JJF 1913-2021激光干涉比長(zhǎng)儀校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1913—2021

激光干涉比長(zhǎng)儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforLaserInterferometricComparators

2021-07-28發(fā)布2022-01-28實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1913—2021

激光干涉比長(zhǎng)儀校準(zhǔn)規(guī)范??

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CalibrationSpecificationfor??

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LaserInterferometricComparators

歸口單位全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

起草單位中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

:

中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)

研究所

本規(guī)范由全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1913—2021

本規(guī)范起草人

:

孫雙花中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

趙新麗中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所

()

沈雪萍中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

高宏堂中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

JJF1913—2021

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語(yǔ)和定義

3……………(1)

概述

4……………………(1)

計(jì)量特性

5………………(2)

工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)度

5.1…………………(2)

瞄準(zhǔn)重復(fù)性

5.2…………(2)

測(cè)量重復(fù)性

5.3…………(2)

影像測(cè)頭示值誤差

5.4…………………(2)

示值誤差

5.5……………(2)

校準(zhǔn)條件

6………………(2)

通用校準(zhǔn)條件

6.1………………………(2)

環(huán)境條件

6.2……………(2)

校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器

6.3………………………(2)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

7…………………(3)

工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)度

7.1…………………(3)

瞄準(zhǔn)重復(fù)性

7.2…………(3)

測(cè)量重復(fù)性

7.3…………(4)

影像測(cè)頭示值誤差

7.4…………………(4)

示值誤差

7.5……………(5)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(5)

復(fù)校時(shí)間間隔

9…………(5)

附錄激光干涉比長(zhǎng)儀示值誤差的測(cè)量不確定度評(píng)定示例

A………(6)

附錄校準(zhǔn)證書(shū)內(nèi)容及內(nèi)頁(yè)格式

B……………………(8)

Ⅰ

JJF1913—2021

引言

國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義和

JJF1071《》、JJF1001《》

測(cè)量不確定度評(píng)定與表示共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列

JJF1059.1《》

規(guī)范

。

本規(guī)范代替激光干涉比長(zhǎng)儀與相比除編輯性

JJG331—1994《》。JJG331—1994,

修改外主要技術(shù)變化如下

,:

用激光干涉比長(zhǎng)儀的示值誤差代替比長(zhǎng)儀的準(zhǔn)確度

———;

修改了測(cè)量重復(fù)性校準(zhǔn)及其數(shù)據(jù)處理方法

———;

增加了瞄準(zhǔn)重復(fù)性及其校準(zhǔn)方法

———;

刪除了激光平行光束的均勻性干涉條紋的對(duì)比度及輸出信號(hào)的質(zhì)量測(cè)量光

———、、

束與運(yùn)動(dòng)方向的一致性工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)速度均勻性等檢定項(xiàng)目

、;

增加了對(duì)影像測(cè)頭瞄準(zhǔn)系統(tǒng)的相關(guān)校準(zhǔn)項(xiàng)目

———;

增加了附錄激光干涉比長(zhǎng)儀示值誤差的測(cè)量不確定度評(píng)定示例

———A。

本規(guī)范歷次版本發(fā)布情況為

:

———JJG331—1994。

———JJG331—1983。

Ⅱ

JJF1913—2021

激光干涉比長(zhǎng)儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于測(cè)量范圍為的激光干涉比長(zhǎng)儀的校準(zhǔn)

(0~1000)mm。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

高等別線(xiàn)紋尺

JJG73—2005

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義

JJF1001—2011

測(cè)量不確定度評(píng)定與表示

JJF1059.1

測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定

JJF1094—2002

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本規(guī)范

。

最小線(xiàn)紋測(cè)量間隔

3.1minimumlinemeasurementinterval

激光干涉比長(zhǎng)儀能夠有效測(cè)量的線(xiàn)紋尺最小刻線(xiàn)間隔

。

4概述

激光干涉比長(zhǎng)儀是以激光波長(zhǎng)為測(cè)長(zhǎng)基準(zhǔn)直接測(cè)量線(xiàn)紋尺線(xiàn)性位移傳感器激

,、