GB/T 33523.604-2022產(chǎn)品幾何技術規(guī)范(GPS)表面結(jié)構區(qū)域法第604部分：非接觸(相干掃描干涉)式儀器的標稱特性

ICS1704020

CCSJ0.4.

中華人民共和國國家標準

GB/T33523604—2022/ISO25178-6042013

.:

產(chǎn)品幾何技術規(guī)范GPS

()

表面結(jié)構區(qū)域法

第604部分非接觸相干掃描干涉式

:()

儀器的標稱特性

GeometricalroductsecificationsGPS—SurfacetextureAreal—

pp():

Part604Nominalcharacteristicsofnon-contactcoherencescannin

:(g

interferometrinstruments

y)

ISO25178-6042013IDT

(:,)

2022-12-30發(fā)布2023-04-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T33523604—2022/ISO25178-6042013

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

與區(qū)域表面結(jié)構測量方法相關的術語和定義

3.1……………………1

與XY軸掃描系統(tǒng)相關的術語和定義

3.2,……………5

與光學系統(tǒng)有關的術語和定義

3.3……………………7

與工件光學特性有關的術語和定義

3.4………………8

相干掃描干涉測量顯微的專用術語和定義

3.5………9

影響量的描述

4……………12

總則

4.1…………………12

影響量

4.2………………12

附錄資料性相干掃描干涉顯微鏡的概述和組件

A()(CSI)…………14

附錄資料性相干掃描干涉工作原理

B()………………17

附錄資料性空間分辨力

C()……………24

附錄資料性表面形貌測量重復性評估過程示例

D()…………………28

附錄資料性與矩陣模型的關系

E()GPS……………29

參考文獻

……………………30

Ⅰ

GB/T33523604—2022/ISO25178-6042013

.:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結(jié)構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是產(chǎn)品幾何技術規(guī)范表面結(jié)構區(qū)域法的第部分

GB/T33523《(GPS)》604。GB/T33523

已經(jīng)發(fā)布了以下部分

:

第部分表面結(jié)構的表示法

———1:;

第部分術語定義及表面結(jié)構參數(shù)

———2:、;

第部分規(guī)范操作集

———3:;

第部分表面結(jié)構測量方法的分類

———6:;

第部分實物測量標準

———70:;

第部分軟件測量標準

———71:;

第部分文件格式

———72:XMLx3p;

第部分接觸觸針式儀器的標稱特性

———601:();

第部分非接觸共聚焦色差探針式儀器的標稱特性

———602:();

第部分非接觸相移干涉顯微式儀器的標稱特性

———603:();

第部分非接觸相干掃描干涉式儀器的標稱特性

———604:();

第部分非接觸點自動對焦探針式儀器的標稱特性

———605:();

第部分非接觸變焦式儀器的標稱特性

———606:();

第部分接觸觸針式儀器的校準與測量標準

———701:()。

本文件等同采用產(chǎn)品幾何技術規(guī)范表面結(jié)構區(qū)域法第部

ISO25178-604:2013《(GPS)604

分非接觸相干掃描干涉式儀器的標稱特性

:()》。

本文件增加了規(guī)范性引用文件一章

“”。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國產(chǎn)品幾何技術規(guī)范標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC240)。

本文件起草單位清華大學天津大學廈門市計量檢定測試院江蘇銳精光電研究院有限公司中

:、、、、

機生產(chǎn)力促進中心有限公司中國計量大學北京時代之峰科技有限公司棗莊有規(guī)信息科技有限公司

、、、、

中機研標準技術研究院北京有限公司

()。

本文件主要起草人尉昊赟郭彤鄭偉峰陳剛孔明郝建國張宗政朱悅

:、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T33523604—2022/ISO25178-6042013

.:

