標準解讀

《GB/T 14851-2009 電子工業(yè)用氣體 磷化氫》相比于《GB/T 14851-1993 電子工業(yè)用氣體 磷化氫》, 主要存在以下幾個方面的更新與調(diào)整：

  1. 范圍和適用性：2009版標準可能對磷化氫氣體的應(yīng)用領(lǐng)域、適用條件或測試范圍進行了細化或擴展，以適應(yīng)電子工業(yè)技術(shù)的發(fā)展和市場需求的變化。

  2. 技術(shù)要求：新標準在磷化氫氣體的純度、雜質(zhì)含量、物理及化學(xué)特性等方面可能提出了更嚴格或更具體的要求，以確保其在電子工業(yè)應(yīng)用中的性能和安全性。

  3. 檢測方法：隨著分析技術(shù)的進步，2009版標準可能引入了新的檢測技術(shù)和方法，用于更準確、高效的測定磷化氫及其雜質(zhì)含量，提高了檢測的可靠性和精確度。

  4. 包裝、標志與儲存：針對產(chǎn)品的包裝材料、標識信息、儲存條件及運輸安全要求，新標準可能給出了更為詳細的規(guī)定，以保障產(chǎn)品在流通和使用過程中的質(zhì)量穩(wěn)定性和操作安全性。

  5. 環(huán)保與安全：鑒于對環(huán)境保護和職業(yè)健康安全的日益重視，2009版標準可能加入了更多關(guān)于磷化氫氣體在生產(chǎn)、使用及廢棄處理過程中的環(huán)保要求和安全措施。

  6. 術(shù)語和定義：為了提高標準的清晰度和國際兼容性，新標準可能對相關(guān)專業(yè)術(shù)語進行了修訂或增補，使其更加準確和規(guī)范。

  7. 標準結(jié)構(gòu)與格式：根據(jù)國家標準制定的最新規(guī)定，2009版標準在文檔結(jié)構(gòu)、表述方式、引用標準等方面可能進行了優(yōu)化，以符合現(xiàn)代標準化的要求，便于使用者查閱和執(zhí)行。


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  • 2009-10-30 頒布
  • 2010-05-01 實施
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文檔簡介

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜１４８５１—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３

電子工業(yè)用氣體磷化氫

犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犘犺狅狊狆犺犻狀犲

２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜１４８５１—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３《電子工業(yè)用氣體磷化氫》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３相比主要變化如下：

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的第２章，本版的第２章）；

———修改技術(shù)指標內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的第３章，本版的第３章）；

———增加電子工業(yè)用磷化氫采樣安全要求（本版的４．１．２）；

———增加尾氣處理的要求（本版的４．３）；

———修改砷化氫、氮、氧（氬）組分的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．２、４．５、４．６，本版的４．３）；

———刪去氫的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．４）；

———修改二氧化碳、總烴含量的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．３，本版的４．５、４．６）；

———增加一氧化碳的分析方法（見４．５）；

———增加標準樣品的規(guī)定（見４．７）；

———修改水分的分析方法（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的４．７，本版的４．８）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；

———刪去ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３的附錄Ａ；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業(yè)用磷化氫中的砷化氫、氮、氧

（氬）組分的方法寫入該附錄（見附錄Ａ）。

本標準的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會提出。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會歸口。

本標準起草單位：中國計量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計院、大連光明化工研究院。

本標準主要起草人：周澤義、孫福楠、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４８５１—１９９３。

Ⅰ

書

犌犅／犜１４８５１—２００９

電子工業(yè)用氣體磷化氫

１范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用磷化氫的技術(shù)要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質(zhì)磷與水或堿反應(yīng)等方法獲得并經(jīng)精制得到的磷化氫

產(chǎn)品。它主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。

分子式：ＰＨ３。

相對分子質(zhì)量：３３．９９７５８（按２００５年國際相對原子質(zhì)量計算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

ＧＢ１１６４０鋁合金無縫氣瓶

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

３技術(shù)要求

電子工業(yè)用氣體磷化氫的質(zhì)量應(yīng)符合表１的要求。

表１技術(shù)指標

項目指標

－２

磷化氫（ＰＨ３）純度（體積分數(shù)）／１０≥９９．９９９７９９．９９９９９．９９

－６

砷化氫（ＡｓＨ３）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．１２１０

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜１３５０

－６

氧（氬）（Ｏ２／Ａｒ）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．５１５

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分數(shù)）／１０－６＜０．５０．５１

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．５１１０

總烴（以甲烷計）含量（體積分數(shù)）／１０－６＜０．２１４

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分數(shù)）／１０＜１１１

雜質(zhì)總含量（體積分數(shù)）／１０－６≤３１０１００

金屬離子

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