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機(jī)械密封沖洗(chōngxǐ)方案精品資料幾個(jǐɡè)問題◆什么叫做沖洗(chōngxǐ)?向雙或單密封的高壓側(cè)部位直接注入液體稱“沖洗(chōngxǐ)”。一般泵均應(yīng)進(jìn)行沖洗(chōngxǐ),尤其是輕烴泵更應(yīng)如此。沖洗(chōngxǐ)的目的是密封、冷卻和潤滑?!魶_洗(chōngxǐ)的作用?密封冷卻潤滑精品資料機(jī)封沖洗(chōngxǐ)方案◆單端面(duānmiàn)密封SingleSealsPLAN01,02,11,13,14,21,23,31,32,41◆雙端面(duānmiàn)密封DualSealsPLAN52,53A,53B,53C,54◆冷卻密封QuenchSealsPLAN62,65◆氣體密封GasSealsPLAN72,74,75,76精品資料PLAN01方案描述:從泵的出口引出至密封的內(nèi)部循環(huán),操作類似(lèisì)PLAN11,防止PLAN11外露管的凍結(jié)和流體結(jié)晶堵塞的危險。采用原因:密封腔冷卻;密封腔的排氣。應(yīng)用場合:清潔常溫流體,且被輸送流體非常粘稠或容易固化的情況下;多用于單端面密封,很少用于雙端面密封。維護(hù):沖洗不能直接沖洗密封面;必須保證充足的循環(huán)量;機(jī)封冷卻不能過度。精品資料PLAN01精品資料PLAN02方案描述:無沖洗液循環(huán)的封閉密封腔。應(yīng)用場合:常溫運(yùn)轉(zhuǎn)下的大孔、開口密封腔;高溫運(yùn)轉(zhuǎn)下的冷卻套密封腔;清潔流體;干式密封的直立、頂入式混和器、攪拌器;預(yù)防性維護(hù):流程必須有足夠的沸點(diǎn)臨界空間,避免汽化;在熱運(yùn)轉(zhuǎn)條件下,密封腔套內(nèi)可能需要一直有冷卻液體;臥式設(shè)備(shèbèi)必能自己排氣。經(jīng)常和冷卻方案PLAN62聯(lián)合使用。精品資料PLAN02補(bǔ)充說明:一般用于化工行業(yè)中密封腔壓力(yālì)和溫度較低的情況下。通常,這種方案采用錐形密封腔改善流體流動形式。輸送介質(zhì)比較清潔,防止由于漩渦作用對密封法蘭盤、密封腔或密封部件產(chǎn)生侵蝕。同時考慮被密封介質(zhì)的閃蒸敏感性以避免在密封腔中或密封端面產(chǎn)生閃蒸。這種方案也可用于溫度較低的、清潔的、比熱較高的流體(例如水),且泵的轉(zhuǎn)速一般不高。采用該方案要仔細(xì)計算輸送介質(zhì)汽化的溫度裕量。精品資料PLAN11方案描述:從泵出口處經(jīng)過限流孔板進(jìn)行機(jī)械密封沖洗,單端面機(jī)械密封沖洗方案。采用原因:密封腔的冷卻,臥式密封腔的排氣,增加密封腔的壓力和流體汽化臨界空間。應(yīng)用場合:通常用于清潔非聚合流體;一般工況設(shè)備(shèbèi)的最常用沖洗方案。預(yù)防性維護(hù):使用孔徑最小為0.125英寸(yīngcùn)的限流孔板,計算流量以確定使機(jī)封腔流量足夠的限流孔板尺寸,通過合適的限流孔板和喉部襯套尺寸來確定增加沸點(diǎn)臨界范圍,管路在12點(diǎn)的位置沖洗機(jī)封面,典型故障為限流孔板堵塞,檢查管子末端溫度。精品資料PLAN11精品資料PLAN13方案描述:從密封腔,通過限流孔板到泵的進(jìn)口的二次循環(huán),立式泵的標(biāo)準(zhǔn)沖洗(chōngxǐ)方案。采用原因:立式泵密封腔的不間斷排氣,密封腔除熱。應(yīng)用場合:立式泵,密封腔壓力大于進(jìn)口壓力,混有中等大小的固體的常溫流體,非聚合流體。