越高。瘋FCFS一睬般用來作為見新策略效果埋的比較基準(zhǔn)陣。是半導(dǎo)體集成鉤電路的制造辣周期（Cy露cleT茅ime）的之績(jī)效目標(biāo)有民兩個(gè)方面，極一方面是減晴少制造周期辛的平均時(shí)間想，而另一方限面是減少制偶造周期的波城動(dòng)范圍差。前者是為俗了提高生產(chǎn)拉效率和設(shè)備谷利用率，而居后者是為了刻取得一貫和真持久的好的臘結(jié)果。附鵲在文章[5浙]當(dāng)中，K跨umar捕提出LBF躍S甲可以對(duì)減少家制造周期的軍平均時(shí)間有廢益。因?yàn)?，僑根據(jù)Lit礎(chǔ)tle’s展Law,售如果要減簽少制造周期股的平均時(shí)間磚，在產(chǎn)品釋故放到系統(tǒng)的半速率不變的濤情況下，就纏要減少在途等庫(kù)存。因此賄，機(jī)器的最羊佳策略就是汁盡可能快的桐將存留在系興統(tǒng)中的產(chǎn)品屆清理出去，衣越是離處理刊結(jié)束越近的經(jīng)產(chǎn)品，越需撞要盡快處理硬掉光。腔但是這個(gè)理錯(cuò)論對(duì)于多產(chǎn)掠品種類，并欄且產(chǎn)品工藝鋸路線和處理竿時(shí)間都不相海同的處理情篇況就顯得過泉于簡(jiǎn)單了。徒為此，MR垃PT旱秉持同樣的牢理論依據(jù)，墾但是考察每熔種產(chǎn)品的平邪均剩余制造壁時(shí)間的總和油。血最簡(jiǎn)單的做略法就是將每摟種產(chǎn)品剩余發(fā)工序的定額韻時(shí)間累積起選來陜（Sum斤ofre休maini鏈ngpr夜ocess肢time蠻）膚，時(shí)間越少齒，優(yōu)先級(jí)越傲高。蜘但是，根據(jù)澇前文所述，宮在半導(dǎo)體集姻成電路行業(yè)桌中，平均制隔造周期（M礙eanC碧ycle洽Time）撤和理論制造睛周期（Su桿mof陣proce膚ssti幻me）之比迅（稱作實(shí)際牙－理論率）匙在2.5倍甘和10倍之叫間波動(dòng)，遠(yuǎn)勝遠(yuǎn)高于其他梁制造行業(yè)。澆用定額時(shí)間芹作為排序依之據(jù)會(huì)與實(shí)際品情況相差過雨大。過為此，Lu長(zhǎng)[3]根據(jù)捐Littl愧e’sL翻aw提出珠了一類排序?qū)幉呗越胁▌?dòng)釣平穩(wěn)策略（頸Fluct弱uatio射nSmo艦othin會(huì)g）。這類某策略認(rèn)為產(chǎn)行品流到各個(gè)閑處理機(jī)器的傻類似“脈沖營(yíng)”的不規(guī)律筑的波動(dòng)性是段導(dǎo)致制造周裝期變長(zhǎng)的根申本原因。如趕果將產(chǎn)品在慧復(fù)雜生產(chǎn)系珍統(tǒng)中的移動(dòng)夾看作是產(chǎn)品拍流，這類策捧略試圖使這畫些產(chǎn)品流變杰得更加平穩(wěn)洪，波動(dòng)更加罵趨緩。餐這類策略叮之一的Fl完uctua義tion鎖Smoot摩hing-件Mean窄Cycle肉Time織(FSMC愁T)是可以買既減少平均允制造周期，永又可以減少養(yǎng)制造周期波僑動(dòng)的比較好犁的辦法。單雖然文獻(xiàn)[捎3]中對(duì)原宅理做了解釋捷，但更側(cè)重乓于單種產(chǎn)品灰的復(fù)雜再進(jìn)該入流程，而方我們則借助彼計(jì)算機(jī)仿真鑄模型，對(duì)朱多種產(chǎn)品種芬類的再進(jìn)入私流程跑應(yīng)用FSM閱CT跳也做個(gè)研究堆，得到同樣廊類似的結(jié)論菜。陵以FCFS肺的平均制造火周期為基準(zhǔn)日，下表列出書了我們對(duì)以杏上幾種排隊(duì)悟策略對(duì)制造她周期的縮短并率斗：查排隊(duì)策略華比FCFS令基準(zhǔn)制造周闊期縮短時(shí)FBFS殖17.1%廟MRPT減19.6%認(rèn)LBFS洞22.4%報(bào)FSMCT貸30.2%監(jiān)雖然，F(xiàn)C嚇FS的平均逮制造周期最逝長(zhǎng)，但是制餐造周期的恥波動(dòng)性鵲（Vari藍(lán)abili軟ty聚）并不一定窗最大。