標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 34898-2017 微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，主要針對MEMS（微機電系統(tǒng)）中的諧振敏感元件，在其非線性振動特性方面提供了詳細的測試指導(dǎo)。該標(biāo)準(zhǔn)適用于需要評估或驗證MEMS諧振器在非線性條件下性能的研究機構(gòu)、生產(chǎn)廠家及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)的專業(yè)人士。

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容，首先定義了MEMS諧振敏感元件的基本概念及其工作原理，并明確了非線性振動的含義與重要性。接著，詳細描述了進行非線性振動測試所需的各種條件準(zhǔn)備，包括但不限于環(huán)境溫度控制、濕度要求以及電磁干擾防護措施等，以確保測試結(jié)果準(zhǔn)確可靠。

對于具體的測試過程，《GB/T 34898-2017》給出了從樣品準(zhǔn)備到數(shù)據(jù)記錄整個流程的操作指南。這其中包括選擇合適的激勵信號形式（如正弦波）、設(shè)置正確的頻率范圍和幅度值來激發(fā)被測元件進入非線性狀態(tài)；同時還需要采用適當(dāng)?shù)臏y量工具和技術(shù)手段（例如激光多普勒測振儀）來捕捉并分析諧振器在此狀態(tài)下表現(xiàn)出的行為特征。

此外，標(biāo)準(zhǔn)還特別強調(diào)了數(shù)據(jù)分析的重要性，指出應(yīng)當(dāng)如何基于實驗獲得的數(shù)據(jù)來進行處理與解釋，以便于正確理解MEMS諧振敏感元件在不同條件下的非線性響應(yīng)特性。通過對比理論模型預(yù)測值與實際測量結(jié)果之間的差異，可以進一步優(yōu)化設(shè)計參數(shù)或調(diào)整生產(chǎn)工藝，從而提高產(chǎn)品性能。


如需獲取更多詳盡信息，請直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文檔。

....

查看全部

  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2017-11-01 頒布
  • 2018-05-01 實施
?正版授權(quán)
GB/T 34898-2017微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法_第1頁
GB/T 34898-2017微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法_第2頁
GB/T 34898-2017微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法_第3頁
GB/T 34898-2017微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法_第4頁
免費預(yù)覽已結(jié)束，剩余12頁可下載查看

下載本文檔

GB/T 34898-2017微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)MEMS諧振敏感元件非線性振動測試方法-免費下載試讀頁

文檔簡介

ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34898—2017

微機電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS諧振敏感元件非線性

振動測試方法

Microelectromechanicalsystemtechnology—Testmethodforthe

nonlinearvibrationoftheMEMSresonantsensitiveelement

2017-11-01發(fā)布2018-05-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T34898—2017

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

敏感元件非線性振動測試特性參數(shù)

4……………………1

測試方法及其選用原則

5…………………2

光學(xué)測試法

5.1…………………………2

電學(xué)測試法

5.2…………………………2

敏感元件非線性振動幅頻響應(yīng)和相頻響應(yīng)測試方法

6…………………2

光學(xué)測試方法

6.1………………………2

電學(xué)測試方法

6.2………………………3

敏感元件非線性振動頻率響應(yīng)彎曲系數(shù)測試方法

7……………………4

敏感元件非線性跳躍振幅閾值測試方法

8………………5

非線性振動引起的敏感元件頻率偏移測試方法

9………5

自激閉環(huán)系統(tǒng)鎖相閉環(huán)系統(tǒng)和鎖幅閉環(huán)系統(tǒng)的頻率偏移

9.1、………5

間歇激勵閉環(huán)系統(tǒng)的頻率偏移

9.2……………………5

附錄規(guī)范性附錄敏感元件非線性振動數(shù)學(xué)模型和彎曲系數(shù)

A()……6

附錄規(guī)范性附錄敏感元件頻率響應(yīng)非線性跳躍

B()…………………9

附錄規(guī)范性附錄非線性振動引起的敏感元件的頻率偏移

C()………10

GB/T34898—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微機電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京遙測技術(shù)研究所中機生產(chǎn)力促進中心

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李慶豐金小鋒李海斌朱悅程紅兵

:、、、、。

Ⅰ

GB/T34898—2017

微機電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS諧振敏感元件非線性

振動測試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了諧振式傳感器中諧振敏感元件以下簡稱敏感元件非線性振動特性參數(shù)的

MEMS()

測試方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于敏感元件在研制和生產(chǎn)過程中關(guān)于非線性振動特性和敏感元件閉環(huán)系統(tǒng)頻率偏移的

測試其他非敏感元件可參考使用

,MEMS。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

機械振動與沖擊術(shù)語

GB/T2298

微機電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語

GB/T26111(MEMS)

微機電系統(tǒng)技術(shù)微機械量評定總則

GB/T26112(MEMS)

3術(shù)語和定義

和界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T2298GB/T26111。

31

.

非線性振動non-linearvibration

隨著振動幅度的變化彈性恢復(fù)力與位移不成線性關(guān)系的振動

,。

32

.

非線性跳躍non-linearjump

當(dāng)振動系統(tǒng)的振動幅度超過某一閾值時頻率響應(yīng)曲線的跳躍現(xiàn)象

。

33

.

頻率偏移frequencydeviation

敏感元件閉環(huán)系統(tǒng)輸出的頻率相對于敏感元件固有振動頻率的偏移

。

4敏感元件非線性振動

溫馨提示

  • 1. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)文本僅供個人學(xué)習(xí)、研究之用，未經(jīng)授權(quán)，嚴禁復(fù)制、發(fā)行、匯編、翻譯或網(wǎng)絡(luò)傳播等，侵權(quán)必究。
  • 2. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)均為PDF格式電子版文本（可閱讀打印），因數(shù)字商品的特殊性，一經(jīng)售出，不提供退換貨服務(wù)。
  • 3. 標(biāo)準(zhǔn)文檔要求電子版與印刷版保持一致，所以下載的文檔中可能包含空白頁，非文檔質(zhì)量問題。

評論

0/150

提交評論