預(yù)防性維護(hù):啟動立式泵之前,彎好排氣口管路,使用(shǐyòng)口徑最小為0.125英寸的限流孔板,計算流量,以確定使機(jī)械密封腔流量充足的限流孔板尺寸,通過合適的限流孔板和喉部襯套的尺寸來減少密封腔壓力。典型故障為限流孔板堵塞,檢查管子末端的溫度。精品資料PLAN13補(bǔ)充說明:只要(zhǐyào)壓差足夠保證循環(huán)進(jìn)行,且密封壓力足以防止汽化,該方案對線垂泵提供了自動排氣能力。該方案也用于揚(yáng)程非常高的情況,這種工況下采用11方案所需的管孔非常小或產(chǎn)生的沖洗流量非常大。因?yàn)閷τ诘蛪侯^的情況,密封腔和泵吸入口壓差非常小,所以,該沖洗方案不適于低壓頭的工況??梢酝ㄟ^計算所需要的沖洗流量和管孔的大小來確定采用13方案是否合適。精品資料PLAN14方案描述:從泵的出口(chūkǒu)沖洗機(jī)封,再循環(huán)到帶限流孔板的泵進(jìn)口,方案11和13的結(jié)合。采用原因:立式泵機(jī)封腔的連續(xù)排氣,密封腔除熱,增加密封腔的壓力和流體汽化的臨界空間。應(yīng)用場合:立式泵,常溫、清潔非聚合流體。預(yù)防性維護(hù):使用口徑最小為0.125英寸的限流孔板,計算流量,以確定使機(jī)械密封腔流量充足的限流孔板尺寸,通過合適的限流孔板和喉部襯套尺寸來確定增加臨界范圍。典型(diǎnxíng)故障為限流孔板堵塞,檢查管子末端的溫度。精品資料PLAN14精品資料PLAN21方案描述:從泵出口經(jīng)限流孔板和冷卻器沖洗機(jī)封,方案11加冷卻器,增加了除熱能力。采用原因:機(jī)封冷卻,降低流體溫度,減少(jiǎnshǎo)焦化。應(yīng)用場合:高溫,低于350°F(177°C)高于180°F(80°C)熱水清潔、非聚合物。預(yù)防性維護(hù):機(jī)封冷卻器或管路必須在最高位有氣孔,啟動前打開。使用682機(jī)封冷卻器時,串流管路使熱傳遞最大化。使用口徑最小為0.125英寸的限流孔板,計算流量,以確定使機(jī)械密封腔流量充足的限流孔板尺寸,通過合適的限流孔板和喉部襯套尺寸來確定臨界范圍,經(jīng)常觀察冷卻器進(jìn)、出口溫度(wēndù),查看有無堵塞或污垢沉積跡象。精品資料PLAN21補(bǔ)充說明:提高汽化裕量,滿足附屬密封原件的溫度限制,提高熱水潤滑性。優(yōu)點(diǎn)是不僅提供了冷卻沖洗也具有足夠的壓差(yāchà)以保證良好的沖洗流量。缺點(diǎn)是冷卻器的負(fù)擔(dān)重,冷卻水側(cè)易結(jié)垢和阻塞;當(dāng)過程流體側(cè)粘度變得很大時,易堵塞。21方案在干燥氣候的情況下,可以采用空氣翅片冷卻器代替水冷卻器。因?yàn)?3方案中用于沖洗的被輸送介質(zhì)必須從入口重新被輸送到出口,所以方案21比方案23更有前景。精品資料PLAN23方案描述:經(jīng)密封腔內(nèi)的輸液環(huán),通過冷卻器回到密封腔沖洗機(jī)封的循環(huán)過程,熱水條件(tiáojiàn)下的標(biāo)準(zhǔn)沖洗方案。采用原因:僅通過冷卻小部分液體,冷卻器低負(fù)荷下的機(jī)封高效冷卻,增加流體的汽化臨界范圍,改善水的潤滑力。應(yīng)用場合:高溫條件(tiáojiàn)下,熱碳?xì)浠衔铮哂?80°F(80°C)鍋爐給水和熱水,清潔、非聚合流體。預(yù)防性維護(hù):機(jī)封冷卻器或管路必須在最高位有氣孔,啟動前打開。使用682機(jī)封冷卻器時,層流管路使揚(yáng)程損失最小。密封腔要求喉部襯套間隙很小,以隔離流體(liútǐ),經(jīng)常觀察冷卻器進(jìn)、出口溫度,查看有無堵塞或污垢沉積跡象。含鐵的流體(liútǐ)應(yīng)先流經(jīng)除鐵器,然后再進(jìn)入冷卻器。