新型顯示器件檢測設備產(chǎn)業(yè)市場前瞻

新型顯示器件檢測設備產(chǎn)業(yè)市場前瞻量測設備細分市場量測設備細分品類較多。根據(jù)數(shù)據(jù)，2020年半導體檢測和量測設備市場各類設備占比中，檢測設備包括無圖形晶圓缺陷檢測設備、圖形晶圓缺陷檢測設備（可細分為微米級和納米級）、掩膜檢測設備等；量測設備包括三維形貌量測設備、薄膜膜厚量測設備（晶圓介質(zhì)薄膜量測設備）、套刻精度量測設備、關鍵尺寸量測設備、掩膜量測設備等。檢測設備行業(yè)發(fā)展態(tài)勢（一）新型顯示器件檢測設備行業(yè)發(fā)展態(tài)勢我國新型顯示器件檢測設備市場主要企業(yè)包括顯示器件產(chǎn)業(yè)起步較早且發(fā)展成熟的韓國企業(yè)、日本企業(yè)、中國臺灣地區(qū)企業(yè)以及迅速發(fā)展的中國大陸地區(qū)企業(yè)。新型顯示器件Array制程的檢測系統(tǒng)市場仍然由韓國HBTechnology、韓國YangElectronic、韓國DIT、以色列Orbotech、日本VTechnology等境外供應商占據(jù)主要份額。在Cell制程和Module制程，韓國YWDSP、韓國ANI等境外企業(yè)曾是新型顯示器件廠商主要設備供應商，近年來以精測電子、華興源創(chuàng)、凌云光等為代表的中國大陸新型顯示器件檢測系統(tǒng)生產(chǎn)企業(yè)憑借技術自主可控取得快速發(fā)展，下游行業(yè)的認可度逐漸提升，市場影響力不斷增強，在國內(nèi)市場逐步取得優(yōu)勢地位。根據(jù)CINNOResearch報告，2021年中國大陸AMOLED行業(yè)Array制程檢測設備廠商銷售額前三位分別為HBTechnology、YangElectronic和DIT，國產(chǎn)化率約為8%；2021年中國大陸AMOLED行業(yè)Cell/Module制程檢測設備廠商的銷售額前三位分別為華興源創(chuàng)、精測電子和精智達，國產(chǎn)化率已達86%。（二）半導體測試設備行業(yè)發(fā)展態(tài)勢全球半導體測試設備行業(yè)呈現(xiàn)高度集中的特點。美國科天占據(jù)前道量測設備市場壟斷地位，而在后道測試設備市場占有率較高的領先生產(chǎn)商為泰瑞達、愛德萬和科休。根據(jù)SEMI統(tǒng)計，愛德萬、泰瑞達和科休在半導體測試設備市場基于長期積累，仍占據(jù)主流，全球份額合計超過90%。近年來，國內(nèi)廠商在后道檢測設備領域成果逐步體現(xiàn)，長川科技、華峰測控等國內(nèi)廠商率先突破功率模擬類測試機、分選機等并形成市場優(yōu)勢地位，但全球市場占比有限，后續(xù)空間依然較大。此外，由于技術、工藝的相通性，精測電子、華興源創(chuàng)等國內(nèi)新型顯示器件檢測設備廠商也逐漸向半導體測試設備領域延伸發(fā)展。全球檢測和量測設備現(xiàn)狀全球半導體檢測和量測設備市場規(guī)模來看，隨著半導體下游消費電子和PC等需求2020-2021年市場回暖尤其是2021年明顯增長，量檢測設備全球市場空間持續(xù)擴張。根據(jù)數(shù)據(jù)，全球市場2020年半導體檢測與量測設備市場規(guī)模為76．5億美元，2016-2020年CAGR12．6%，2021年整體半導體產(chǎn)業(yè)大增，估計檢測和量測設備規(guī)模提升明顯。量測設備技術結構量檢測設備分為光學和電子束技術路線，其中光學占主流。2020年全球半導體檢測和量測設備市場中，光學、電子束占比分別為75．2%、18．7%。由于下游廠商對量產(chǎn)高速的需求，光學檢測技術設備仍然占據(jù)了主要的市場份額。分類狀況從技術原理上看，檢測和量測包括光學檢測技術、電子束檢測技術和X光量測技術等。目前，在所有半導體檢測和量測設備中，應用光學檢測技術的設備占多數(shù)。光學檢測技術基于光學原理，通過對光信號進行計算分析以獲得檢測結果。在生產(chǎn)過程中，晶圓表面雜質(zhì)顆粒、圖案缺陷等問題的檢測和晶圓薄膜厚度、關鍵尺寸、套刻精度、表面形貌的測量均需用到光學檢測技術。檢測和量測設備競爭格局全球半導體檢測和量測設備市場呈現(xiàn)國外設備巨頭壟斷格局。