真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)

真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)第1頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Chapter1ThePhysicalfundamentalsofVacuumTechnology------TheKinetictheoryofgaseousmolecules.------Rarefiedgastheory(Physics)forvacuum.第2頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一本章內(nèi)容1.1氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本原理1.2氣體的壓強(qiáng)1.3氣體分子的速率分布1.4氣體分子的自由程1.5氣體在管道中的流動(dòng)1.6氣體通過小孔的流動(dòng)1.7流導(dǎo)及流阻第3頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一本課內(nèi)容1.1氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本原理一、氣體的基本定律Boyle’slawGay-Lussac’slawCharle’slawAvogadro’slawEquationofstateofidealgas二、氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本假設(shè)三、理想氣體四、蒸汽1.2氣體的壓強(qiáng)第4頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一1.1氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本原理一、氣體的基本定律Boyle’slaw

波義耳～馬略特定律：一定質(zhì)量的氣體，若其溫度維持不變，氣體的壓力和體積的乘積為常數(shù)

pV=常數(shù)

第5頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一

2、蓋·呂薩克定律：一定質(zhì)量的氣體，若其壓力維持不變，氣體的體積與其絕對(duì)溫度成正比

V/T=常數(shù)

3、查理定律：一定質(zhì)量的氣體，若其體積維持不變，氣體的壓力與其絕對(duì)溫度成正比。

p/T=常數(shù)上述三個(gè)公式習(xí)慣上稱為氣體三定律。具體應(yīng)用方式常為針對(duì)由一個(gè)恒值過程連結(jié)的兩個(gè)氣體狀態(tài)，已知3個(gè)參數(shù)而求第4個(gè)參數(shù)。例如：初始?jí)毫腕w積為P1、V1，的氣體，經(jīng)等溫膨脹后體積變?yōu)閂2，則由波義耳--馬略特定律，可求得膨脹后的氣體壓力為P2=P1V1/V2。這正是各種容積式真空泵最基本的抽氣原理。

第6頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一

4、道爾頓定律：相互不起化學(xué)作用的混合氣體的總壓力等于各種氣體分壓力之和。

P=P1+P2+····+Pn

這里所說的混合氣體中某一組分氣體的分壓力，是指這種氣體單獨(dú)存在時(shí)所能產(chǎn)生的壓力。

道爾頓定律表明了個(gè)組分氣體壓力的相互獨(dú)立和可線性疊加的性質(zhì)。第7頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一

5．阿佛加德羅定律：等體積的任何種類氣體，在同溫度同壓力下均有相同的分子數(shù)；或者說，在同溫度壓力下，相同分子數(shù)目的不同種類氣體占據(jù)相同的體積。1mol任何氣體的分子數(shù)目叫做阿佛加德羅數(shù)，NA=6.022×1023mol-1。在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下(po=1.01325×105Pa，To=0oC），1mol任何氣體的體積稱為標(biāo)準(zhǔn)摩爾體積，Vo=2.24×10-2m3mol-1。

根據(jù)上述氣體定律，可得到反映氣體狀態(tài)參量p、V、T、m之間定量關(guān)系的理想氣體狀態(tài)方程：

pV=m/M(RT)

(5)

第8頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一

pV=m/M(RT)

式中的M為氣體的摩爾質(zhì)量（kg/mol），R為普適氣體常數(shù)，R=8.31J/（mol·K）。在已知p、V、T、m四參量中的任意三個(gè)量時(shí)，可由此式求出另外一個(gè)值。例如氣體的質(zhì)量m=pVM/（RT）

一定質(zhì)量的氣體，由一個(gè)狀態(tài)（參量值為p1、V1、T1）經(jīng)過任意一個(gè)熱力學(xué)過程(不必是恒值過程)變成另一狀態(tài)(參量值為p2、V2、T2)，根據(jù)狀態(tài)方程，可得到關(guān)系式：p1V1/T1=p2V2/T2

(6)

