標準解讀
《GB/T 34210-2017 藍寶石單晶晶向測定方法》是一項國家標準,專門針對藍寶石單晶材料的晶向進行測量的技術規(guī)范。該標準定義了通過X射線衍射技術來確定藍寶石單晶樣品中特定晶面方向的方法,適用于各種形態(tài)(如棒狀、片狀等)的藍寶石單晶產(chǎn)品。
在實際應用過程中,首先需要準備待測樣品,并確保其表面清潔無污染,以便于獲得準確的測量結果。接著,采用X射線衍射儀作為主要測試工具,根據(jù)儀器說明書設置好相應的參數(shù),包括但不限于電壓、電流以及掃描范圍等。對于不同類型的藍寶石單晶,可能還需要調整特定的角度或位置以優(yōu)化信號接收。
標準詳細描述了從樣品制備到數(shù)據(jù)收集再到分析處理的整個流程。它強調了實驗條件的重要性,比如溫度控制、環(huán)境穩(wěn)定性等因素對最終結果的影響。此外,還提供了一些輔助手段和技術建議,幫助提高測量精度和重復性。
本文件不僅適用于科研機構和高等院校從事相關研究工作的人員參考使用,也為企業(yè)在生產(chǎn)過程中監(jiān)控產(chǎn)品質量提供了科學依據(jù)。通過遵循此標準所規(guī)定的程序執(zhí)行測試,可以有效地保證藍寶石單晶材料的質量及其性能的一致性。
如需獲取更多詳盡信息,請直接參考下方經(jīng)官方授權發(fā)布的權威標準文檔。
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2017-09-07 頒布
- 2018-06-01 實施
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文檔簡介
ICS77040
H21.
中華人民共和國國家標準
GB/T34210—2017
藍寶石單晶晶向測定方法
Testmethodfordeterminingtheorientationofsapphiresinglecrystal
2017-09-07發(fā)布2018-06-01實施
中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布
中國國家標準化管理委員會
中華人民共和國
國家標準
藍寶石單晶晶向測定方法
GB/T34210—2017
*
中國標準出版社出版發(fā)行
北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號
2(100029)
北京市西城區(qū)三里河北街號
16(100045)
網(wǎng)址
:
服務熱線
:400-168-0010
年月第一版
20179
*
書號
:155066·1-55963
版權專有侵權必究
GB/T34210—2017
前言
本標準按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準
(SAC/TC203)
化技術委員會材料分會共同提出并歸口
(SAC/TC203/SC2)。
本標準起草單位中科院上海光學精密機械研究所丹東新東方晶體儀器有限公司深圳市中安測
:、、
標準技術有限公司東莞市華源光電科技有限公司
、。
本標準主要起草人杭寅甄偉尹繼剛趙松彬洪佳琪張連翰張毅劉衛(wèi)衛(wèi)
:、、、、、、、。
Ⅰ
GB/T34210—2017
藍寶石單晶晶向測定方法
1范圍
本標準規(guī)定了采用射線定向儀測定藍寶石單晶晶向的方法
X。
本標準適用于測定表面取向大致平行于低指數(shù)晶面的藍寶石單晶材料
。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
半導體單晶晶向測定方法
GB/T1555
半導體材料術語
GB/T14264
射線晶體定向儀
JB/T5482X
3術語和定義
和界定的術語和定義適用于本文件
GB/T1555、GB/T14264JB/T5482。
4方法原理
晶體晶向是基于射線衍射原理來測定的單晶是由三維周期性結構排列的原子組成可以看作
X。,
是原子排列空間垂直距離為d的一系列平行晶面所形成當一束平行的單色射線射入該晶面上且
,X,
射線照在相鄰晶面之間的光程差為其波長的整數(shù)倍即n倍時就會產(chǎn)生衍射反射利用計數(shù)器探
X,()。
測衍射線根據(jù)其出現(xiàn)的位置即可確定單晶的晶向如圖所示
,,1。
圖1X射線照射到單晶晶面上幾何反射條件
當入射光束與反射晶面之間夾角θ射線波長λ晶面間距d及衍射級數(shù)n同時滿足下面布拉格
、X、
定律式時射線衍射光束強度將達到最大值
(1),X:
nλ=dθ
2sin
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