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半導(dǎo)體物理基礎(chǔ)知識(shí)1.1導(dǎo)體,絕緣體和半導(dǎo)體 物體的導(dǎo)電能力,一般用材料電阻率的大小來衡量。電阻率越大,說明這種材料的導(dǎo)電能力越弱。表1-1給出以電阻率來區(qū)分導(dǎo)體,絕緣體和半導(dǎo)體的大致范圍。
圖1.2-1第三層4個(gè)電子第二層8個(gè)電子第一層2個(gè)電子Si+14P+15B最外層5個(gè)電子最外層3個(gè)電子siPB原子最外層的電子稱為價(jià)電子,有幾個(gè)價(jià)電子就稱它為幾族元素。若原子失去一個(gè)電子,稱這個(gè)原子為正離子,若原子得到一個(gè)電子,則成為一個(gè)帶負(fù)電的負(fù)離子。原子變成離子的過程稱為電離。固體可分為晶體和非晶體兩大類。原子無規(guī)則排列所組成的物質(zhì)為非晶體。而晶體則是由原子規(guī)則排列所組成的物質(zhì)。晶體有確定的熔點(diǎn),而非晶體沒有確定熔點(diǎn),加熱時(shí)在某一溫度范圍內(nèi)逐漸軟化。在整個(gè)晶體內(nèi),原子都是周期性的規(guī)則排列,稱之為單晶。由許多取向不同的單晶顆粒雜亂地排列在一起的固體稱為多晶。硅晶體的特點(diǎn)是原子之間靠共有電子對(duì)連接在一起。硅原子的4個(gè)價(jià)電子和它相鄰的4個(gè)原子組成4對(duì)共有電子對(duì)。這種共有電子對(duì)就稱為“共價(jià)鍵”。如圖1.2-2所示。晶體對(duì)稱的,有規(guī)則的排列叫做晶體格子,簡(jiǎn)稱晶格,最小的晶格叫晶胞。圖1.2-3表示一些重要的晶胞。
(a)簡(jiǎn)單立方(Po)(b)體心立方(Na、W)(c)面心立方(Al、Au)圖1.2-3正四面實(shí)體結(jié)構(gòu)圖1.2-4金鋼石結(jié)構(gòu)金剛石結(jié)構(gòu)是一種復(fù)式格子,它是兩個(gè)面心立方晶格沿對(duì)角線方向上移1/4互相套構(gòu)而成(見圖1.2-4)。為了簡(jiǎn)便明了,以后分析問題時(shí)只要采用圖1.2-2所示的平面結(jié)構(gòu)示意圖即可。晶體中的原子可以看成是分布在一系列平行而等距的平面上,這些平面就稱為晶面。每個(gè)晶面的垂直方向稱為晶向。圖1.2-5是幾種常用到的晶面和晶向。(100晶面)(110晶面)(111晶面)1.2.7原子密排面和解理面:在晶體的不同面上,原子的疏密程度是不同的,若將原子看成是一些硬的球體,它們?cè)谝粋€(gè)平面上最密集的排列方式將如圖1.2-6所示,按照這樣方式排列的晶面就稱為原子密排面。
圖1.2-6比較簡(jiǎn)單的一種包含原子密排面的晶格是面心立方晶格。而金剛石晶格又是兩個(gè)面心立方晶格套在一起,相互之間。沿著晶胞體對(duì)角線方向平移1/4而構(gòu)成的。我們來看面心立方晶格中的原子密排面。按照硬球模型可以區(qū)分在(100)(110)(111)幾個(gè)晶面上原子排列的情況,如圖1.2-7所示。金鋼石晶格是由面心晶格構(gòu)成,所以它的(111)晶面也是原子密排面,它的特點(diǎn)是,在晶面內(nèi)原子密集、結(jié)合力強(qiáng),在晶面之間距離較大,結(jié)合薄弱,由此產(chǎn)生以下性質(zhì):(a)由于(111)密排面本身結(jié)合牢固而相互間結(jié)合脆弱,在外力作用下,晶體很容易沿著(111)晶面劈裂,晶體中這種易劈裂的晶面稱為晶體的解理面。(b)由于(111)密排面結(jié)合牢固,化學(xué)腐蝕就比較困難和緩慢,而(100)面原子排列密度比(111)面低。