精品資料PLAN23補(bǔ)充說明:用于所有高溫工況的沖洗方案。鍋爐供水的標(biāo)準(zhǔn)沖洗方案。(80℃時水的潤滑性非常差,導(dǎo)致密封磨損。)密封配備了一個內(nèi)部循環(huán)設(shè)備以使密封腔中的流體通過一個冷卻器再返回到密封腔中。這樣,冷卻器僅冷卻密封操作的流體且這些冷卻的流體不進(jìn)入輸送過程(guòchéng)。因此具有較高的能量效率。對于易凝結(jié)和高粘度的流體應(yīng)當(dāng)考慮采用方案23。精品資料PLAN31方案描述:從泵出口經(jīng)過旋液分離器,清潔液體沖洗機(jī)封,分離的固體被送入泵進(jìn)口。采用(cǎiyòng)原因:機(jī)封腔除熱,從沖洗和密封腔中除去固體。應(yīng)用場合:帶砂或管道渣子臟的或被污染的流體或水,非聚合流體。預(yù)防性維護(hù):旋液分離器處理的最好比重是流體2倍的固體,密封腔的壓力必須接近或等于進(jìn)口壓力,以保證流量適中。管不應(yīng)該(yīnggāi)包括限流孔板,典型故障為旋流器或管路堵塞,檢查管子末端溫度。精品資料PLAN31補(bǔ)充(bǔchōng)說明:典型用于水除沙和輸送泥漿的場合。輸送介質(zhì)非常臟也不推薦使用。精品資料PLAN32方案描述:用外部清潔源頭沖洗機(jī)封,應(yīng)慎重選擇沖洗液來源,消除注入液體蒸發(fā),或被泵送液體污染。采用(cǎiyòng)原因:密封腔除熱,從密封腔內(nèi)除去工藝流體或固體,增加密封腔壓力和流體汽化臨界范圍。應(yīng)用場合:臟的或被污染的流體、紙漿,高溫條件,聚合物或氧化流體。維護(hù):使用大小確定的喉部襯套來保持壓力或維護(hù)流體速度,限制臟的工藝流體,控制噴射流量,增加流體汽化臨界范圍,控制噴射壓力,噴射流體必須和工藝流體相容(xiānɡrónɡ),經(jīng)常觀察控制系統(tǒng),檢查閥門是否關(guān)閉和堵塞跡象。精品資料PLAN32補(bǔ)充說明(shuōmíng):非正常工況下(如啟動和關(guān)閉)外部沖洗液也是連續(xù)可靠的。總是采用狹口襯圈用作節(jié)流設(shè)備以在密封腔中維持適當(dāng)?shù)膲毫蜃鳛樽璺鈾C(jī)構(gòu),并把輸送介質(zhì)與密封腔相隔離開。使用該方案時也要考慮其對產(chǎn)品濃度的影響。精品資料PLAN41方案描述:從泵出口經(jīng)旋流器把清潔液體輸送冷卻器沖洗機(jī)封,固體送入泵進(jìn)口,方案21和31的組合。采用原因:密封冷卻,沖洗和密封腔的固體移除。應(yīng)用場合:高溫條件,低于355°F(177°C)鍋爐給水和熱水,帶砂或管道渣子的臟的或被污染的流體和水,非聚合流體。維護(hù):機(jī)封冷卻器或管路必須在最高位有氣孔(qìkǒng),啟動前打開。使用682機(jī)封冷卻器時,串流管路使熱傳遞最大化。旋流器處理的最好比重是流體2倍的固體,密封腔的壓力必須接近或等于進(jìn)口壓力,以保證流量適中。典型故障為旋流器或管路堵塞,檢查(jiǎnchá)管子末端溫度精品資料PLAN41補(bǔ)充說明:當(dāng)密封采用這種沖洗方案時,應(yīng)采用冷卻液沖洗密封。這種冷卻沖洗可以提高(tígāo)被輸送流體蒸汽壓的溫度裕量、或滿足附屬密封元件的溫度限制要求、或減少焦化或聚合、或提高(tígāo)潤滑性。典型應(yīng)用是用水除沙或輸送泥漿。精品資料PLAN52方案描述:外部儲液罐為配置外側(cè)密封提供緩沖液,正常操作時,由內(nèi)部輸液環(huán)保持循環(huán),儲液罐連續(xù)排放蒸汽至蒸汽回收(huíshōu)系統(tǒng),并保持比密封腔壓力小。