半導(dǎo)體器件物理

半導(dǎo)體器件物理第一頁，共十二頁，2022年，8月28日1參考書：《微電子器件物理基礎(chǔ)》

1、施敏[美]著，《半導(dǎo)體器件物理與工藝》，蘇州大學出版社，2002年。2、孟慶巨、劉海波、孟慶輝編著，《半導(dǎo)體器件物理》，科學出版社，2005年。3、劉樹林、張華曹、柴常春編著，《半導(dǎo)體器件物理》，電子工業(yè)出版社，2006年。4、半導(dǎo)體物理與器件(美)D.A.Neamen趙毅強等譯電子工業(yè)出版社5、半導(dǎo)體制造技術(shù) MichaelQuirketal.電子工業(yè)出版社6、半導(dǎo)體器件基礎(chǔ)(美)B.L.Anderson,R.L.Anderson,鄧寧等譯清華大學出版社7、微電子學概論張興北京大學出版社8、固體物理 黃昆 高等教育出版社9、HandbookofSemiconductorFabricationTechnology

NewYork:MarcelDekker,c200010、半導(dǎo)體中的雜質(zhì)深能級 A.G.米爾恩斯 科學出版社11、以及其他的papers、conferences、handouts第二頁，共十二頁，2022年，8月28日2微電子發(fā)展史上的幾個里程碑1962年Wanlass、C.T.Sah——CMOS技術(shù)現(xiàn)在集成電路產(chǎn)業(yè)中占95%以上1967年Kahng、S.Sze——非揮發(fā)存儲器1968年Dennard——單晶體管DRAM1971年Intel公司微處理器——計算機的心臟目前全世界微機總量約6億臺，在美國每年由計算機完成的工作量超過4000億人年工作量。美國歐特泰克公司認為：微處理器、寬頻道連接和智能軟件將是21世紀改變?nèi)祟惿鐣徒?jīng)濟的三大技術(shù)創(chuàng)新。第三頁，共十二頁，2022年，8月28日3不斷提高產(chǎn)品的性能價格比是微電子技術(shù)發(fā)展的動力集成電路芯片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸縮小倍，這就是摩爾定律微電子發(fā)展的規(guī)律第四頁，共十二頁，2022年，8月28日4集成電路技術(shù)是近50年來發(fā)展最快的技術(shù)微電子技術(shù)的進步按此比率下降，小汽車價格不到1美分第五頁，共十二頁，2022年，8月28日55000400030002000100001000200030004000石器時代~35000年銅器時代~1800年鐵器時代~3200年硅器時代XX年？3000BC1200BC1968第六頁，共十二頁，2022年，8月28日6我國年微電子發(fā)展展望上海IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略目標

到2010年總投資量600億美元，建成20~40條生產(chǎn)線，200個設(shè)計公司及20家封裝/測試廠帶動上海700億美元相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，成為第一大產(chǎn)業(yè)第七頁，共十二頁，2022年，8月28日7我國年微電子發(fā)展展望上海中芯國際：14.76億美元，8英寸，0.25微米，4.2萬片/月上海宏力16.37億美元，8英寸，0.25微米，4萬片/月北京華夏半導(dǎo)體13億美元，8英寸，0.25微米天津MotorolaMOS1714.75億美元，8英寸，0.25微米，6000片/周第八頁，共十二頁，2022年，8月28日8新的存儲器NOR(NotORgate)FlashMemory閃存NAND(NotANDgate)FlashMemory閃存：韓國三星：2005年9月突破50nm工藝技術(shù)，制造出NAND閃存卡(16G，164億個晶體管)，有可能取代硬盤，(納電子學)；中國朗科：0.18m(180nm)工藝技術(shù)，優(yōu)芯II號優(yōu)盤，(微電子學)。從180nm→90nm→50nm工藝技術(shù)，我們在技術(shù)上與別人比差兩代。

2006年集成電路線寬已經(jīng)突破45nm。第九頁，共十二頁，2022年，8月28日92005年10月10日

中芯國際

(SMIC)和光刻印刷增強技術(shù)系統(tǒng)供應(yīng)商朗明科技公司(LuminescentTechnologiesInc.)近日共同宣布將朗明科技的反向光刻印刷技術(shù)(InverseLithographyTechnology)應(yīng)用在中芯國際的65納米及以下技術(shù)工藝的生產(chǎn)中。雙方共同致力于將反向光刻印刷技術(shù)應(yīng)用于最先進的集成電路設(shè)計中。兩家公司的合作始于將朗明科技所研發(fā)的“探索者”(ExplorerTM)光刻開發(fā)平臺安裝在中芯國際的制造廠中。

第十頁，共十二頁，2022年，8月28日10廣州也擁有自己的“芯”

“十五”期間，廣州進一步提升了區(qū)域科技中心城市地位。2004年，廣州科技領(lǐng)域發(fā)生了一件大事：廣州擁有了自己的“芯”。由中國南科集團股份有限公司投資的廣州第一條芯片生產(chǎn)線正式動工，這是華南地區(qū)第一條芯片生產(chǎn)線，近年來，廣州有從事集成電路生產(chǎn)和設(shè)計的企業(yè)及相關(guān)科研機構(gòu)50多家。

天河軟件園以40%增速前進。

第十一頁，共十二頁，2022年，8月28日11從微電子學到納電子學在過去的25年，晶體管的尺度每2至3年減少30%，而功能增加1倍。2006年，晶體管的柵寬為60nm；2008年初，45nm的CPU已經(jīng)商業(yè)化；