標準解讀

GB/T 16944-1997是一項中華人民共和國國家標準，全稱為《電子工業(yè)用氣體 氮》。該標準規(guī)定了電子工業(yè)中所使用的氮氣的質(zhì)量要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和儲存要求，旨在確保氮氣產(chǎn)品滿足電子工業(yè)的特定應用需求，保證其純度與可靠性，從而促進電子元件和器件的性能穩(wěn)定性和生產(chǎn)過程的高效性。

標準內(nèi)容概覽：

  1. 范圍：明確了標準適用的氮氣類型及其在電子工業(yè)中的應用范疇，比如作為保護氣體、置換氣體或工藝氣體使用。

  2. 規(guī)范性引用文件：列出了執(zhí)行本標準時需要參考的其他相關標準文獻，這些文獻提供了測試方法、術語定義等基礎信息。

  3. 要求：

    • 純度：規(guī)定了氮氣中氧、氬、水、二氧化碳、烴類等雜質(zhì)的最大含量限值，以ppm（百萬分之一）或更高精度單位表示，確保氮氣的高純凈度。
    • 露點：設定了氮氣的最低干燥要求，通常以露點溫度表示，確保氣體無凝結(jié)水，適合電子元件的加工環(huán)境。
    • 氣味與外觀：要求氮氣應無臭、無色，且在正常條件下為透明氣體，確保其不會對電子材料造成污染。

  4. 試驗方法：詳細說明了如何通過氣相色譜分析、露點測定等方法來檢測氮氣的純度、濕度等關鍵指標，確保測試結(jié)果的準確性和可重復性。

  5. 檢驗規(guī)則：包括了產(chǎn)品出廠前的檢驗項目、抽樣方法及合格判定準則，確保每批次氮氣都符合標準要求。

  6. 包裝、標志、運輸和儲存：規(guī)定了氮氣容器的材質(zhì)、密封要求，以及在運輸和儲存過程中應采取的措施，以防止氣體受到污染或物理性損害，保持其質(zhì)量穩(wěn)定。

實施意義：

該標準的實施對于提升電子工業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率具有重要意義，它不僅為氮氣供應商提供了明確的產(chǎn)品質(zhì)量控制標準，也為電子制造商在選擇和使用氮氣時提供了可靠依據(jù)，有助于保障整個產(chǎn)業(yè)鏈的高質(zhì)量發(fā)展。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現(xiàn)行標準GB/T 16944-2009
  • 1997-08-13 頒布
  • 1998-05-01 實施
?正版授權
GB/T 16944-1997電子工業(yè)用氣體氮_第1頁
GB/T 16944-1997電子工業(yè)用氣體氮_第2頁
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文檔簡介

TCE71.100.20G86中華人民共和國國家標準GB/T16944一1997電子工業(yè)用氣體氮Gasesforelectronicindustry-Nitrogen1997-08-13發(fā)布1998-05-01實施國家技術監(jiān)督局發(fā)布

GB/T16944-1997本標準是根據(jù)SEMIC3.28-92《瓶裝VLSI級氮標準》1995年版)制定的，在技術要求上與之等同，檢驗方法與之等效在將SEMIC3.28-92轉(zhuǎn)化為本國家標準時，結(jié)合我國的實際情況，將標準的適用范圍擴大至液態(tài)氮和管道輸送氮，刪去了SEMIC3.28-92中僅作為參考的物理常數(shù)和注釋等內(nèi)容，試驗方法中增加了抽樣和氮氣純度兩條，各項雜質(zhì)含量的測定，分別采用我國相應的通用試驗方法國家標準，同時對檢測限和標樣要求按SEMI標準規(guī)定進行了適當?shù)恼{(diào)整。以上變動與SEMI標準無實質(zhì)性差異,并使標準的技術內(nèi)容更加完整。本標準由中華人民共和國化學工業(yè)部提出。本標準由化學工業(yè)部西南化工研究院歸口。本標準起草單位：化學工業(yè)部西南化工研究院、北京普萊克斯實用氣體有限公司。本標準主要起草人：何道善。

中華人民共和國國家標準電子工業(yè)用氣體GB/T16944-1997Gasesforelectronicindustry-Nitrogen本標準規(guī)定了電子工業(yè)用液態(tài)和氣態(tài)氮的技術要求、檢驗方法以及包裝、標志等，適用于從分離空氣或氨還原法制得的氮在超大規(guī)模集成電路制造中用作凈化、覆蓋、保護、加壓，也用于化學氣相淀積時的載氣等。氮氣化學性質(zhì)不活潑，不可燃，是一種室息性氣體，分子式：N：。相對分子質(zhì)量：28.0134(按1991年國際相對原子質(zhì)量)2引用標準下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。本標準出版時,所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性。GB/T3864-—1996工業(yè)氮GB/T5832.1-86氣體中微量水分的測定電解法GB/T5832.2—86氣體中微量水分的測定露點法GB/T6285—86氣體中微量氧的測定電化學法GB/T8981—88氣體中微量氫的測定氣相色譜法GB/T8984.1-1997，氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法氣體中總烴的測定GB/T8984.3-1997：火焰離子化法3要求電子工業(yè)用液態(tài)、氣態(tài)氮的技術指標應符合表1的要求。表1技術指標V/v指標氮氣純度,10-99.9996-氧化碳含量,10-0.5二氧化碳含最,10-0.5氫含量，10~.（氧含量,10-0.5總烴(以甲烷計)含量,1

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