所以(100)面比(111)面的腐蝕速度快,選擇合適的腐蝕液和腐蝕溫度,(100)面腐蝕速度比(111)面大的多,因此,用(100)面硅片采用這種各向異性腐蝕的結(jié)果,可以使硅片表面產(chǎn)生許多密布表面為(111)面的四面方錐體,形成絨面狀的硅表面。(100)(110)(111)圖1.2-7在原子中內(nèi)層電子受原子核束縛較緊,相應(yīng)的能量較小,外層電子(價(jià)電子)能量較大。圖1.3-1表示所謂能級(jí)圖。E5E4E3(8)E2(8)E1(2)圖1.3-1晶體由大量原子組成,一個(gè)原子的電子不僅受到這個(gè)原子的作用。還將受到相鄰原子的作用。相鄰原子上的電子軌道將發(fā)生一定程度的相互交迭,通過軌道的交迭,電子可以從一個(gè)原子轉(zhuǎn)移到相鄰的原子上去。這時(shí)電子已不屬于個(gè)別原子而成為整個(gè)晶體所共有,這種電子運(yùn)動(dòng)稱為“共有化”。電子在原子之間的轉(zhuǎn)移不是任意的,電子只能在能量相同的軌道之間發(fā)生轉(zhuǎn)移。圖1.3-2表示出這種共有化軌道的能級(jí)圖。能帶禁帶能帶禁帶能帶從圖中可見,晶體中電子軌道的能級(jí)分成由低到高的許多組。分別和各原子能級(jí)相對(duì)應(yīng),每一組都包含著大量的能量很接近的能級(jí)。這樣一組密集的能級(jí)看上去象一條帶子,所以被稱之為能帶。能帶之間的間隙叫做禁帶。未被電子填滿的能帶稱為導(dǎo)帶,已被電子填滿的能帶稱為滿帶。導(dǎo)體、半導(dǎo)體,絕緣體導(dǎo)電性質(zhì)的差異可以用它們的能帶圖的不同來加以說明。(圖1.3-3)絕緣體半導(dǎo)體導(dǎo)體EcEvE9E9導(dǎo)帶禁帶價(jià)帶半導(dǎo)體之所以得到廣泛的應(yīng)用,是因?yàn)樗嬖谥恍?dǎo)體和絕緣體所沒有的獨(dú)特性能。導(dǎo)體,絕緣體的電阻率隨溫度變化很小,(導(dǎo)體溫度每升高一度,電組率大約升高0.4%)。而半導(dǎo)體則不一樣,溫度每升高或降低1度,其電阻就變化百分之幾,甚至幾十,當(dāng)溫度變化幾十度時(shí),電阻變化幾十,幾萬倍,而溫度為絕對(duì)零度(-273℃)時(shí),則成為絕緣體。當(dāng)光線照射到某些半導(dǎo)體上時(shí),它們的導(dǎo)電能力就會(huì)變得很強(qiáng),沒有光線時(shí),它的導(dǎo)電能力又會(huì)變得很弱。在純凈的半導(dǎo)體材料中,適當(dāng)摻入微量雜質(zhì),導(dǎo)電能力會(huì)有上百萬的增加。這是最特殊的獨(dú)特性能。溫差電效應(yīng),霍爾效應(yīng),發(fā)光效應(yīng),光伏效應(yīng),激光性能等。半導(dǎo)體有如此之多的獨(dú)特性能,是建立在半導(dǎo)體材料本身純度很高的基礎(chǔ)上的。半導(dǎo)體的純度常用幾個(gè)“9”來表示。比如硅材料的純度達(dá)到6個(gè)“9”,就是說硅的純度達(dá)到99.9999%,其余0.0001%(即10-6)為雜質(zhì)總含量。半導(dǎo)體材料中的雜質(zhì)含量,通常還以“”與“”來表示。一個(gè)就是十億分之一(10-9)一個(gè)“”就是百萬分之一(10-6),幾種純度表示法的相互關(guān)系如表1.2所列。1.6.1半導(dǎo)體中的“電子”和“空穴”,本征半導(dǎo)體純凈的半導(dǎo)體,在不受外界作用時(shí),導(dǎo)電能力很差。而在一定的溫度或光照等作用下,晶體中的價(jià)電子有一部分可能會(huì)沖破共價(jià)鍵的束縛而成為一個(gè)自由電子。同時(shí)形成一個(gè)電子空位,稱之為“空穴”。從能帶圖上看,就是電子離開了價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶,從而在價(jià)帶中留下了空穴,產(chǎn)生了一對(duì)電子和空穴。