對(duì)（5）變換，還可計(jì)算單位體積空間內(nèi)的氣體分子數(shù)目和氣體質(zhì)量，即氣體分子數(shù)密度n（m-3）和氣體密度p（kg/m3）

n=mNA/MV=pNA/RT=p/kT

(7)

p=m/V=pM/RT

(8)

系數(shù)k=R/NA=1.38×1023J/K稱為波爾茲曼常數(shù)。第9頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Section1Basicprinciplesthekinetictheoryofgaseousmolecules1.Basiclawsofidealgas.Boyle’slaw:Theproductofthepressurepandvolumevremainsaconstantatacertaintemperature.PV=KGay-Lussac’slaw:Heobservedthatatconstantpressurethevolumeofthegasincreaseslinearlywithitstemperature.VT=V0αT第10頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一BasiclawsofidealgasCharle’slaw:Attheconstantvolumethepressureofthegasincreaseslinearlywithitstemperature.PT=P0αTAvogadro’slaw:Avogadroconcludedthatequalvolumesofallgasesunderthesameconditionsoftemperatureandpressurecontainequalnumbersofmolecules.6.023*1023Equationofstateofidealgas.PV=nRT(n=M/μ)第11頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一二、氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本假設(shè)氣體由分子組成；分子有一定V，運(yùn)動(dòng)時(shí)相互不斷進(jìn)行彈性碰撞；分子運(yùn)動(dòng)及碰撞遵從牛頓定律，可用經(jīng)典力學(xué)處理；分子數(shù)目巨大，氣體的宏觀性質(zhì)是大量微觀性質(zhì)的統(tǒng)計(jì)平均值，可用統(tǒng)計(jì)學(xué)方法求出。第12頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一三、理想氣體簡單的理論模型：氣體分子體積與活動(dòng)空間想必是微不足道的，考慮分子運(yùn)動(dòng)時(shí)，可以將分子看成幾何點(diǎn)；分子之間無相互作用力，分子運(yùn)動(dòng)完全獨(dú)立。低壓氣體與理想氣體很接近，因此真空條件下，可以利用理想氣體的模型。第13頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一四、蒸汽永久氣體與蒸汽的區(qū)別：當(dāng)氣體處在它的臨界溫度以上時(shí)，無論怎么壓縮都不能使其液化；處在它的臨界溫度以下時(shí)，則可以壓縮使其液化。以室溫（15---25）為準(zhǔn)，臨界溫度高于室溫的氣體稱為蒸汽；而低于室溫的氣體則為“永久氣體”。見表1-2第14頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一1.2氣體的壓強(qiáng)定義：單位面積器壁上所受到的壓力。單位：牛頓/米2，即帕Pa壓強(qiáng)方程：

P=1/3(mnv2)orP=nkT

將氣體分子微觀熱運(yùn)動(dòng)的強(qiáng)弱（m,n,v)直接與宏觀上的氣體壓力(P)定量聯(lián)系起來第15頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Section1Basicprinciplesthekinetictheoryofgaseousmolecules1.Basiclawsofidealgas.Boyle’slaw:Theproductofthepressurepandvolumevremainsaconstantatacertaintemperature.PV=KGay-Lussac’slaw:Heobservedthatatconstantpressurethevolumeofthegasincreaseslinearlywithitstemperature.VT=V0αT第16頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一BasiclawsofidealgasCharle’slaw:Attheconstantvolumethepressureofthegasincreaseslinearlywithitstemperature.PT=P0αTAvogadro’slaw:Avogadroconcludedthatequalvolumesofallgasesunderthesameconditionsoftemperatureandpressurecontainequalnumbersofmolecules.6.023*1023Equationofstateofidealgas.PV=nRT(n=M/μ)第17頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Section2ThepressureofgasDefinitionofthepressure:1.Macroscopic:Thepressureistheforceperarea.2.Microscopic:ThemomentumtransferfromthemoleculestothewalloftheconfiningvesselresultsinthepressureP.第18頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一ThePressuretobederived1.Idealpath:

