標準解讀
GB/T 14851-1993 是一項中華人民共和國國家標準,全稱為《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》。該標準主要規(guī)定了電子工業(yè)中使用的磷化氫氣體的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和儲存要求,旨在確保磷化氫氣體的質(zhì)量滿足電子工業(yè)應(yīng)用的需求,保障生產(chǎn)安全與產(chǎn)品質(zhì)量。
標準內(nèi)容概覽:
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范圍:明確了本標準適用的磷化氫氣體種類及其在電子工業(yè)中的具體應(yīng)用范圍。
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引用標準:列出了實施本標準時需要參考的其他相關(guān)國家標準和行業(yè)標準,這些標準通常涉及氣體檢測、分析方法及安全規(guī)范等。
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定義:對磷化氫氣體及其相關(guān)術(shù)語進行了界定,確保標準執(zhí)行過程中的一致性和準確性。
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技術(shù)要求:
- 純度:規(guī)定了磷化氫氣體的最低純度要求,通常以體積分數(shù)或質(zhì)量分數(shù)表示,確保其在電子元件制造等過程中不會引入雜質(zhì)。
- 雜質(zhì)含量:詳細列出了可能存在的雜質(zhì)種類及其最大允許含量,如水分、氧含量、酸性或堿性物質(zhì)等,以防止這些雜質(zhì)對半導體材料或電路造成損害。
- 物理性質(zhì):可能包括氣體的壓力、溫度條件下的物理狀態(tài)要求等。
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試驗方法:描述了用于測定磷化氫氣體純度、雜質(zhì)含量等關(guān)鍵指標的具體測試步驟和方法,確保檢測結(jié)果的可靠性和可重復性。
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檢驗規(guī)則:規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗程序、取樣規(guī)則、合格判定準則等,以保證每批次產(chǎn)品的質(zhì)量符合標準要求。
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包裝、標志、運輸和儲存:
- 包裝:要求氣體容器應(yīng)符合安全標準,能有效防止泄漏,并標注有明確的產(chǎn)品信息和警示標志。
- 標志:需清晰標示氣體名稱、純度、批號、生產(chǎn)日期、有效期、生產(chǎn)商信息等,便于追溯和安全使用。
- 運輸:提供運輸過程中的安全措施和注意事項,確保氣體在搬運過程中的安全性。
- 儲存:說明了適宜的儲存條件,如溫度、壓力、避光、通風等要求,以防氣體變質(zhì)或發(fā)生危險。
實施意義:
該標準為電子工業(yè)中磷化氫氣體的生產(chǎn)、檢測、銷售及使用提供了統(tǒng)一的標準依據(jù),有助于提升產(chǎn)品質(zhì)量,促進安全生產(chǎn),同時也為相關(guān)企業(yè)的產(chǎn)品出口和國際貿(mào)易提供了技術(shù)支撐。通過遵循此標準,可以有效減少因氣體質(zhì)量問題導致的電子元器件失效或生產(chǎn)事故,保障電子產(chǎn)品的性能和可靠性。
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文檔簡介
UDG661.637:621.3G87中華人民共和國國家標準GB/T14851-93電子工業(yè)用氣體磷化氫Gasforelectronicindustry-Phosphine1993-12-30發(fā)布1994-10-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布
中華人民共和國國家標準電子工業(yè)用氣體磷化氫GB/T14851-93Gasforelectronicindustry-Phosphine主題內(nèi)容與適用范圍本標準規(guī)定了磷化氫產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、安全要求以及包裝、標志、運輸與財存。本標準適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質(zhì)磷與水或堿反應(yīng)等方法獲得并經(jīng)精制得到的磷化氫產(chǎn)品。它主要用于半導體器件和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。麟化氫是一種劇毒、可燃、具有腐魚味的無色氣體,在空氣中高濃度時能自燃。分子式:PH:相對分子質(zhì)量:33.9975(按1989年國際原子量)引用標準GB190危險貨物包裝標志GB4845氨氣檢驗方法GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶GB5274氣體分析校準用混合氣體的制備稱量法GB5832.11氣體中微量水分的測定電解法GB7144氣瓶顏色標志GB7445氫氣GB8980高純氮GB9721化學試劑分子吸收分光光度法通則(紫外和可見光部分)3技術(shù)要求薛化氫的質(zhì)量應(yīng)符合表1的技術(shù)要求。表1技術(shù)要求電子級發(fā)光二極管級磷化氫純度,10-99.981999.9828砷化氫含量,10-4VY102二氧化酸含量,10-10氫含量,10-°包含量,10-氧含量,10-總烴含量,10-水含量,10
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