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減少制絨水紋印的幾點(diǎn)建議水紋是指在制絨后我們用肉眼看到的“水印”,而這個(gè)“水印”是由于制絨后硅片表面的硅酸鉀沒(méi)能得到很好的去除所留下的不規(guī)則的印記。水紋印如圖1所示。圖1水紋印由此可從兩方面入手減少制絨后水紋印:1、確保噴淋正常工作,機(jī)械臂從制絨槽提籃時(shí)噴淋能及時(shí)打開并保證噴淋水量均勻適中。這樣制絨后硅片表面的硅酸鉀就能得到較好的去除,從而減少水紋印。導(dǎo)致噴淋異常的常見(jiàn)問(wèn)題:工藝配方中“噴淋泵浦”設(shè)置為“待機(jī)”或“關(guān)”,會(huì)導(dǎo)致噴淋工作異常。正確的設(shè)置應(yīng)該為“開”,若出現(xiàn)此類異常則由工藝部負(fù)責(zé)調(diào)整。具體設(shè)置如圖2所示。
圖2“噴淋泵浦”的工作模式噴淋進(jìn)水閥門關(guān)得過(guò)小會(huì)導(dǎo)致噴淋水量過(guò)小,噴淋水霧無(wú)法覆蓋所有的硅片。若出現(xiàn)此類異常則由設(shè)備部門對(duì)進(jìn)水閥門進(jìn)行調(diào)整。閥門如圖3所示。圖3噴淋進(jìn)水閥門噴淋進(jìn)水管扭曲折疊會(huì)導(dǎo)致噴淋時(shí)水量時(shí)大時(shí)小,噴淋效果變差。出現(xiàn)此類異常則由設(shè)備部門負(fù)責(zé)處理。噴淋進(jìn)水管輕微折疊如圖4所示。
圖4噴淋進(jìn)水管輕微折疊2、降低制絨槽藥液中硅酸鉀的含量。通過(guò)調(diào)整制絨工藝如減少工藝時(shí)間、加大異丙醇的補(bǔ)加量、降低制絨溫度等控制硅片單面腐蝕深度在5-6um范圍內(nèi)。這樣作為生成物的硅酸鉀的量就會(huì)減
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