采用原因:外置機(jī)械密封是主機(jī)封,沒有或很少的工藝排放物,不允許工藝過程污染。應(yīng)用場合:應(yīng)用于雙端面非承壓密封(串聯(lián)),高蒸汽壓流體,輕質(zhì)烴,危險/有毒流體,傳熱流體。維護(hù):管網(wǎng)對接近大氣壓力的蒸汽回收/火花系統(tǒng)必須自帶開孔,工藝(gōngyì)蒸汽壓力通常比儲液罐壓力大緩沖器流體必須和工藝(gōngyì)泄漏流體相容,增加的氣孔壓力會指示主機(jī)封泄漏,儲液罐液位表會顯示外置機(jī)封泄漏。精品資料PLAN52細(xì)化:Plan52機(jī)械密封沖洗系統(tǒng)由具有緩沖液的串聯(lián)密封組成,內(nèi)側(cè)密封為主密封,外側(cè)密封作為備用密封,當(dāng)主密封失效后,備用安全密封接替主密封工作并觸發(fā)壓力報警信號,密封罐為無壓串聯(lián)密封的外側(cè)密封提供緩沖液。當(dāng)正常運(yùn)行時,循環(huán)液由固定在軸套或軸上的內(nèi)部泵送環(huán)強(qiáng)制(qiángzhì)循環(huán)來提供循環(huán)動力。密封罐與排氣系統(tǒng)相連,使得緩沖罐的壓力與大氣壓力接近并且低于密封腔壓精品資料力,被輸送介質(zhì)將泄漏到緩沖液中。由于緩沖罐的壓力低于密封腔壓力,不能為內(nèi)側(cè)密封提供沖洗,所以內(nèi)側(cè)主密封的沖洗通常采用11方案,即由被密封介質(zhì)直接沖洗內(nèi)側(cè)密封,在11方案中介質(zhì)從泵的出口經(jīng)過孔板通向密封腔,對密封進(jìn)行冷卻、沖洗,同時將密封腔中的氣體排出。對于清潔介質(zhì),它是經(jīng)常使用的方案。為了監(jiān)視內(nèi)側(cè)密封的運(yùn)行狀況,密封罐上裝有壓力報警指示裝置,操作人員可通過密封罐的壓力變化來判斷內(nèi)側(cè)密封的泄漏情況以及是否失效。為了帶走外側(cè)密封運(yùn)轉(zhuǎn)過程中產(chǎn)生的摩擦熱,在密封罐內(nèi)還設(shè)有冷卻水盤管。另外,由于在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中總會有少量的緩沖液泄漏到大氣(dàqì)中,所以密封罐上還設(shè)有液位報警指示裝置,提醒操作維護(hù)人員及時補(bǔ)液。PLAN52精品資料PLAN53A方案描述:外設(shè)加壓隔離液儲罐提供清潔液體給密封腔,循環(huán)由內(nèi)部輸液(shūyè)環(huán)完成。隔離液儲罐的壓力大于被密封工藝液體壓力。采用原因:隔離工藝流體,零工藝流體排放。應(yīng)用場合:應(yīng)用于雙端面承壓密封(雙重),高蒸汽壓流體,輕質(zhì)烴,危險/有毒流體,傳熱流體,臟、腐蝕和聚合流體。維護(hù):對儲液罐加壓,最大氣體壓力(yālì)允許150-200PSI(10-14bar),阻隔流體必須和工藝流體相容,儲液罐液位表顯示內(nèi)側(cè)和外側(cè)密封的泄漏。精品資料PLAN53A精品資料PLAN53B方案描述:由外部管道系統(tǒng)為加壓雙端面密封裝置的外側(cè)密封提供液體,預(yù)先(yùxiān)加了壓的氣囊蓄壓器提供壓力給循環(huán)系統(tǒng),流動由內(nèi)部輸液環(huán)來保持,循環(huán)系統(tǒng)中的熱量由空氣冷卻或水冷卻熱交換器除去。采用原因:分離工藝流體,零流程排放,比53A方案壓力高。應(yīng)用場合:應(yīng)用于雙端面承壓密封(雙重),高蒸汽壓流體,輕質(zhì)烴,危險/有毒流體,傳熱流體,臟、腐蝕(fǔshí)和聚合流體。