我們隙仿真的結(jié)果閥顯示FSM帥CT不但使殘平均制造周緞期縮短最多浸，而且使制賊造周期的波賭動(dòng)性（標(biāo)準(zhǔn)留方差）最小圣。五．總結(jié)長(zhǎng)EXTEN共D提供了有批力的工具來健研究多種策傍略對(duì)績(jī)效指些標(biāo)的影響。郊按照國(guó)外厭文獻(xiàn)記載，擠許多排序策笨略和釋放策張略可以比居FCFS線策略縮短制兩造周期達(dá)2奔0％到30溫％攝[2]立，而且隨漸著生產(chǎn)流程軋和工序的復(fù)步雜程度不斷譯增加，優(yōu)化柱策略對(duì)生產(chǎn)禾效率的提高浮將更加明顯遺[1]棗。鑒于這片渴文章成稿之畢時(shí)，許多策沒略還在試驗(yàn)論之中，更多丹的研究結(jié)果績(jī)將會(huì)不斷得迷出，符歡迎感興趣挪的讀者和本績(jī)文作者聯(lián)系踢。（仁王巖峰的聯(lián)食系是yan櫻feng.棒wang@店edges厭tone-抗it.co流m內(nèi);租閔春燕的聯(lián)紡系是mcy援@zju.槽edu.c潔n佳）?；艆⒖嘉墨I(xiàn)：倒眾【1】居K那EMPF熟碑K羽,“De宅taile綿dDes刷cript辰iono健fMul體tiple范Prod暗uctR切e-ent糕rant燥Semic玻onduc千torM遍anufa趴cturi滲ngSy槍stem樂Examp雖le,”頭Prepa算redr匯eport漂,Int維elCo跳rpora室tion,匆Tech陵nolog在y,an三dMan兩ufact肚uring界Grou貍p,Au宰gust,枕1994拖.獨(dú)【2】虛C誓OLLIN藥S演培D.W然耽andH乖O(shè)PPEN濫STEAD瑞T族鳥F.C爽,“In綱vesti哥gatio餅nof主Minim鄭umIn暮vento房ryVa秒riabi駝lity恥Sched慕uling滾Poli饒cies辰ina斜Large聚Semi爭(zhēng)condu述ctor疾Manuf酸actur愧ingF畫acili每ty,”毅1997亂Ameri冷canC片ontro息lCon御feren楚ce捉,俗Albuq施uerqu絨e天,沃NewM度exico罩,栗音June夏4-6,軟1997幣.誠(chéng)【3】丑L艱U繩澡S.C.魂H供,展Ramas吳wamy土棉D(zhuǎn)鍋,and雪使Kumar片嘗P.R塘,"肉Effic蟻ient海姜sched藝uling嘉廟polic豈ies切tor淘educe燃mean館and袖varia欄nceo篇fcyc痛le--t波imei嚇nsem襖icond迎uctor鋼manu溪factu懲ring邪plant車s,"I諒EEET荒ransa丟ction蜂son揚(yáng)Semic壽onduc撥torM始anufa攀cturi格ng,俯Augus父t199棉4絞,喚vol.瞇7,pp吩.374鍵--385展.鉗【4】填Wein熟服L.M勻,廉“缺Sched辦uling刷semi棟condu亦ctor王wafer崖fabr擱icati律on賭,"IE腦EETr情ans.刺Semic罰onduc須torM閱anufa宣cturi隆ng,v臉ol.1斥,要妻Aug.桶1988撥,揚(yáng)pp.涌115-1抓30版.掘【5】輝Kumar枕化P.R素,"Re商--ent座rant謹(jǐn)lines調(diào),"Qu螞euein孫gSys容tems:閱Theo娃r(nóng)yan途dApp協(xié)licat杏ions:勉Spec毀ialI行ssue監(jiān)onQu歪euein支gNet旦works鐵,vol摧.13,營(yíng)握May1總993廳,循pp.8幫7--11則0.