Classicalmechanics+Statistics:KTGM(Kinetictheoryofgaseousmolecules)Microscopiccalculation+averagestatistics:Macroscopicparameters2.TheProcesstobederived

第19頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一1.3氣體分子的速率分布-----麥克斯韋速率分布律一、麥克斯韋速率分布?xì)怏w分子以各種大小的速度沿各個(gè)方向運(yùn)動(dòng)著，而且由于相互碰撞，每個(gè)分子的速度都在不斷地改變。因此，若在某一特定的時(shí)刻去考察某一特定的分子，則它的速度具有怎樣的數(shù)值和方向完全是偶然的。然而，就大量分子整體看來，在一定的條件下，它們的速度分布卻遵從著一定的統(tǒng)計(jì)規(guī)律。麥克斯韋認(rèn)為應(yīng)當(dāng)考慮這樣一個(gè)事實(shí)，即任何速度都不可能被禁止，分子的速度可以從0到∞。他指出氣體分子間的頻繁碰撞并不使它們的速度趨于一致，而是出現(xiàn)一個(gè)不同范圍內(nèi)的某種分布，在平衡態(tài)下這種分布不變。他在1859年寫的論文“氣體動(dòng)力論的說明”中寫道：“如果有大量相同的完全彈性的球粒子在容器中運(yùn)動(dòng)，則粒子之間將發(fā)生碰撞，每次碰撞都會(huì)使速度變化，所以在一定時(shí)間后，動(dòng)能將按某一有規(guī)則的定律在粒子中分配，盡管每個(gè)粒子的速度在每次碰撞時(shí)都要改變，但在某些速度區(qū)間內(nèi)的粒子的平均數(shù)是可以確定的?！?/p>

第20頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一二、麥克斯韋速率分布定律近代測(cè)定分子速度的實(shí)驗(yàn)表明：一般來說，分布在不同速度區(qū)間內(nèi)的分子數(shù)是不相同的，但在實(shí)驗(yàn)條件不變的情況下，分布在各個(gè)速度區(qū)間內(nèi)分子數(shù)的相對(duì)比值卻是完全確定的。盡管個(gè)別分子的速度大小是偶然的，但就大量分子整體來說，其速度大小的分布卻遵守著一定的規(guī)律，這種規(guī)律稱為統(tǒng)計(jì)分布規(guī)律。

處于平衡狀態(tài)的理想氣體分子，其熱運(yùn)動(dòng)速度的分布服從麥克斯韋速度分布定律.隨著真空技術(shù)的發(fā)展，二十世紀(jì)二十年代后，陸續(xù)有許多實(shí)驗(yàn)成功地驗(yàn)證了麥克斯韋速率分布律。1920年法國的物理學(xué)家施特恩(O．Stern，1888──1969)最早證實(shí)了氣體分子速率分布的統(tǒng)計(jì)規(guī)律。1934年我國物理學(xué)家葛正權(quán)(1895──1988)測(cè)定了鉍蒸汽的速率分布，驗(yàn)明了這條定律1955年美國哥倫比亞大學(xué)的密勒(R．C．Miller)和庫什(P．Kusch)以更高的分辨率，更強(qiáng)的分子射束和螺旋槽速度選擇器，測(cè)量了鉀和鉈蒸氣分子的速率分布.第21頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一三、麥克斯韋速率分布函數(shù)處于平衡狀態(tài)的理想氣體分子，其熱運(yùn)動(dòng)速度的分布服從麥克斯違速度分布定律。氣體分子熱運(yùn)動(dòng)速率介于υ-υ+dυ之間的幾率為式中F（υ）為速率υ（m/s）的連續(xù)函數(shù)，稱為速率分布函數(shù)。M0=M/NA,稱為一個(gè)氣體分子的質(zhì)量（kg）。

第22頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一四、三種代表速率利用速率分布函數(shù)，可以計(jì)算出反映分子熱運(yùn)動(dòng)強(qiáng)度的三種特征速率。最可幾速率vm

