GB/T 37385-2019硅中氯離子含量的測定離子色譜法

ICS77040

H17.

中華人民共和國國家標準

GB/T37385—2019

硅中氯離子含量的測定離子色譜法

Testmethodforchloridecontentofsilicon—Ionchromatographymethod

2019-03-25發(fā)布2020-02-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T37385—2019

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分技術委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司新特能源股份有限公司亞洲硅業(yè)青海有限

:、、()

公司新疆協(xié)鑫新能源材料科技有限公司蘇州漢譜埃文材料科技有限公司有色金屬技術經濟研究院

、、、。

本標準主要起草人王桃霞劉逸楓劉曉霞劉源君耿全榮梁博松魯文鋒胡議允賈芬

:、、、、、、、、、

張佳偉陳飛劉國霞邱艷梅宗冰李素青

、、、、、。

Ⅰ

GB/T37385—2019

硅中氯離子含量的測定離子色譜法

1范圍

本標準規(guī)定了硅中氯離子含量的離子色譜測定方法

。

本標準適用于測定棒狀塊狀顆粒狀和片狀硅中氯離子含量的測定測定范圍為至硅

、、。1.0μg/g

中氯離子的最大固溶度

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

固體化工產品采樣通則

GB/T6679

分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法

GB/T6682—2008

3方法原理

將樣品放置在高溫管式爐中進行加熱樣品熔化后其中的氯元素以氯離子的形式釋放出來使用裝

,,

有水的鼓泡吸收瓶進行吸收后用離子色譜儀測定吸收液中的氯離子含量

,。

4干擾因素

41高溫管式爐中樣品管樣品容器的材質純度會影響測試結果如果純度不夠高溫下樣品管樣品

.、,,、

容器中的雜質會揮發(fā)出來

。

42高溫管式爐中樣品管樣品容器應保持潔凈使用前應進行充分煅燒確保樣品空白穩(wěn)定后再進行

.、,,

樣品的分析

。

43高溫管式爐需設置冷卻系統(tǒng)保證樣品管管線密封良好

.,。

44樣品的煅燒過程需在氬氣氛圍下進行樣品冷卻至室溫后才能停止氬氣確保樣品不被氧化

.,,。

45氬氣的純度和流速會對測試結果產生一定影響氬氣的純度不夠可能導致樣品被氧化氬氣流速

.。,

過小樣品容器中的氯離子不能被充分帶走氬氣流速過大可能引起氯離子不能被充分吸收

,。

5試劑和材料

51水除非另有說明本測試方法中的水應符合中一級水的要求

.:,GB/T6682—2008。

52氯離子標準溶液濃度為

.:1000μg/mL。

53氬氣氬氣的體