如圖1.6-1所示。通常將這種只含有“電子空穴對(duì)”的半導(dǎo)體稱為本征半導(dǎo)體?!氨菊鳌敝钢簧婕鞍雽?dǎo)體本身的特性。半導(dǎo)體就是靠著電子和空穴的移動(dòng)來導(dǎo)電的,因此,電子和空穴被統(tǒng)稱為載流子。Eg導(dǎo)帶(禁帶寬)價(jià)帶由于熱或光激發(fā)而成對(duì)地產(chǎn)生電子空穴對(duì),這種過程稱為“產(chǎn)生”??昭ㄊ枪矁r(jià)鍵上的空位,自由電子在運(yùn)動(dòng)中與空穴相遇時(shí),自由電子就可能回到價(jià)鍵的空位上來,而同時(shí)消失了一對(duì)電子和空穴,這就是“復(fù)合”。在一定溫度下,又沒有光照射等外界影響時(shí),產(chǎn)生和復(fù)合的載流子數(shù)相等,半導(dǎo)體中將在產(chǎn)生和復(fù)合的基礎(chǔ)上形成熱平衡。此時(shí),電子和空穴的濃度保持穩(wěn)定不變,但是產(chǎn)生和復(fù)合仍在持續(xù)的發(fā)生。純凈的半導(dǎo)體材料中若含有其它元素的原子,那么,這些其它元素的原子就稱為半導(dǎo)體材料中的雜質(zhì)原子。對(duì)硅的導(dǎo)電性能有決定影響的主要是三族和五族元素原子。還有些雜質(zhì)如金,銅,鎳,錳,鐵等,在硅中起著復(fù)合中心的作用,影響壽命,產(chǎn)生缺陷,有著許多有害的作用。1.6.3.1N型半導(dǎo)體磷(P),銻()等五族元素原子的最外層有五個(gè)電子,它在硅中是處于替位式狀態(tài),占據(jù)了一個(gè)原來應(yīng)是硅原子所處的晶格位置,如圖1.6-2。磷原子最外層五個(gè)電子中只有四個(gè)參加共價(jià)鍵,另一個(gè)不在價(jià)鍵上,成為自由電子,失去電子的磷原子是一個(gè)帶正電的正離子,沒有產(chǎn)生相應(yīng)的空穴。正離子處于晶格位置上,不能自由運(yùn)動(dòng),它不是載流子。因此,摻入磷的半導(dǎo)體起導(dǎo)電作用的,主要是磷所提供的自由電子,這種依靠電子導(dǎo)電的半導(dǎo)體稱為電子型半導(dǎo)體,簡(jiǎn)稱N型半導(dǎo)體。圖1.6-3表示N型半導(dǎo)體材料的能帶圖。而為半導(dǎo)體材料提供一個(gè)自由電子的v族雜質(zhì)原子,通常稱為施主雜質(zhì)。多余電子圖1.6-2施主能級(jí)導(dǎo)帶電離能價(jià)帶1.6.3.2P型半導(dǎo)體硼(B)鋁()鎵()等三族元素原子的最外層有三個(gè)電子,它在硅中也是處于替位式狀態(tài),如圖1.6-4所示。硼原子最外層只有三個(gè)電子參加共價(jià)鍵,在另一個(gè)價(jià)鍵上因缺少一個(gè)電子而形成一個(gè)空位鄰近價(jià)鍵上的價(jià)電子跑來填補(bǔ)這個(gè)空位,就在這個(gè)鄰近價(jià)鍵上形成了一個(gè)新的空位,這就是“空穴”。硼原子在接受了鄰近價(jià)鍵的價(jià)電子而成為一個(gè)帶負(fù)電的負(fù)離子,它不能移動(dòng),不是載流子。因此在產(chǎn)生空穴的同時(shí)沒有產(chǎn)生相應(yīng)的自由電子。這種依靠空穴導(dǎo)電的半導(dǎo)體稱為空穴型半導(dǎo)體,簡(jiǎn)稱P型半導(dǎo)體。圖1.6-5表示P型半導(dǎo)體材料的能帶圖,為半導(dǎo)體材料提供一個(gè)空穴的Ⅲ族雜質(zhì)原子,通常稱之為受主雜質(zhì)。空鍵接受電子空穴導(dǎo)帶電離能價(jià)帶受主能級(jí)實(shí)際,一塊半導(dǎo)體中并非僅僅只存在一種類型的雜質(zhì),常常同時(shí)含有施主和受主雜質(zhì),此時(shí),施主雜質(zhì)所提供的電子會(huì)通過“復(fù)合”而與受主雜質(zhì)所提供的電子相抵消,使總的載流子數(shù)目減少,這種現(xiàn)象就成為“補(bǔ)償”。