根據(jù)數(shù)據(jù)，全球市場中，2020年科磊半導體市占率超過50%，應用材料、日立、雷泰光電、創(chuàng)新科技等前五大公司合計市場份額占比超過了82．4%，市場集中度較高。中國市場中，科磊半導體達到58．4%，呈一家獨大格局，前五大公司合計市場份額占比達到78．1%。本土企業(yè)市場份額較低，其中中科飛測產(chǎn)品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測設備系列、圖形晶圓缺陷檢測設備系列、三維形貌測量設備系列和薄膜膜厚量測設備系列等產(chǎn)品，已應用于國內(nèi)28nm及以上制程的集成電路制造產(chǎn)線。上海睿勵致力于集成電路生產(chǎn)前道工藝檢測領域設備研發(fā)和生產(chǎn)，產(chǎn)品主要為光學膜厚測量設備和光學缺陷檢測設備，以及硅片厚度及翹曲測量設備等。上海精測半導體前道檢測設備領域，以橢圓偏振技術為核心開發(fā)了適用于半導體工業(yè)應用的膜厚測量以及光學關鍵尺寸量測系統(tǒng)的產(chǎn)品，目前中科飛測、精測電子、上海睿勵2021年在國內(nèi)檢測量測設備市場份額僅1．9%、0．7%、0．2%。KLAInstruments和TencorInstruments相繼成立于1976年和1977年，并于1997年合并成立科磊半導體，總部位于美國硅谷。該公司聚焦于檢測設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，其產(chǎn)品線涵蓋了質(zhì)量控制全系列設備。根據(jù)科磊半導體2022年年報披露顯示，其檢測和量測設備實現(xiàn)營業(yè)收入79．25億美元，占比企業(yè)整體營收86%左右?？堤乜萍汲闪⒂?987牛，總部位寸以色列米格達勒埃姆克。該公司是半導體行業(yè)高端檢測和量測設備的制造商，其產(chǎn)品應用于前道、先進封裝等領域，為眾多行業(yè)內(nèi)領先的全球IDM、OSAT和代工廠提供服務。根據(jù)康特科技2021年年報披露顯示，其全年實現(xiàn)營業(yè)收入2．70億美元，其中檢測和量測設備營收2．59億美元，占比96．2%。阿斯麥（荷蘭）量測業(yè)務優(yōu)勢領域在套刻誤差測量、電子束檢測，應用材料（美國）優(yōu)勢領域也在電子束檢測，新星測量儀器（以色列）優(yōu)勢領域在膜厚檢測設備，日立（日本）則主要是CD-SEM（關鍵尺寸量測-電子束）處于行業(yè)領先地位，雷泰光電（日本）則聚焦EUV掩模版檢測，創(chuàng)新科技（美國）優(yōu)勢在于關鍵尺寸測量和缺陷檢測。半導體測試設備行業(yè)發(fā)展趨勢（一）半導體測試設備市場需求持續(xù)旺盛半導體行業(yè)技術變革持續(xù)帶動行業(yè)增長。以半導體存儲器件為例，其將在5G、AI及汽車智能化的驅動下步入下一輪成長周期。根據(jù)IDC統(tǒng)計，DRAM和DFlash一直占據(jù)半導體存儲器件市場的主導地位，2020年占比分別超過50%和40%。市場廣闊需求有利于半導體測試設備企業(yè)的發(fā)展壯大。（二）半導體測試設備技術要求愈來愈高隨著半導體技術不斷發(fā)展，芯片線寬尺寸不斷減小，制造工序逐漸復雜，對半導體測試設備在測試功能模塊、測試精度、響應速度、應用程序定制化、平臺可延展性以及測試數(shù)據(jù)的存儲、采集和分析等方面提出愈來愈高的要求。（三）半導體測試設備國產(chǎn)化水平加速提升隨著我國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展階段逐步走向成熟，在國際貿(mào)易爭端頻起的背景下具備自主可控和產(chǎn)業(yè)鏈安全等特點的國產(chǎn)設備將逐漸成為各大半導體廠商的首選，測試設備國產(chǎn)化水平加速提升，持續(xù)加強國內(nèi)半導體制造業(yè)的支撐效力。半導體產(chǎn)業(yè)概況半導體器件是利用半導體材料特殊電特性來完成特定功能的電子器件，按照國際通行的半導體器件產(chǎn)品標準，半導體器件可以分為集成電路（IC）和分立器件（O-S-D）。根據(jù)WSC統(tǒng)計，2020年全球半導體器件銷售市場規(guī)模為4，404億美元，同比增長7%