引言

隨著國家產(chǎn)品質(zhì)量提升計劃的實施對產(chǎn)品設計制造測量和檢驗過程中使用的統(tǒng)一規(guī)范或原則

,、、

的需求越來越迫切原有產(chǎn)品幾何技術規(guī)范中表面結(jié)構的表示方法及相關標準已不能滿足產(chǎn)品制造過

。

程中的表面質(zhì)量控制要求

。

產(chǎn)品幾何技術規(guī)范表面結(jié)構區(qū)域法基于新一代產(chǎn)品幾何規(guī)范體

GB/T33523《(GPS)》GPS

系通過數(shù)字化測量技術軟件分析技術及計量評定等手段構建一套全新的三維表面結(jié)構測量與分析

,、,

的推薦性國家標準在提出表面結(jié)構表示法表面結(jié)構參數(shù)及規(guī)范操作集的基礎上分析

。GB/T33523、,

了表面結(jié)構測量的方法給出了使用的測量技術及儀器的標稱特性特別是在涵蓋接觸

,。,GB/T33523

式測量儀器的同時重點引入了在高精度測量應用中具有重要價值但缺乏標準支撐的多種非接觸式測

,

量儀器還規(guī)范了實物測量和軟件測量標準給出了軟件文件標準和表面結(jié)構測量的計

。GB/T33523,

量特性實現(xiàn)了從二維輪廓測量到三維表面結(jié)構測量的跨越為產(chǎn)品幾何規(guī)范體系

。GB/T33523,GPS

提供了計量測試支撐

。

擬由個部分構成

GB/T3352314。

第部分表面結(jié)構的表示法目的在于規(guī)定產(chǎn)品技術文件例如圖紙規(guī)范合同和報告中

———1:。(、、)

利用圖形符號表示區(qū)域表面結(jié)構的規(guī)則

。

第部分術語定義及表面結(jié)構參數(shù)目的在于規(guī)定用區(qū)域法評定表面結(jié)構的術語定義和

———2:、。、

參數(shù)

。

第部分規(guī)范操作集目的在于規(guī)定適用于區(qū)域法評定表面結(jié)構尺度限定表面的完整規(guī)

———3:。()

范操作集

。

第部分表面結(jié)構測量方法的分類目的在于規(guī)定主要用于表面結(jié)構測量方法的分類體系

———6:。,

定義三類方法描述三類方法之間的關系并對具體方法做簡要說明

,,。

第部分實物測量標準目的在于規(guī)定用于定期驗證和調(diào)整區(qū)域法表面結(jié)構測量儀器的實

———70:。

物測量標準的特性

。

第部分軟件測量標準目的在于規(guī)定用于測量儀器軟件校驗的型和型軟件測量標

———71:。S1S2

準標準具的術語定義

()。

第部分文件格式目的在于規(guī)定規(guī)定用于存儲和交換形貌及輪廓數(shù)據(jù)的

———72:XMLx3p。XML

文件格式

x3p。

第部分接觸觸針式儀器的標稱特性目的在于規(guī)定表面結(jié)構區(qū)域法接觸觸針式儀

———601:()。()

器的標稱特性

。

第部分非接觸共聚焦色差探針式儀器的標稱特性目的在于規(guī)定使用基于白光軸向

———602:()。

色散特性的共聚焦色差探針測量表面結(jié)構的非接觸式儀器的設計與計量特性

。

第部分非接觸相移干涉顯微式儀器的標稱特性目的在于規(guī)定相移干涉法輪廓

———603:()。(PSI)

和區(qū)域表面結(jié)構測量顯微鏡的計量特性

。

第部分非接觸相干掃描干涉式儀器的標稱特性目的在于規(guī)定用于表面高度三維映

———604:()。

射的相干掃描干涉測量系統(tǒng)的計量特性

(CSI)。

第部分非接觸點自動對焦探針式儀器的標稱特性目的在于規(guī)定使用點自動對焦探

———605:()。

針測量表面結(jié)構的非接觸式儀器的計量特性

。

第部分非接觸變焦式儀器的標稱特性目的在于規(guī)定使用變焦傳感器測量表面

———606:()。(FV)

結(jié)構的非接觸式儀器的設計與計量特性

。

第部分接觸觸針式儀器的校準與測量標準目的在于規(guī)定區(qū)域法表面結(jié)構接觸觸

———701:()。(

針式儀器用作測量標準的實物量具的特性殘余誤差的評定方法校準驗收和周期檢定的檢

),,、

測方法

。

Ⅳ

GB/T33523604—2022/ISO25178-6042013

.:

產(chǎn)品幾何技術規(guī)范GPS

()

表面結(jié)構區(qū)域法

第604部分非接觸相干掃描干涉式

:()

儀器的標稱特性

1范圍

本文件規(guī)定了用于表面高度三維映射的相干掃描干涉