在有補(bǔ)償?shù)那闆r下,決定導(dǎo)電能力的是施主和受主濃度之差。若施主和受主雜質(zhì)濃度近似相等時(shí),通過復(fù)合會(huì)幾乎完全補(bǔ)償,這時(shí)半導(dǎo)體中的載流子濃度基本上等于由本征激發(fā)作用而產(chǎn)生的自由電子和空穴的濃度。這種情況的半導(dǎo)體稱之為補(bǔ)償型本征半導(dǎo)體。在半導(dǎo)體器件產(chǎn)生過程中,實(shí)際上就是依據(jù)補(bǔ)償作用,通過摻雜而獲得我們所需要的導(dǎo)電類型來組成所要生產(chǎn)的器件。在摻有雜質(zhì)的半導(dǎo)體中,新產(chǎn)生的載流子數(shù)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過原來未摻入雜質(zhì)前載流子的數(shù)量,半導(dǎo)體的導(dǎo)電性質(zhì)主要由占大多數(shù)的新產(chǎn)生的載流子來決定,所以,在P型半導(dǎo)體中,空穴是多數(shù)載流子,而電子是少數(shù)載流子。在N型半導(dǎo)體中,電子是多數(shù)載流子,空穴是少數(shù)載流子。摻入的雜質(zhì)越多,多載流子的濃度(單位體積內(nèi)載流子的數(shù)目)越大,則半導(dǎo)體的電阻率越低,它的導(dǎo)電能力越強(qiáng)。一塊半導(dǎo)體材料處于某一均勻的溫度中,且不受光照等外界因素的作用,即這塊半導(dǎo)體處于平衡狀態(tài),此時(shí)半導(dǎo)體中的載流子稱為平衡態(tài)載流子。半導(dǎo)體一旦受到外界因素作用(如光照,電流注入或其它能量傳遞形式)時(shí),它內(nèi)部載流子濃度就多于平衡狀態(tài)下的載流子濃度。半導(dǎo)體就從平衡狀態(tài)變?yōu)榉瞧胶鉅顟B(tài),人們把處于非平衡狀態(tài)時(shí),比平衡狀態(tài)載流子增加出來的一部分載流子成為非平衡載流子。1.10非平衡載流子的復(fù)合及其壽命當(dāng)引起非平衡載流子產(chǎn)生的外界因素停止后,非平衡載流子不會(huì)永久地存在下去。但也不是一下全部都消失掉,而是隨著時(shí)間逐漸減少消失的,他們的存在時(shí)間有些長(zhǎng)些,有些短些,有一個(gè)平均的存在時(shí)間,這就是我們所說的“非平衡載流子的壽命”。半導(dǎo)體內(nèi)部和表面的復(fù)合作用是使得非平衡載流子逐漸減少直至消失的原因。非平衡載流子也就是由于外界因素引起產(chǎn)生的電子—空穴對(duì)復(fù)合的主要方式有三種:直接復(fù)合,間接復(fù)合和表面復(fù)合。1.10非平衡載流子的復(fù)合及其壽命1.10.1直接復(fù)合電子和空穴在半導(dǎo)體內(nèi)部直接相遇放出光子或引起熱運(yùn)動(dòng)而復(fù)合,復(fù)合的過程在是電子直接在能帶間躍進(jìn),中間無須經(jīng)過任何間接過程,這種復(fù)合稱為直接復(fù)合。一般的雜質(zhì)半導(dǎo)體壽命是和多數(shù)載流子的密度成反比的,或者說半導(dǎo)體的電阻率越低,則壽命越短。電阻率越低,多數(shù)載流子濃度越高,這種非平衡載流子就越有機(jī)會(huì)與多數(shù)載流子相遇復(fù)合,所以壽命就越短。1.10非平衡載流子的復(fù)合及其壽命1.10.2間接復(fù)合某些雜質(zhì)元素即使是很少量地存在于半導(dǎo)體材料中便對(duì)材料的壽命數(shù)值有決定性的影響,晶體中的缺陷也有類似的作用,這說明晶體中的雜質(zhì)原子和缺陷有促進(jìn)非平衡載流子的復(fù)合作用。