標準解讀
《YS/T 1061-2015 改良西門子法多晶硅用硅芯》是一項由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出并歸口的行業(yè)標準,主要針對采用改良西門子法制備多晶硅過程中所使用的硅芯材料進行了詳細規(guī)定。該標準適用于作為生長多晶硅棒載體的硅芯產(chǎn)品。
根據(jù)標準內(nèi)容,硅芯的質(zhì)量要求包括但不限于外觀、尺寸精度以及物理性能等方面。例如,在外觀上,硅芯表面應光滑無裂紋;尺寸方面,則需滿足特定直徑與長度的要求,以確保其在多晶硅沉積過程中的穩(wěn)定性和一致性;此外,還對硅芯的電阻率等電學性質(zhì)做出了限定,保證最終制得的多晶硅品質(zhì)優(yōu)良。
對于檢測方法,《YS/T 1061-2015》也給出了明確指導,比如使用何種儀器設備來測量硅芯的各項指標,并且規(guī)定了相應的測試條件和步驟。這些檢測手段旨在為生產(chǎn)企業(yè)提供科學依據(jù),幫助其準確評估硅芯是否符合標準要求。
此外,標準中還涉及到了包裝、標志、運輸及儲存等方面的內(nèi)容,目的是為了確保從生產(chǎn)到用戶手中的整個流程中,硅芯能夠保持良好狀態(tài),不受外界因素影響而損壞或變質(zhì)。
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....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2015-04-30 頒布
- 2015-10-01 實施
文檔簡介
ICS29045
H82.
中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準
YS/T1061—2015
改良西門子法多晶硅用硅芯
Siliconcoreforpolysiliconbyimprovedsiemensmethod
2015-04-30發(fā)布2015-10-01實施
中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布
中華人民共和國有色金屬
行業(yè)標準
改良西門子法多晶硅用硅芯
YS/T1061—2015
*
中國標準出版社出版發(fā)行
北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號
2(100029)
北京市西城區(qū)三里河北街號
16(100045)
網(wǎng)址
:
服務熱線
:400-168-0010
年月第一版
201511
*
書號
:155066·2-29172
版權(quán)專有侵權(quán)必究
YS/T1061—2015
前言
本標準按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會提出并歸口
(SAC/TC243)。
本標準起草單位江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司河南協(xié)鑫光伏科技有限公司無錫中硅新材料
:、、
股份有限公司昆明冶研新材料股份有限公司
、。
本標準主要起草人李軍正胡偉張曉東耿全榮劉丹陳晶亢若谷趙建為
:、、、、、、、。
Ⅰ
YS/T1061—2015
改良西門子法多晶硅用硅芯
1范圍
本標準規(guī)定了改良西門子法生產(chǎn)多晶硅用硅芯的要求檢驗方法檢驗規(guī)則以及標志包裝運輸
、、、、、
貯存質(zhì)量證明書及訂貨單或合同內(nèi)容等
、()。
本標準適用于以多晶硅為原料通過直拉法生產(chǎn)硅棒再經(jīng)過線切割加工或采用基座法拉制的
,(CZ)
硅芯
。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
非本征半導體材料導電類型測試方法
GB/T1550
硅單晶電阻率測定方法
GB/T1551
硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法
GB/T1558
計數(shù)抽樣檢驗程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃
GB/T2828.11:(AQL)
直線度誤差檢測
GB/T11336
半導體材料術(shù)語
GB/T14264
酸浸取電感耦合等離子質(zhì)譜儀測定多晶硅表面金屬雜質(zhì)
GB/T24582-
光伏電池用硅材料表面金屬雜質(zhì)含量的電感耦合等離子體質(zhì)譜測量方法
GB/T29849
3術(shù)語和定義
和界定的術(shù)語和定義適用于本文件
GB/T11336GB/T14264。
4要求
41分類
.
411硅芯按截面形狀分為圓形狀方形狀菱形狀
..、、。
412硅芯按純度等級分為太陽能級多晶硅用硅芯和電子級多晶硅用硅芯
..。
42尺寸及外形
.
硅芯的尺寸及外形應符合表的規(guī)定
1。
表1尺寸及外形
項目要求
直徑圓形狀?
()/mm(6~12)±1
邊長方形菱形狀
(、)/mm
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