GB/T 26251-2010氟和氟氮混合氣

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜２６２５１—２０１０

氟和氟氮混合氣

犉犾狌狅狉犻狀犲犪狀犱犿犻狓犲犱犵犪狊犲狊狅犳犳犾狌狅狉犻狀犲狀犻狋狉狅犵犲狀

２０１１０１１４發(fā)布２０１１０５０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

書

犌犅／犜２６２５１—２０１０

前言

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中核紅華特種氣體股份有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、山東銳華氟

業(yè)有限公司、核工業(yè)理化工程研究院、西南化工研究設(shè)計院。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：杜偉華、賀國武、李建浩、李春曉、倪志強(qiáng)、鄧建平、周鵬云。

Ⅰ

書

犌犅／犜２６２５１—２０１０

氟和氟氮混合氣

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氟和氟氮混合氣的技術(shù)要求，試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運及安全的要求。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于電解無水氟化氫并經(jīng)過純化工藝處理后獲得的氟。氟用于制備六氟化鈾、六氟化硫、

三氟化硼、二氟化銀、三氟化鈷和三氟化鎂等氟化物，也可用于激光氣或塑料氟化處理等領(lǐng)域。

氟氮混合氣制備采用壓力法?；旌蠚庵饕糜谄?、制藥工業(yè)中材料氟化處理。

氟的分子式：Ｆ２。

氟的相對分子質(zhì)量：３７．９９６８０６４（按２００７年國際相對原子質(zhì)量計算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ８９７９純氮、高純氮和超純氮

ＧＢ／Ｔ１１６４０鋁合金無縫氣瓶

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ／Ｔ２６５７１特種氣體儲存期規(guī)范

《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》（國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布，２０００年）

３技術(shù)要求

３．１氟的技術(shù)要求應(yīng)符合表１的規(guī)定。

表１氟的技術(shù)指標(biāo)

項目指標(biāo)

－２

氟（Ｆ２）純度（體積分?jǐn)?shù)）／１０≥９９．０

－２

氧（Ｏ２）＋氮（Ｎ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０≤０．４５

－２

四氟化碳（ＣＦ４）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０≤０．０５

氟化氫（ＨＦ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－２≤０．５０

３．２氟氮混合氣的技術(shù)要求應(yīng)符合表２的規(guī)定。

表２氟氮混合氣的技術(shù)指標(biāo)

項目指標(biāo)

－２

氟（Ｆ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０