標準解讀

《GB/T 16942-2009 電子工業(yè)用氣體 氫》相比于《GB/T 16942-1997 電子工業(yè)用氣體 氫》，主要在以下幾個方面進行了調(diào)整和更新：

  1. 范圍與規(guī)范性引用文件：2009版標準更新了規(guī)范性引用文件，納入了最新發(fā)布的相關(guān)國家標準和行業(yè)標準，確保了技術(shù)內(nèi)容的時效性和準確性。

  2. 術(shù)語和定義：新增或修訂了一些專業(yè)術(shù)語和定義，以更準確地描述氫氣的質(zhì)量要求和測試方法，便于讀者理解和執(zhí)行標準。

  3. 產(chǎn)品分類與要求：對氫氣的純度級別進行了重新劃分，并調(diào)整了不同級別氫氣的具體要求指標，如雜質(zhì)含量限值。這反映了電子工業(yè)技術(shù)進步對氣體質(zhì)量提出的更高要求。

  4. 試驗方法：更新和細化了氣體檢測和分析的方法，引入了更先進的分析技術(shù)和設(shè)備要求，提高了檢測精度和效率。同時，對于某些特定雜質(zhì)的測定方法也進行了優(yōu)化和明確。

  5. 檢驗規(guī)則：明確了氫氣產(chǎn)品的出廠檢驗、型式檢驗及抽樣規(guī)則，增強了產(chǎn)品質(zhì)量控制的可操作性和規(guī)范性。2009版標準可能還增加了對批次合格判定的嚴格程度。

  6. 包裝、標志、運輸和儲存：這部分內(nèi)容根據(jù)實際操作經(jīng)驗和安全要求進行了修訂，提供了更具體的安全指導和環(huán)保要求，確保氫氣在流通和使用過程中的安全性。

  7. 安全要求：鑒于氫氣的特殊性質(zhì)，2009版標準可能加強了對安全使用的指導和警告信息，以避免事故的發(fā)生。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2009-10-30 頒布
  • 2010-05-01 實施
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文檔簡介

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜１６９４２—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７

電子工業(yè)用氣體氫

犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犎狔犱狉狅犵犲狀

２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜１６９４２—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７《電子工業(yè)用氣體氫》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７相比主要變化如下：

———修改電子工業(yè)用氫的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第２章，本版的第２章）；

———修改技術(shù)指標內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第３章，本版的第３章）；

———修改電子工業(yè)用氫抽樣規(guī)則（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的４．１，本版的４．１．１、４．１．２）；

———修改電子工業(yè)用氫采樣要求（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的４．２，本版的４．１．３）；

———修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法（１６９４２—１９９７的４．４、４．６，本版的４．３）；

———修改總烴分析方法的檢測限（１６９４２—１９９７的４．７，本版的４．５）；

———修改水分含量的分析方法（１６９４２—１９９７的４．８，本版的４．７）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第５章，本版的第５章）；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業(yè)用氫中的氮、一氧化碳、二氧

化碳組分的方法寫入該附錄（見附錄Ａ）。

本標準的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標準由全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會提出。

本標準由全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會歸口。

本標準起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設(shè)計院。

本標準主要起草人：周澤義、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７。

Ⅰ

書

犌犅／犜１６９４２—２００９

電子工業(yè)用氣體氫

１范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術(shù)要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于以氫氣為原料經(jīng)凈化制取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業(yè)用氫氣。它們主

要被用來提供還原氣氛，作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。

分子式：Ｈ２。

相對分子質(zhì)量：２．０１５８８（按２００５年國際相對原子質(zhì)量計算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０—２００９危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３６３４．１氫氣第１部分工業(yè)氫

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ４９６２氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ／Ｔ６２８５氣體中微量氧的測定電化學法

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定

３技術(shù)要求

電子工業(yè)用氣體氫的質(zhì)量應(yīng)符合表１的要求。

表１技術(shù)指標

項目指標

－２

氫（Ｈ２）純度（體積分數(shù)）／１０≥９９．９９９９９９．９９９７９９．９９９５

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．５２．０２

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．２０．２０．５

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分數(shù)）／１０－６＜０．０５０．５

０．２

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．０５０．５

總烴（以甲烷計）含量（體積分數(shù)）／１０－６＜０．０５０．２０．５

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．２０．２０．５

總雜質(zhì)含量（體積分

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