標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 37385-2019《硅中氯離子含量的測(cè)定 離子色譜法》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，旨在提供一種使用離子色譜技術(shù)來(lái)測(cè)定硅材料中氯離子含量的方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于電子級(jí)多晶硅、單晶硅等硅基材料中微量到痕量級(jí)別的氯離子濃度分析。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，首先需要對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理。通常情況下，會(huì)將硅樣品溶解于適當(dāng)?shù)娜軇┲校ㄈ鐨浞崤c硝酸混合溶液），以確保其中可能存在的氯離子能夠完全釋放進(jìn)入溶液。接下來(lái)是通過(guò)過(guò)濾或離心的方式去除不溶性殘留物，得到澄清透明的測(cè)試液。

然后，采用離子色譜儀作為主要檢測(cè)工具，利用其高效分離不同種類(lèi)陰離子的能力，特別是對(duì)于Cl-這類(lèi)常見(jiàn)無(wú)機(jī)陰離子具有非常好的選擇性和靈敏度。在實(shí)際操作過(guò)程中，需按照儀器說(shuō)明書(shū)設(shè)置合適的運(yùn)行條件，包括流動(dòng)相的選擇與配制、柱溫控制以及檢測(cè)器參數(shù)調(diào)整等，以保證獲得準(zhǔn)確可靠的分析結(jié)果。

此外，為了保證數(shù)據(jù)的有效性，標(biāo)準(zhǔn)還規(guī)定了質(zhì)量控制措施，比如定期校準(zhǔn)設(shè)備、使用已知濃度的標(biāo)準(zhǔn)溶液進(jìn)行方法驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)，并且要求每批次樣品分析時(shí)都應(yīng)包含空白對(duì)照和平行樣測(cè)試，以此來(lái)評(píng)估方法的精密度和準(zhǔn)確性。

最后，根據(jù)實(shí)驗(yàn)測(cè)得的數(shù)據(jù)計(jì)算出樣品中的氯離子含量，并將其報(bào)告為單位質(zhì)量硅材料中含有多少微克(μg)或者毫克(mg)的氯離子。整個(gè)過(guò)程強(qiáng)調(diào)了科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膽B(tài)度以及對(duì)細(xì)節(jié)的關(guān)注，以確保最終結(jié)果的可靠性。


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....

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  • 2019-03-25 頒布
  • 2020-02-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS77040

H17.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T37385—2019

硅中氯離子含量的測(cè)定離子色譜法

Testmethodforchloridecontentofsilicon—Ionchromatographymethod

2019-03-25發(fā)布2020-02-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T37385—2019

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)與全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司新特能源股份有限公司亞洲硅業(yè)青海有限

:、、()

公司新疆協(xié)鑫新能源材料科技有限公司蘇州漢譜埃文材料科技有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人王桃霞劉逸楓劉曉霞劉源君耿全榮梁博松魯文鋒胡議允賈芬

:、、、、、、、、、

張佳偉陳飛劉國(guó)霞邱艷梅宗冰李素青

、、、、、。

Ⅰ

GB/T37385—2019

硅中氯離子含量的測(cè)定離子色譜法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅中氯離子含量的離子色譜測(cè)定方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)定棒狀塊狀顆粒狀和片狀硅中氯離子含量的測(cè)定測(cè)定范圍為至硅

、、。1.0μg/g

中氯離子的最大固溶度

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

固體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6679

分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法

GB/T6682—2008

3方法原理

將樣品放置在高溫管式爐中進(jìn)行加熱樣品熔化后其中的氯元素以氯離子的形式釋放出來(lái)使用裝

,,

有水的鼓泡吸收瓶進(jìn)行吸收后用離子色譜儀測(cè)定吸收液中的氯離子含量

,。

4干擾因素

41高溫管式爐中樣品管樣品容器的材質(zhì)純度會(huì)影響測(cè)試結(jié)果如果純度不夠高溫下樣品管樣品

.、,,、

容器中的雜質(zhì)會(huì)揮發(fā)出來(lái)

。

42高溫管式爐中樣品管樣品容器應(yīng)保持潔凈使用前應(yīng)進(jìn)行充分煅燒確保樣品空白穩(wěn)定后再進(jìn)行

.、,,

樣品的分析

。

43高溫管式爐需設(shè)置冷卻系統(tǒng)保證樣品管管線密封良好

.,。

44樣品的煅燒過(guò)程需在氬氣氛圍下進(jìn)行樣品冷卻至室溫后才能停止氬氣確保樣品不被氧化

.,,。

45氬氣的純度和流速會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果產(chǎn)生一定影響氬氣的純度不夠可能導(dǎo)致樣品被氧化氬氣流速

.。,

過(guò)小樣品容器中的氯離子不能被充分帶走氬氣流速過(guò)大可能引起氯離子不能被充分吸收

,。

5試劑和材料

51水除非另有說(shuō)明本測(cè)試方法中的水應(yīng)符合中一級(jí)水的要求

.:,GB/T6682—2008。

52氯離子標(biāo)準(zhǔn)溶液濃度為

.:1000μg/mL。

53氬氣氬氣的體

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