是在氣體分子所具有的各種不同熱運(yùn)動(dòng)速度中出現(xiàn)幾率最大的速度，即與F(v)最大值相對(duì)應(yīng)的v值；所有氣體分子熱運(yùn)動(dòng)速度的算術(shù)平均值叫算術(shù)平均速度v；把所有氣體分子的速度的平方加起來，然后被分子總數(shù)除，再開方就得到均方根速度v。它們的計(jì)算公式如下：第23頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一

1:1.13:1.23第24頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Section3TheThedistributionofthevelocitiesforgaseousmolecules1.Maxwell’sdistributionofthevelocities(1859)a.Definition:Thefractionalnumberofmoleculesinthevelocityrangebetweenvandv+dv,perunitofvelocityrange.b.TheexpressedformulaofMaxwell’sdistributionofthevelocities.第25頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Threemostimportantvelocities1.Themostprobablevelocity.2.Thearithmeticaveragevalueofthevelocities.3.Themeansquarevelocity.

Thatisallfortoday!第26頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一1.4氣體分子的自由程

一、氣體分子平均自由程氣體中一個(gè)分子與其它分子每連續(xù)二次碰撞之間所走過的路程稱為自由程.自由程有長有短，差異很大，但大量自由程的統(tǒng)計(jì)平均值卻是一定的，稱為平均自由程(m)。單一種類氣體分子的平均自由程為第27頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一二、離子或電子在氣體中的自由程λi和λe這里所說電子或離子的自由程，是指電子或離子在氣體中運(yùn)動(dòng)時(shí)與氣體分子連續(xù)二次碰撞間所走過的路程，而沒有考慮電子或離子本身之間的碰撞，所以電子和離子平均自由程計(jì)算式中出現(xiàn)的都是氣體分子的參數(shù)，而與電子或離子的空間密度無關(guān)。如果是含有k種成份的混合氣體，則第28頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一三、自由程長度分布律氣體分子的某一次自由程取值完全是隨機(jī)的，但大量自由程的長度分布卻服從一定的統(tǒng)計(jì)規(guī)律。氣體分子自由程大于一給定長度x的幾率為類似地可得出，電子或離子在氣體中運(yùn)動(dòng)的自由程大于一給定長度x的幾率為第29頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一利用這種分布規(guī)律，結(jié)合平均自由程計(jì)算公式，可以計(jì)算出做定向運(yùn)動(dòng)的粒子束流穿過空間氣體時(shí)的散失率，或根據(jù)所限定的散失率確定空間氣體所必須達(dá)到的真空度。例如：一臺(tái)離子束真空設(shè)備中，高能離子流由離子源射向25cm處的靶，若要求離子流與真空室內(nèi)殘余氣體分子碰撞的散失率小于5%，那么溫度為27℃的殘余氣體壓力應(yīng)為多少？(空氣的分子有效直徑б=3.72×10-10m)

根據(jù)題意，可知當(dāng)x=0.25m，要求Pi(λI>x)≥1%-5%，由式，解出

則λi≥0.25/(-In0.95)，即≥4.87m。再此結(jié)果代入式得≥4.87m；則要求殘余氣體壓力P≤1.38×10-23×300/(π×3.722×10-20×4.87)，即P≤1.95×10-3Pa。第30頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Glossaryfornextlecture(1)Viscousfreepath,molecularstate,Turbulentflow,throughput,criterionintermediateflow,outgassing,Evaporation&condensation,sorption,Solubility&permeation,desorption,Dilution,classification,calibration,Manolayer,incidencerate,dimension,第31頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Glossaryfornextlecture(2)Laminar,dimensionless,Conductanceofflow,assumption,Aperture,traverse,Moleculardensity,meanfreepath,Timetoformamanolayer,pressure,Molecularincidencerate(TheEnd)第32頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一1.5氣體在管道中的流動(dòng)當(dāng)真空管道兩端存在有壓力差時(shí)，氣體就會(huì)自動(dòng)地從高壓處向低壓處擴(kuò)散，便形成了氣體流動(dòng)。