這種復(fù)合與直接復(fù)合不同,它是通過禁帶中某些雜質(zhì)(缺陷)能級(jí)做為“跳板”來完成的??拷麕е械碾s質(zhì)(缺陷)能級(jí)俘獲導(dǎo)帶中的電子與滿帶中的空穴在其上面間接進(jìn)行復(fù)合的稱之為間接復(fù)合,那些起復(fù)合作用的雜質(zhì)(缺陷)能級(jí)被稱為復(fù)合中心。復(fù)合中心是不斷地起著復(fù)合作用,而不是起了一次復(fù)合作用就停止了。通過復(fù)合中心的間接復(fù)合過程比直接復(fù)合過程強(qiáng)得多。這是因?yàn)殚g接復(fù)合過程每次所要放出的能量比直接復(fù)合的要少,相當(dāng)于分階段放出能量,所以容易得多。因而間接復(fù)合過程大多情況下決定著半導(dǎo)體材料得壽命值。1.10非平衡載流子的復(fù)合及其壽命圖1.10-2直接復(fù)合和間接復(fù)合都是在半導(dǎo)體內(nèi)部完成得,所以也稱為“體內(nèi)復(fù)合”。1.10非平衡載流子的復(fù)合及其壽命半導(dǎo)體表面吸附著外界空氣來的雜質(zhì)分子或原子,半導(dǎo)體表面存在著表面缺陷。這種缺陷是從體內(nèi)延伸到表面的晶格結(jié)構(gòu)在表面中斷,表面原子出現(xiàn)懸空鍵,或者是半導(dǎo)體在加工過程中在表面留下的嚴(yán)重?fù)p傷或內(nèi)應(yīng)力,造成在體內(nèi)更多的缺陷和晶格畸變,這些雜質(zhì)和缺陷形成能接受或施放電子的表面能級(jí),表面復(fù)合就是依靠表面能級(jí)對(duì)電子空穴的俘獲來進(jìn)行復(fù)合的。實(shí)際上表面復(fù)合過程屬于間接復(fù)合,此時(shí)的復(fù)合中心位于半導(dǎo)體材料的表面。1.10非平衡載流子的復(fù)合及其壽命半導(dǎo)體表面表面復(fù)合中心能級(jí)E2表面復(fù)合半導(dǎo)體中的載流子在不停地作無規(guī)則的熱運(yùn)動(dòng),沒有固定方向的流動(dòng),所以半導(dǎo)體中并不產(chǎn)生電流。若在半導(dǎo)體兩端加上一個(gè)電壓,即半導(dǎo)體處于一個(gè)電場(chǎng)中,載流子在電場(chǎng)加速作用下,獲得了附加的運(yùn)動(dòng),這就稱之為載流子的漂移運(yùn)動(dòng)。實(shí)際的晶體中有雜質(zhì)原子,缺陷,晶格原子也不停地振動(dòng)。這些因素都使晶體中載流子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)或運(yùn)動(dòng)方向不斷發(fā)生變化,載流子運(yùn)動(dòng)方向不斷發(fā)生變化的現(xiàn)象,稱之為散射。由于散射的作用,漂移運(yùn)動(dòng)是曲折前進(jìn)的運(yùn)動(dòng)。遷移率是衡量半導(dǎo)體中載流子平均漂移速度的一個(gè)重要參數(shù),其數(shù)值等于在單位電場(chǎng)作用下電子和空穴的定向運(yùn)動(dòng)速度。因此,它反映了載流子運(yùn)動(dòng)的快慢程度。載流子的遷移率隨著溫度,摻雜濃度和缺陷濃度變化。同一種半導(dǎo)體材料,溫度升高,遷移率下降,摻雜濃度,缺陷濃度增加,遷移率同樣逐漸下降。遷移率還和載流子的有效質(zhì)量有關(guān)。電子的有效質(zhì)量比空穴小,所以電子的遷移率比空穴大。遷移率是反映半導(dǎo)體中載流子導(dǎo)電能力的重要參數(shù),摻雜半導(dǎo)體的電導(dǎo)率一方面取決于摻雜濃度,另一方面取決于遷移率的大小。