GB/T 24469-2009電子工業(yè)用氣體5N氯化氫

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２４４６９—２００９

電子工業(yè)用氣體５犖氯化氫

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２００９１０１５發(fā)布２００９１２０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２４４６９—２００９

前言

本標準根據(jù)ＧＢ／Ｔ１４６０２—１９９３《電子工業(yè)用氣體氯化氫》同類產(chǎn)品標準，結(jié)合原料、生產(chǎn)工藝特

點及半導(dǎo)體工藝對氯化氫產(chǎn)品的新要求而制定。國家標準ＧＢ／Ｔ１４６０２—１９９３《電子工業(yè)用氣體氯

化氫》在產(chǎn)品質(zhì)量控制指標及其檢驗方法上已不適合當前半導(dǎo)體工藝的新要求，尤其未能規(guī)定對半導(dǎo)體

器件質(zhì)量有重要影響的雜質(zhì)———金屬離子的含量。因此，需要制定本標準。

本標準對雜質(zhì)水、甲烷＋乙炔和金屬離子含量的測定方法與國際先進標準ＳＥＭＩＣ３．３５１１０１的方

法基本相似，而對雜質(zhì)氧＋氬、氮和一氧化碳、二氧化碳含量的測定方法則優(yōu)于標準ＳＥＭＩＣ３．３５１１０１

的方法。

本標準首次提出了氯化氫專用鋼瓶的處理、產(chǎn)品充裝和分裝規(guī)則等。

本標準附錄Ａ、附錄Ｂ為規(guī)范性附錄，附錄Ｃ為資料性附錄。

本標準由全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會氣體分會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出并歸口。

本標準起草單位：北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司、光明化工研究設(shè)計院、信息產(chǎn)業(yè)部標準化

四所。

本標準主要起草人：張吉瑞、孫福楠、劉筠。

Ⅰ

書

犌犅／犜２４４６９—２００９

電子工業(yè)用氣體５犖氯化氫

１范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體５Ｎ氯化氫的技術(shù)要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運

輸、儲存、充裝、分裝和安全要求。

本標準適用于以工業(yè)氯化氫為原料經(jīng)凈化制得的瓶裝液化氯化氫。

氯化氫主要用于微電子工業(yè)半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中單晶硅片氣相拋光、外延和基座腐蝕工藝。也可用

于硬質(zhì)合金和玻璃表面處理、醫(yī)藥中間體和精細化學(xué)品制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域。

分子式：ＨＣｌ

相對分子質(zhì)量：３６．４６１（按２００５年國際相對原子質(zhì)量）

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９８３）

ＧＢ／Ｔ５８３２．２氣體中微量水分的測定第２部分：露點法

ＧＢ／Ｔ６６８１氣體化工產(chǎn)品采樣通則

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ１３００４鋼質(zhì)無縫氣瓶定期檢驗與評定

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ１５２５８化學(xué)品安全標簽編寫規(guī)定

ＧＢ１５３８２氣瓶閥通用技術(shù)條件

ＧＢ／Ｔ１６９４２電子工業(yè)用氣體氫

ＧＢ／Ｔ１６９４３電子工業(yè)用氣體氦

ＧＢ／Ｔ１６９４４電子工業(yè)用氣體氮

ＧＢ１７２６５液化氣體氣瓶充裝站安全技術(shù)條件

定量包裝商品計量監(jiān)督管理辦法

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)定

危險貨物運輸規(guī)則

３要求

５Ｎ氯化氫產(chǎn)品的質(zhì)量控制項目及技術(shù)指標應(yīng)符合表１要求。

表１５犖氯化氫產(chǎn)品的質(zhì)量控制項目及技術(shù)指標

項目指標

氯化氫純度（體積分數(shù)）／１０－２≥９９．９９９

氮