任何真空系統(tǒng)都是由氣源(待抽容器)、系統(tǒng)構(gòu)件(管道閥門等)及抽氣裝置(真空泵)組成的，氣體從氣源經(jīng)過系統(tǒng)的構(gòu)件向抽氣口源源不斷地流動(dòng)，是動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)的普遍特點(diǎn)。

第33頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一真空技術(shù)中，氣體沿管道的流動(dòng)狀態(tài)可劃分為如下幾種基本形式：從大氣壓力下開始抽真空的初期，管道中氣體壓力和流速較高，氣體的慣性力在流動(dòng)中起主要作用，流動(dòng)呈不穩(wěn)定狀態(tài)，流線無規(guī)則，并不時(shí)有旋渦出現(xiàn)，這種流動(dòng)狀態(tài)稱為湍流(渦流，紊流)；隨著流速和氣壓的降低，在低真空區(qū)域內(nèi)，氣流由湍流變成規(guī)則的層流流動(dòng)，各部分具有不同速度的流動(dòng)層，流線平行于管軸，氣體的粘滯力在流動(dòng)中起主導(dǎo)作用，此時(shí)氣體分子的平均自由程λ仍遠(yuǎn)小于導(dǎo)管最小截面尺寸d，這種流態(tài)叫做粘滯流；當(dāng)氣體流動(dòng)進(jìn)入高真空范圍，分子平均自由程λ遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于管道最小尺寸d時(shí)，氣體分子與管壁之間的碰撞占居主要地位，分子靠熱運(yùn)動(dòng)自由地直線進(jìn)行，只發(fā)生與管壁的碰撞和熱反射而飛過管道，氣體流動(dòng)由各個(gè)分子的獨(dú)立運(yùn)動(dòng)疊加而成，這種流動(dòng)稱作分子流；發(fā)生在中真空區(qū)域內(nèi)，介于粘滯與分子流之間的流動(dòng)狀態(tài)叫做中間流或過渡流。第34頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一流動(dòng)狀態(tài)的判別TheReynold’sNumber:Re=VD/

Whereisthedensityofthegas;Vthevelocity;theviscosityandDthediameterofthetube.第35頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一

Re>2200 Turbulentflow

10Re<1200Viscousflow

(entirelylaminar)Re≤10Molecularflow第36頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一KnudsenFactor

(/d)Theviscousflowormolecularflowaredescribedbythevalueoftheknudsenfactorasfollows:/d≤5Ⅹ10-3

viscousflow/d≥1.5

Molecularflow1.5/d5x10-3

intermediateflow第37頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一1.6氣體通過小孔的流動(dòng)P1P2P1>P2Ifλ<<d湍流；Ifλ>>dQ=Q1-Q2=1/4VA(P1-P2)第38頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一1.7流導(dǎo)及流阻氣體流量的通用公式：Q=C(P1-P2)；C=Q/(P1-P2)C-----管道（孔眼）的流導(dǎo)，是單位壓差下的流量，升/秒；C取決管道尺寸，與流動(dòng)類型有關(guān)。第39頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一

流導(dǎo)是各種真空系統(tǒng)元件（管道、閥門、冷阱、孔口等）的主要技術(shù)指標(biāo)之一，直接反映該元件對(duì)氣體流動(dòng)的阻礙程度，是真空系統(tǒng)計(jì)算中需要首先計(jì)算的參數(shù)。元件的流導(dǎo)與所流過氣體的流動(dòng)狀態(tài)有關(guān)，氣體流動(dòng)為粘滯流時(shí)，流導(dǎo)值與元件的幾何結(jié)構(gòu)尺寸及流過氣體的平均壓力有關(guān)；為分子流時(shí)，流導(dǎo)僅與幾何結(jié)構(gòu)尺寸有關(guān)。第40頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一一、管道的流導(dǎo)ViscousC=182Pd4/LMolecularC=12.1d3/LIntermediateC=12.1d3(0.9+15dP)/L第41頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一二、孔眼的流導(dǎo)ViscousFlow20AMolecularFlow11.6ANote:Aistheareaofapertureincmcm第42頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一二、并聯(lián)與串聯(lián)Electricity:ICeVI=Ce(V1-V2)Gaseousflow:QCgPQ=Cg(P1-P2)并聯(lián)：C=C1+C2+C3……=∑Ci串聯(lián)：