維護(hù):啟動前管網(wǎng)必須全部開孔,一直對儲蓄器加壓,通常用充氣的方法,阻隔流體必須和工藝流體相容,經(jīng)常監(jiān)控?fù)醢鍓毫?,?dāng)壓力降低時,手動增加阻隔流體。精品資料PLAN53B精品資料PLAN53C方案描述:由外部管道系統(tǒng)為加壓雙斷面密封裝置的外側(cè)密封提供隔離液,從密封腔到活塞蓄壓器的參比管線提供壓力給循環(huán)系統(tǒng),流動由內(nèi)部輸液環(huán)來保持,循環(huán)系統(tǒng)中的熱量由空氣空氣冷卻或水冷卻熱交換器除去。采用原因:分離(fēnlí)工藝流體,零流程排放,比53A方案壓力高。系統(tǒng)壓力動態(tài)跟蹤。應(yīng)用場合:應(yīng)用于雙端面承壓密封(雙重),高蒸汽壓體。維護(hù):啟動前管網(wǎng)必須全部開孔,沒有堵漏的流程污染必須在參考線以下,阻隔流體必須和工藝流體相容,儲蓄器液位表會顯示(xiǎnshì)內(nèi)側(cè)和外側(cè)密封的泄漏。精品資料PLAN53C精品資料PLAN53A、B、C比較(bǐjiào)介紹Plan53機(jī)械密封沖洗系統(tǒng)由具有隔離液的串聯(lián)密封或雙端面密封組成,密封罐在有一定壓力(一般高于被密封介質(zhì)壓力的10%)的條件下工作,其壓力的來源以及(yǐjí)隔離液的冷卻方式不同。Plan53機(jī)械密封沖洗系統(tǒng)有Plan53A、Plan53B和Plan53C三種。Plan53A外接壓力源、內(nèi)置冷卻盤管、并設(shè)有壓力、液位等報警指示裝置;Plan53B的壓力由內(nèi)置充氣的氣囊提供,采用翅片管直接散熱或水冷器管冷卻隔離液;Plan53C的壓力由增壓泵提供,增壓泵與冷卻器設(shè)計為一體,也可與冷卻器分體。對于Plan53來說,如果采用雙端面密封方式,即面對面的方式,兩個密封面的沖洗、冷卻均由隔離液來提供。如果采用串聯(lián)密封的方式,內(nèi)側(cè)密封必須能承受反壓,且需要采用自沖洗方案(一般為plan11或plan13)。精品資料PLAN54方案描述:外設(shè)加壓隔離液儲罐或系統(tǒng)提供清潔的液體給密封腔,循環(huán)用外部泵或壓力系統(tǒng)來完成,儲液罐壓力大于被密封的工藝介質(zhì)壓力。采用原因:分離工藝流體,零流程排放,密封不能促進(jìn)循環(huán)。應(yīng)用場合(chǎnghé):應(yīng)用于雙端面承壓密封(雙封),高蒸汽壓流體,輕質(zhì)烴,危險/有毒流體,傳熱流體,臟/腐蝕性或聚合體。維護(hù):啟動前管網(wǎng)必須全部開孔,循環(huán)系統(tǒng)必須一直受壓,阻隔流體必須和工藝流體相容,循環(huán)系統(tǒng)液位顯示儀能顯示內(nèi)側(cè)和外側(cè)密封(mìfēng)的泄漏。精品資料PLAN54補(bǔ)充說明:如果阻封液壓力低于被密封(mìfēng)介質(zhì)的壓力,內(nèi)部密封(mìfēng)失效就會污染整個阻封液系統(tǒng)并引起其他的密封(mìfēng)失效。如果采用PLAN54方案,就要考慮阻封液來源的可靠性。精品資料PLAN62方案描述:由外部提供急冷液,在密封的接觸大氣端進(jìn)行外部冷卻,冷卻流體主要為蒸汽、氮和水。采用原因(yuányīn):防止固體在機(jī)封的大氣端集結(jié),配合小間隙節(jié)流襯套使用。防止結(jié)冰。應(yīng)用場合:用于單端面機(jī)封,排除氧氣的存在,防止焦化,沖走動態(tài)密封元件附近不想要的物質(zhì)(如腐蝕性或含鹽的工況)。