1.12載流子的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng),擴(kuò)散系數(shù),擴(kuò)散長(zhǎng)度向半導(dǎo)體中注入非平衡載流子時(shí),注入部分的載流子密度比其它部分高,載流子會(huì)由密度大的地方向密度小的地方遷移,這種現(xiàn)象叫做載流子的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)。擴(kuò)散的強(qiáng)弱是由載流子濃度的變化決定的,濃度梯度越大,擴(kuò)散也越容易,同時(shí),擴(kuò)散的強(qiáng)弱還與載流子的種類,運(yùn)動(dòng)的速度以及散射的次數(shù)等有關(guān),我們用擴(kuò)散系數(shù)來表示載流子擴(kuò)散能力的強(qiáng)弱。非平衡載流子在擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)過程中不斷地復(fù)合而消失。結(jié)果非平衡載流子密度由注入部分開始向密度小的方向逐漸減小。在連續(xù)注入的條件下,非平衡載流子密度由大到小形成一個(gè)穩(wěn)定的分布。由注入部位到非平衡載流子密度減小到1數(shù)值位置之間的距離稱為載流子的擴(kuò)散長(zhǎng)度,如圖1.12-1所示,它也是半導(dǎo)體材料的重要參數(shù)之一。擴(kuò)散長(zhǎng)度可以理解為:非平衡載流子在平均壽命時(shí)間內(nèi)經(jīng)擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)所通過的距離。1.12載流子的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng),擴(kuò)散系數(shù),擴(kuò)散長(zhǎng)度擴(kuò)散長(zhǎng)度距離載流子密度01.13結(jié)在一塊完整的半導(dǎo)體晶體中,如果一部分是N型半導(dǎo)體,另一部分是P型半導(dǎo)體。在N型半導(dǎo)體中,多數(shù)載流子是電子,電子濃度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過少數(shù)載流子空穴的濃度,而在P型半導(dǎo)體中,空穴是多數(shù)載流子,空穴濃度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過少數(shù)載流子電子的濃度,如圖1.13-1所示。
圖1.13-11.13結(jié)在N型和P型半導(dǎo)體的交界面處存在有電子和空穴濃度梯度,N區(qū)中的電子就向P區(qū)滲透擴(kuò)散,擴(kuò)散的結(jié)果是N型區(qū)域中鄰近P型區(qū)域一邊的薄層內(nèi)有一部分電子擴(kuò)散到N型中去了。由于這個(gè)薄層失去了一些電子,在N區(qū)就形成帶正電荷的區(qū)域。同樣,P型區(qū)域中鄰近N型區(qū)域一邊的薄層內(nèi)有一部分空穴擴(kuò)散到N型區(qū)域一邊去了。由于這個(gè)薄層失去了一空穴,在P區(qū)就形成了帶負(fù)電荷的區(qū)域。這樣在N型區(qū)和P型區(qū)交界面的兩側(cè)形成了帶正,負(fù)電荷的區(qū)域,叫做空間電荷區(qū)。如圖1.13-2。N型P型空間電荷區(qū)圖1.13-21.13結(jié)空間電荷區(qū)中的正負(fù)電荷間形成電場(chǎng)。電場(chǎng)的方向是由N型區(qū)域指向P型區(qū)域,這個(gè)由于載流子濃度不均勻而引起擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)后形成的電場(chǎng)稱為自建電場(chǎng)。