R=R1+R2+R3……=∑Ri

（R為流阻）第43頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一真空技術(shù)基本方程把一個(gè)被抽容器的出口和一臺(tái)真空泵的入口，用總流導(dǎo)為C的真空管路聯(lián)接起來，若真空泵在其入口處的抽速為S，則該真空系統(tǒng)在被抽容器出口處所能產(chǎn)生的有效抽速Se為

此式習(xí)慣上稱為真空技術(shù)基本方程。從中可以看出，在被抽容器出口產(chǎn)生的有效抽速Se，比泵口抽速S和管路流導(dǎo)C都要??；若要獲得較大的Se，應(yīng)該合理地搭配S和C，單獨(dú)增大其中的一個(gè)，不能獲得理想的結(jié)果。第44頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一真空技術(shù)基本方程的推導(dǎo)真空室P1，SeCP2，S泵Q=P1Se=C（P1-P2）=P2S第45頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Section5

GasFlowatlowPressure1.Flowregimes

Thegasinavacuumsystemcanbeinaviscousstate,inamolecularstateorinastatewhichisintermediatebetweenthesetwo.

ViscousflowMolecularflowIntermediateflow第46頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Thedifferentflowingway(1)Theviscousstate:Themeanfreepathofthegasmoleculesisverysmallathighpressuresothattheflowofthegasislimitedbyitsviscosity.Themolecularsate:Atverylowpressurewherethemeanfreepathofthegaseousmoleculesismuchlargerthanthedimensionsofthevacuumenclosure.第47頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Thedifferentflowway(2)Theintermediatestate:Atlowpressurewherethemeanfreepathofthegaseousmoleculesissimilartothedimensionsofthevacuumenclosure,theflowofthegasisgovernedbyviscosityaswellasbymolecularphenomena.第48頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一TheReynold’sNumberTheReynold’snumberisadimensionlessquantityexpressedbythefollowingformula:

Re==VD/

Whereisthedensityofthegas;Vthevelocity;theviscosityandDthediameterofthetube.第49頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一TheReynold’snumber

Re>2200 Turbulentflow

10Re<1200Viscousflow

(entirelylaminar)Re≤10Molecularflow第50頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一TheCriterionThelimitbetweentheturbulentandlaminarflowisdefinedbythe

valueof

Reynold’snumber

while

thoseamongtheviscous,intermediateandmolecularflowaredescribedbythevalueofthe

Knudsenfactor.第51頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一KnudsenFactor

(/d)Theviscousflowormolecularflowaredescribedbythevalueoftheknudsenfactorasfollows:/d≤5Ⅹ10-3

viscousflow/d≥1.5

Molecularflow1.5/d5x10-3

intermediateflow第52頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一Section6

Theconductanceofflow㈠Thethroughputformula

Ifthefollowingassumptionisvalid:astableflowwhichmeansthenumberofmoleculescrossingthevariouscrosssectionisthesamethenwecanobtaintheformula

Q=C(P1-P2)

WhereQisthethroughput;Ctheconductance(P1-P2)thepressuredifference第53頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一㈡DefinitionofTheFlowConductance

TheFlowconductance:Theabilityofthetubeforgaseousflowwhichquantityisequalthethroughputataunitofpressuredifference.

C=Q/(P1-P2)

第54頁，共59頁，2023年，2月20日，星期一㈢Condu