維護(hù):冷卻進(jìn)口應(yīng)在壓蓋頂端,出口或排水口應(yīng)在底端,冷卻壓力應(yīng)限制在3psi(0.2bar),或再低一點(diǎn)(yīdiǎn),在機(jī)封的大氣端,用節(jié)流墊引導(dǎo)冷卻流體流向密封排水口,經(jīng)常監(jiān)控、查看閥門是否關(guān)閉,管路是否堵塞,以及汽水分離口的狀況。精品資料PLAN62精品資料方案描述:外部排液管道布置是,用浮子液位開關(guān)測量密封泄漏量,對高泄漏量進(jìn)行報警,液位開關(guān)下游的孔板,其孔徑通常為5mm,設(shè)置在立管腿上。機(jī)封在大氣端,帶泄漏檢查的外部排水。采用(cǎiyòng)原因:單獨(dú)使用或與62方案一起使用,用于間隙很小的節(jié)流襯套,用于外部場所的單端面機(jī)封。應(yīng)用場合:流程泄漏或冷卻流體的泄漏收集,主機(jī)封的安全指示儀。維護(hù):排水口必須在壓蓋底部,管路是向下傾斜的。持續(xù)向液體回收系統(tǒng)排水,在液位開關(guān)下游的限流孔板必須是垂直方向,從溢流腔出來(chūlái)旁通管,必須再進(jìn)入限流孔板下面。經(jīng)常檢查、查看閥門是否關(guān)閉,管路是否阻塞,液位開關(guān)是否正常工作。PLAN65精品資料PLAN65精品資料方案描述:未加壓緩沖(huǎnchōng)氣體控制系統(tǒng);安全密封通常采用氮?dú)庾鳛榫彌_(huǎnchōng)氣體。采用原因:零至極低的工藝介質(zhì)排放;主密封的安全后備。應(yīng)用場合:與雙封布置未加壓安全密封(串聯(lián))一起使用,高飽和蒸汽壓液體,輕烴;危險或有毒液體;清潔的、非聚合、非氧化液體;與75方案和/或76方案結(jié)合使用。PLAN72預(yù)防性維護(hù):必須始終為密封件提供清潔、可靠的低壓氣體;不建議采用罐裝氣體供應(yīng),除非(chúfēi)將其作為緊急后備系統(tǒng)的一部分;通過排氣管道中的壓力指示主密封泄漏。排氣或排液口通常與低壓氣體回收/火炬系統(tǒng)相連接。精品資料PLAN72精品資料PLAN72補(bǔ)充說明:阻封氣用于把內(nèi)部密封的泄漏從外部(wàibù)密封中帶入到收集系統(tǒng)中或沖淡泄漏濃度,以便減小外部(wàibù)密封的泄漏濃度。壓力指示器設(shè)定壓力至少高于大氣壓力0.05MPa(0.5bar)(7psi)。精品資料PLAN74方案描述:加壓隔離(gélí)氣體控制系統(tǒng);干氣密封通常采用氮?dú)庾鳛楦綦x(gélí)氣。采用原因:隔離(gélí)工藝流體;工藝流體零排放。應(yīng)用場合:與加壓雙干氣密封一起使用;高飽和蒸汽壓液體,輕烴;危險或有毒液體;工況通常不能采用隔離(gélí)液,清潔的非聚合液體;合適溫度液體。預(yù)防性維護(hù):必須始終為密封提供(tígōng)清潔、可靠的加壓氣體;隔離氣壓力通常比密封腔壓力至少高25psi(1.75bar);流量計指示內(nèi)側(cè)和外側(cè)密封泄漏;不建議采用罐裝氣體供應(yīng),除非作為緊急后備系統(tǒng)的一部分。精品資料PLAN74補(bǔ)充說明:可靠性要求非常高的場合,以防止固體顆粒或其他會導(dǎo)致密封面提前失效的物質(zhì)進(jìn)入密封端面。方案74結(jié)構(gòu)如下:截止閥或止回閥→2到3um的過濾器→壓力(yālì)調(diào)節(jié)器(至少高于大氣壓力(yālì)7psi)→孔板(流量調(diào)節(jié))→流量指示器→止回閥或截止閥。精品資料PLAN75方案描述:從安全密封腔體排出至液體收集系統(tǒng)和氣體回收系統(tǒng)。采用原因:零至極低加工(jiāgōng)排放的泄漏收集;主密封的安全性指示。應(yīng)用場合
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