GB/T 25755-2010真空技術(shù)濺射離子泵性能參數(shù)的測(cè)量

ICS23160

J78.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T25755—2010

真空技術(shù)濺射離子泵性能參數(shù)的測(cè)量

Vacuumtechnology—Sputter-ionpumps—Measurementofperformance

characteristics

2010-12-23發(fā)布2011-10-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T25755—2010

前言

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC18)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司沈陽真空技術(shù)研究所

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人鄒蒙張勤德朱國(guó)精馬殿理李春影

:、、、、。

Ⅰ

GB/T25755—2010

真空技術(shù)濺射離子泵性能參數(shù)的測(cè)量

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了濺射離子泵以下簡(jiǎn)稱離子泵性能參數(shù)的測(cè)量方法

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于名義體積流率大于的離子泵

10L/s。

本標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量體積流率的壓力范圍從-3到-7

1.5×10Pa1×10Pa。

注本標(biāo)準(zhǔn)保證了離子泵性能參數(shù)的測(cè)量在相同的條件下按相同的方法進(jìn)行由此做到由各制造廠家或各實(shí)驗(yàn)室

:。

所作的測(cè)量與制造廠家在樣本中給定的資料是可比的

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款凡是注日期的引用文件其隨后所有

。,

的修改單不包括勘誤的內(nèi)容或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)然而鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

(),,

是否可使用這些文件的最新版本凡是不注日期的引用文件其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)

。,。

真空技術(shù)術(shù)語

GB/T3163(GB/T3163—2007,ISO3529:1981,MOD)。

3術(shù)語和定義

確立的以及下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)

GB/T3163。

31

.

極限壓力ultimatepressure

測(cè)試罩中逐漸趨近的壓力值

。

注它是泵能獲得的最低壓力

1:。

注建議制造廠的說明書不要給出極限壓力值本標(biāo)準(zhǔn)中不給出極限壓力的測(cè)量程序但如果制造廠列出極限

2:。。

壓力則應(yīng)當(dāng)說明完成測(cè)量的工作條件

,。

32

.

最低工作壓力minimumoperationalpressure

p0

泵在關(guān)閉進(jìn)氣閥烘烤過程結(jié)束后內(nèi)在測(cè)試罩中逐漸接近的最低壓力

、48h。

體積流率volumeflowrate

qV

在理想條件下單位時(shí)間從測(cè)試罩流過離子泵入口的氣體體積

,。

注出于實(shí)際測(cè)量的原因離子泵對(duì)給定氣體的體積流率通常約定為等于該氣體的流量與給定點(diǎn)的平衡壓力之

1:,

商體積流率采用的單位為立方米每秒3或升每秒

,(m/s)(L/s)。

注有時(shí)用術(shù)語抽速和符號(hào)來代替體積流率

2:“”“s”。

33

.

名義抽速nominalpumpingspeed

S

n

對(duì)飽和的離子泵所測(cè)得的體積流率的最大值稱作名義抽速

。

注應(yīng)給出在測(cè)此名義抽速時(shí)所測(cè)得的壓力p

1:。