作者簡(jiǎn)介：集閔念春燕，碩士銜，浙江大學(xué)痰應(yīng)用數(shù)學(xué)系猴計(jì)算機(jī)圖形瓣圖象研究所肉，主要從事察輔助幾何設(shè)半計(jì)，曲線曲蒸面造型設(shè)計(jì)稍等開發(fā)研究尤工作半。假聯(lián)系方式疤mcy@z氏ju.ed尚u.c牛n.獸勞王巖忍峰，美國(guó)波享士頓大學(xué)制籌造工程（工申業(yè)工程）系佛博士畢業(yè)。坊現(xiàn)為刃之礪酷信息科技（好上海）有限渾公司創(chuàng)始人獎(jiǎng)和總經(jīng)理。鼓曾工作于美騰國(guó)i2T蟻echno嶺logie齊s,Ty智coEl概ectro滅nics,服Pana蕩sonic申，從事利用扭計(jì)算機(jī)仿真妄技術(shù)進(jìn)行流尸程效率改善淋和供應(yīng)鏈且物流陶管理披，服務(wù)的客亂戶包括許多絨世界500椅強(qiáng)企業(yè)，例添如Ford慮,Cat犬erpil獨(dú)lar,糟Bosch慌,Toy筐ota等等驕。攪聯(lián)系方式極：上海徐匯粗區(qū)漕溪路1素35號(hào)金浦奮大樓406踢室（200列235）；徒電子郵件昂yanfe刺ng.wa來ng@ed缸gesto箭ne-it即喪.兵天Simul希ation像Tech懸nolog墾yApp同licat剩ioni區(qū)nOpt撤imal罰Semic貧onduc朝tora害ndIn雨tegra仿ted蜜Circu變it語(yǔ)Manu教factu義ring戴Proce膀ssMa齊nagem賀ent泡Abstr憶act仰Thep詳roces遍sof劃semic誘onduc林tora嗓ndIC增厘manuf豬actur起ing轎ish濫ighly歸comp贏lexa紛nd禾capit舞al握inte玩nsive冶.Dif田feren徹tfro納moth拆erma陡nufac問turin叼gpro宇cesse違s,th壽euni不quec宿omple帖xity流exhib亦ited屢in據(jù)semic摸onduc色tor槽indu庫(kù)stry帥comes員from票mult孕iple死produ變ctmi初x,hi由ghde濾mand取form良achin受euti紀(jì)lizat焦iona黨nd,據(jù)“就re-en育try獅”糞char芹acter室istic雕,i.e鄰.,a患batch牛ofp盼roduc燦tsha京sto穗re-en亂teri扔ntot救hesa鐘mema溪chine概躁sever歲al櫻time萍sto暮compl定etet惕hepr州oduct識(shí)ion厘recip閘e芝duri厘ngit連srou能ting.訓(xùn)Ina里dditi烘on,r塔e-wor磨kfro召mqua梅lity近fluct丘uatio四n撫,bat儉chpr遞ocess餅,fle翅xible疏chan圓geove趣rand雙setu僚pand俊quic勝kres謀ponse蝦toc攀ycle疤time他alli德mpose贈(zèng)grea共tcha結(jié)lleng段esto痰prod疾uctio插nsch悟eduli客ngan瓜dopt隔imal算resou鍬rcea浩lloca柿tion.按Cycl飼etim泳ered龜uctio畝nhas伯been封one迷ofmo探stim囑porta百ntre武searc蜂hsub滾jects農(nóng)ins幕emico饞nduct仁orin倡dustr酷ydom誦estic派ally唉andi碧ntern顆ation敞ally.緣And燦itha在sbee餓nsho王wnth予atqu集euing腫t