標準解讀
GB/T 16942-1997是一項中華人民共和國國家標準,全稱為《電子工業(yè)用氣體 氫》。該標準規(guī)定了電子工業(yè)中使用的氫氣的質(zhì)量要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和儲存要求,旨在確保氫氣作為電子工業(yè)原材料時的純度與安全性,滿足半導體制造、平板顯示及其他高科技電子設(shè)備生產(chǎn)過程中的嚴格需求。
標準內(nèi)容概覽:
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范圍:明確了本標準適用于電子工業(yè)生產(chǎn)過程中使用的氫氣,規(guī)定了其技術(shù)條件及試驗、檢驗、包裝、標識、運輸和儲存的具體要求。
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規(guī)范性引用文件:列出了實施本標準時需要參考的其他相關(guān)國家標準或規(guī)范文件。
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術(shù)語和定義:對標準中涉及的專業(yè)術(shù)語給出明確的定義,幫助讀者理解標準具體內(nèi)容。
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要求:
- 純度:詳細規(guī)定了氫氣的純度要求,包括對雜質(zhì)(如氧氣、氮氣、水、碳氫化合物等)的最大允許含量,以ppm(百萬分之一)為單位進行限定。
- 物理化學性質(zhì):如露點、密度、壓力等指標也需符合一定的標準。
- 其它特性:可能還包括對毒性和可燃性的控制要求,確保使用安全。
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試驗方法:介紹了如何通過科學方法檢測氫氣的純度、雜質(zhì)含量及其它關(guān)鍵性能指標,確保測試結(jié)果的準確性和重復性。
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檢驗規(guī)則:規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗程序、抽樣方法、合格判定準則等,確保每批次產(chǎn)品的質(zhì)量可控。
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包裝、標志、運輸和儲存:
- 包裝:要求氫氣的容器應(yīng)能有效防止外界污染,且能承受相應(yīng)的壓力,保證運輸安全。
- 標志:明確標記產(chǎn)品信息,包括但不限于生產(chǎn)商名稱、批號、純度等級、生產(chǎn)日期等。
- 運輸:提供運輸過程中的安全措施和注意事項,確保氫氣的安全運輸。
- 儲存:說明了氫氣儲存條件,如溫度、壓力、避光避熱等要求,以防變質(zhì)或危險事故的發(fā)生。
實施意義:
該標準的制定與執(zhí)行對于提升電子工業(yè)用氫氣的質(zhì)量控制水平、保障生產(chǎn)安全、促進電子產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進步和產(chǎn)品質(zhì)量具有重要意義。它為電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)氫氣的供應(yīng)商和用戶提供了一套統(tǒng)一的標準體系,有助于提升整個產(chǎn)業(yè)鏈的標準化水平和國際競爭力。
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文檔簡介
中華人民共和國國家標準GB/T16942-1997電子工業(yè)用氣體Gasesforlectronicindustry--Hydrogen1997-08-13發(fā)布1998-05-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布
GB/T16942-1997前本標準是根據(jù)SEMIC3.19-93鋼瓶裝氫標準》95年版)制定的,在技術(shù)要求上與之等同,試驗方法與之等效。在將SEMIC3.19一93轉(zhuǎn)化為本國標準時,結(jié)合我國實際情況,刪去了SEMIC3.19一93中僅作為參考的說明和物理常數(shù)及注釋等內(nèi)容,試驗方法中增加了抽樣、采樣和氫氣純度三條,除氮含量的測定采用SEMIC3.19一93的方法外,其余各項雜質(zhì)含量的測定分別采用我國相應(yīng)的通用試驗方法國家標準,同時對檢測限和標樣要求按SEMI標準規(guī)定進行了適當?shù)恼{(diào)整。以上變動與SEMI標準無實質(zhì)性差異,使標準技術(shù)內(nèi)容更加完整。本標準由中華人民共和國化學工業(yè)部提出。本標準由化學工業(yè)部西南化工研究院歸口。本標準起草單位:化學工業(yè)部西南化工研究院。本標準主要起草人:陳雅麗、戴培述。
中華人民共和國國家標準電子工業(yè)用氣體CB/T16942-1997Gasesforelectronicindustry-Hydrogen范圍本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術(shù)要求、試驗方法和包裝、標志、安全等。本標準適用于以工業(yè)氫為原料經(jīng)純化制取的鋼瓶裝氫氣。氫主要被用來提供還原氣敘,作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。分子式:H:相對分子質(zhì)量:2.016(按1991年國際相對原子質(zhì)量)2引用標準下列標準所包含的條文,通過在本標準中引用而構(gòu)成為本標準的條文。本標準出版時,所示版本均為有效。所有標準都會被修訂,使用本標準的各方應(yīng)探討使用下列標準最新版本的可能性。GB/T3634—1995氫氣GB/T5832.1—86氣體中微量水分的測定電解法GB/T5832.2—86氣體中微量水分的測定露點法GB/T6285—86氣體中微量氧的測定電化學法GB/T6681—86氣體化工產(chǎn)品采樣通則GB/T8984.1—1997氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB/T8984.3-1997氣體中總烴的測定火焰離子化法3要求電子工業(yè)用氫技術(shù)指標應(yīng)符合表1的要求。表1技術(shù)指標V/V氫純度,10-99.9995復含最:10-氧含量,10~0-氧化碳含量,10-0.5二氧化碳含量,10一0.5總烴(以甲燒計)含量,10-0
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