GB/T 16594-2008微米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則

犐犆犛７１．０４０．９９

犖５３

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１６５９４—２００８

代替ＧＢ／Ｔ１６５９４—１９９６

微米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則

犌犲狀犲狉犪犾狉狌犾犲狊犳狅狉犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳犾犲狀犵狋犺犻狀犿犻犮狉狅狀狊犮犪犾犲犫狔犛犈犕

２００８０９１８發(fā)布２００９０５０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書

犌犅／犜１６５９４—２００８

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１６５９４—１９９６《微米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＧＢ／Ｔ１６５９４—１９９６相比主要變化如下：

———將“測(cè)量方法”改為“測(cè)量方法通則”；

———將“誤差分析”改為“不確定度評(píng)定”；

———增加樣品變形產(chǎn)生的不確定度評(píng)定；

———改用實(shí)驗(yàn)方法獲取圖像測(cè)量的瞄準(zhǔn)不確定度量值；

———增加“被測(cè)長(zhǎng)度方向的調(diào)整”附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ為規(guī)范性附錄，附錄Ｂ～附錄Ｄ為資料性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位：上海元寶能源技術(shù)有限公司、上海理工大學(xué)、上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院、同

濟(jì)大學(xué)、中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第７２５研究所。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：張訓(xùn)彪、盧德生、鄧保慶、丁臻敏、劉悅、高文華、徐國(guó)照。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１６５９４—１９９６。

Ⅰ

書

犌犅／犜１６５９４—２００８

微米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡測(cè)量微米級(jí)長(zhǎng)度的通用原則。適用于測(cè)量（０．５～１０）μｍ的長(zhǎng)度。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是

否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＪＪＦ１００１—１９９８通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義

ＪＪＧ５５０—１９８８掃描電子顯微鏡國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程

ＪＪＦ１０５９—１９９９測(cè)量不確定度評(píng)定與表示

ＢＩＰＭＩＥＣＩＦＣＣＩＳＯＩＵＰＡＣＩＵＰＡＰＯＩＭＬ—１９９３測(cè)量不確定度表示指南（ＧｕｉｄｅｔｏｔｈｅＥｘ

ｐｒｅｓｓｉｏｎｏｆＵｎｃｅｒｔａｉｎｔｙｉｎＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ）

３術(shù)語(yǔ)和定義、符號(hào)、縮略語(yǔ)

３．１術(shù)語(yǔ)和定義

ＪＪＦ１００１—１９９８確定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

３．１．１

標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度狊狋犪狀犱犪狉犱犾犲狀犵狋犺

量值足夠穩(wěn)定，經(jīng)過精確標(biāo)定，獲得其測(cè)得值和不確定度，并由權(quán)威機(jī)構(gòu)批準(zhǔn)發(fā)布的客觀存在的

長(zhǎng)度。

３．１．２

被測(cè)長(zhǎng)度犿犲犪狊狌狉犲犱犾犲狀犵狋犺

通過測(cè)量獲得其測(cè)得值和不確定度的客觀存在的長(zhǎng)度。

３．１．３

被測(cè)物質(zhì)犿犲犪狊狌狉犲犱犿犪狋狋犲狉

承載被測(cè)長(zhǎng)度的物質(zhì)。

３．１．４

標(biāo)稱放大倍率狀狅犿犻狀犪犾犿犪犵狀犻犳犻犮犪狋犻狅狀

掃描電鏡自身顯示的放大倍率。

３．１．５

瞄準(zhǔn)不確定度犪犻犿狌狀犮犲狉狋犪犻狀狋狔

測(cè)量放大的圖像時(shí)，瞄準(zhǔn)被測(cè)長(zhǎng)度的標(biāo)記存在