我們知道,載流子在電場(chǎng)作用下,會(huì)產(chǎn)生漂移運(yùn)動(dòng)。自建電場(chǎng)將N區(qū)向P區(qū)擴(kuò)散的電子接回到N區(qū),把P區(qū)向N區(qū)擴(kuò)散的空穴接回到P區(qū),由此可見,在空間電荷區(qū)內(nèi),自建電場(chǎng)引起電子和空穴的漂移運(yùn)動(dòng)方向與它們各自的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)方向正好相反。開始時(shí),電子和空穴的擴(kuò)散占優(yōu)勢(shì),隨著電子和空穴的不斷擴(kuò)散??臻g電荷的數(shù)量不斷增強(qiáng)自建電場(chǎng)也越來越強(qiáng),直到載流子的漂移運(yùn)動(dòng)和擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)相抵消時(shí)(即大小相等,方向相反),這時(shí),N型區(qū)域內(nèi)的電子和P型區(qū)域的空穴不再減少,空間電荷區(qū)也不再加厚,達(dá)到了動(dòng)態(tài)平衡??臻g電荷區(qū)也叫阻擋層,(意思時(shí)阻止電子和空穴的繼續(xù)擴(kuò)散),就是我們通常講的結(jié)。結(jié)時(shí)許多半導(dǎo)體組件的核心,結(jié)的性質(zhì)集中反映了半導(dǎo)體導(dǎo)電性能的特點(diǎn),如:存在兩種載流子,載流子有漂移擴(kuò)散和產(chǎn)生,復(fù)合等基本運(yùn)動(dòng)的形成。所以,結(jié)是半導(dǎo)體組件入門的基礎(chǔ)。1.13結(jié)1.13.2結(jié)的整流現(xiàn)象當(dāng)結(jié)正向連接時(shí),即P型半導(dǎo)體區(qū)域接到電池的正極,N型半導(dǎo)體區(qū)域接到電池的負(fù)端。結(jié)正向電阻很小,通過結(jié)的正向電流很大,這是由于外加電池再結(jié)中所產(chǎn)生的電場(chǎng)方向相反,阻擋層厚度減小。P區(qū)的空穴和N區(qū)的電子再這個(gè)外加的電場(chǎng)的吸引下不斷地流過交界處,使它的電阻大大降低電流很容易通過。若外加電壓繼續(xù)上升,則自建電場(chǎng)被減弱和抵消,所以正向電流隨著外加正向電壓的增加而逐漸上升。當(dāng)結(jié)反向連接時(shí),P區(qū)接電池負(fù)端,N區(qū)接電池正端,結(jié)呈現(xiàn)很大的電阻,通過結(jié)中的電流很小。這是由于外加電池在結(jié)中所產(chǎn)生的電場(chǎng)方向用結(jié)自建電場(chǎng)方向相同。阻擋層變厚,加強(qiáng)了電場(chǎng)阻止電子和空穴流通的作用,電阻大大增強(qiáng),電流很難流過。這就是方向連接的電流很小的原因。硅在高溫下能與氯,氧,水蒸氣等作用,生成四氯化硅,二氧化硅。硅不溶于243以及王水(313),硅與可以發(fā)生反應(yīng),但反應(yīng)速度比較緩慢。硅和硝酸,氫氟酸的混合液起作用它利用濃3的強(qiáng)氧化作用。使硅表面生成一層2,另一方面利用的絡(luò)合作用,酸能與2反應(yīng)生成可溶性的六氟硅酸絡(luò)合物H2[6]。硅能與堿相互作用生成相應(yīng)的硅酸鹽。硅能與222等金屬離子發(fā)生置換反應(yīng)。硅能溶解在熔融的鋁,金,銀,錫,鉛等金屬之中,形成合金。硅和這些金屬的量可在一定范圍內(nèi)變化。在高溫下硅與鎂,鈣,銅,鐵,鉑,鉍等金屬能形成具有一定組成的硅化物。1.16.1半導(dǎo)體材料導(dǎo)電類型的檢驗(yàn)方法:熱探針法:
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