ESD教育訓練講義

ESD

教育訓練教材

電源事業(yè)部工程部伴隨計算機、通信、集成電路的發(fā)展，靜電危害問題日趨顯著。如CMOS器件絕緣層的典型厚度0.1um,其相應(yīng)耐擊穿電壓為80-100V,VMOS的耐擊穿電壓只有30V,千兆位的DRAM耐壓僅為10-20V。在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)、運輸、儲存等過程中產(chǎn)生的靜電壓遠遠大于上述閾值，造成微電子器件擊穿或軟擊穿，使之失效或嚴重影響產(chǎn)品的可靠性。據(jù)報道：因靜電問題造成損失，美國100億美元/年，英國20億英磅，日本45%微電子子器件損壞，中國10億人民幣/年。為更好的解決電子工業(yè)的靜電防護問題，必須普及靜電防護的基本知識。背景一、靜電基本概念二、電子工業(yè)中的靜電問題三、靜電防護原理四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求五、EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗六、靜電放電模型與器件、設(shè)備ESD敏感度測試課程大綱一、靜電基本概念1。靜電定義：一種處于相對穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。2。靜電的特點：（1）小電量（2）高電位（3）放電時間短設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境、人體上的靜電量一般只有微庫侖或納庫侖級，但電位可達到幾千伏以上，瞬間放電能量達幾百瓦以上，峰值電流達到幾至十幾安培，足以造成微電子器件（組件）的損壞。3。靜電的產(chǎn)生（1）固體起電：摩擦起電，兩個物體相互摩擦后分別帶有等值異號電荷（表面能態(tài)、濕度、電荷密度不同引起）

；一、靜電基本概念分離時，C=εε0

/d變小，V=Q/C增大。導體摩擦起電小（自由電子），絕緣體摩擦起電大（束縛電荷）。濕度>70%,起電明顯減少;物體表面電阻率>1X1011Ω起電明顯。摩擦分離起電極性排列：+人手、兔毛、玻璃、云母、人發(fā)、尼龍、羊毛、鉛、絲綢、鋁、紙、棉花、鋼、木材、封蠟、硬橡膠、聚脂、聚氨酯、聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯-。（2）粉體起電：粉體與粉體、粉體與器壁碰撞、摩擦分離、碎裂引起。如面粉加工、藥廠、煤廠。（3）液體起電：流動的液體與管道摩擦起電，帶電粒子隨液體流動形成電流（石油業(yè)、噴嘴）。一、靜電基本概念4。靜電防護材料（1）導靜電和靜電屏蔽材料：電荷能夠迅速耗散和泄露，表面電阻率<1X105Ω（靜電屏蔽包裝袋）。（2）靜電耗散材料：電荷由于中和、泄露、放電而使之部分或全部消失，表面電阻率1X105Ω-1X1011Ω（靜電皮）。（3）靜電絕緣材料：不能耗散和泄露電荷，表面電阻率1X1011Ω（塑料、橡膠）。一、靜電基本概念5。靜電感應(yīng)導體在靜電場中，表面不同部位感應(yīng)出不同電荷或?qū)w上原有電荷重新分布的現(xiàn)象。由于靜電感應(yīng)，不帶電的導體可以感應(yīng)起電！是一種常見的靜電起電方式，可在導體（包括人體、器件、設(shè)備）上產(chǎn)生較高的電壓，導致靜電對器件或帶電器件對周圍導體直接接觸或間接接觸式放電。一、靜電基本概念6。靜電屏蔽（1）被動屏蔽：外部有靜電場，空腔導體內(nèi)部靜電場為零，電場不能到達內(nèi)部。（2）主動屏蔽：空腔導體內(nèi)部有靜電場，外殼接地后，電場不能到達外部。一、靜電基本概念7。法拉第筒利用法拉第筒靜電感應(yīng)原理，可以實現(xiàn)對靜電壓或電量的測量。二、電子工業(yè)中的靜電問題1。靜電效應(yīng)靜電荷所產(chǎn)生的靜電場有很多的物理效應(yīng)，這些物理效應(yīng)對電子工業(yè)的影響很大。（1）電場力：F=q1q2/4Пεr2，一般產(chǎn)生的靜電力僅為幾至數(shù)百毫克，這樣小的力對毛發(fā)、紙片、塵埃、纖維的吸附作用非常明顯。（2）靜電放電（ESD）：高靜電電位的帶電體向低電位物體發(fā)生接觸或非接觸式放電，人體瞬間放電電流可以達到幾安培，設(shè)備瞬間放電電流可以達到幾十安培。（3）靜電感應(yīng)：因人體靜電、高壓設(shè)備、設(shè)備接地不良而導致器件金屬部位感應(yīng)靜電。二、電子工業(yè)中的靜電問題2。靜電危害（1）吸附塵埃：對微電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)影響大，使芯片漏電流增大，使用壽命縮短，甚至造成短路使芯片損壞。（2）靜電放電及產(chǎn)生的寬帶電磁脈沖效應(yīng)：靜電放電可使集成電路芯片擊穿，芯線熔斷，漏電流增大，加速老化，電性能參數(shù)改變等；另外，靜電放電可產(chǎn)生從低頻到幾兆赫茲的寬頻帶干擾，對電子儀器、信息化系統(tǒng)、醫(yī)療監(jiān)護系統(tǒng)等產(chǎn)生靜電噪聲和電磁干擾，使邏輯電路產(chǎn)生錯誤的翻轉(zhuǎn)效應(yīng)；雷電是一種自然界宏觀靜電放電現(xiàn)象，電壓達到數(shù)十萬伏，對電子設(shè)備的造成損害。（3）靜電感應(yīng)及放電：導體置于靜電場中感應(yīng)帶電，當達到一定電壓就發(fā)生放電；器件置于靜電場中發(fā)生靜電感應(yīng)帶電時，在器件或芯片氧化膜兩端及結(jié)構(gòu)金屬突出部位因尖端效應(yīng)可感應(yīng)出較強的電場，因各點對地電位不同，當電場強度超過某點的絕緣強度閾值時，可導致介質(zhì)擊穿（或軟擊穿），使器件失效或品質(zhì)降低。二、電子工業(yè)中的靜電問題二、電子工業(yè)中的靜電問題3。器件ESD失效突發(fā)性失效：10%，通常表現(xiàn)為開路、短路、電參數(shù)嚴重漂移，電壓擊穿或熱擊穿；潛在性失效：90%，電參數(shù)退化不明顯，但降低了防靜電的能力，降低了可靠性。（1）熱擊穿：靜電放電產(chǎn)生的能量使器件局部溫度升高而損壞。（2）介質(zhì)擊穿：靜電壓使絕緣層處薄弱點擊穿。（3）氣體電弧放電：在器件內(nèi)電極間，電場使氣體電弧放電而損壞。二、電子工業(yè)中的靜電問題4。靜電敏感器件（SSD）的分級器件的靜電放電敏感度，以其能夠耐受住的最大靜電放電電壓值來表示（標準ESD實驗?zāi)Ｐ停?。二、電子工業(yè)中的靜電問題二、電子工業(yè)中的靜電問題二、電子工業(yè)中的靜電問題5。電子器件損壞統(tǒng)計ESD對器件的損害具有普遍性、隨機性和不易察覺，在電子工業(yè)生產(chǎn)、存儲、維護、運輸?shù)热魏我画h(huán)節(jié)都有可能發(fā)生。ESD問題往往不會造成人員的傷亡，不容易引起人們的重視，但其造成的經(jīng)濟損失巨大。靜電造成的電子產(chǎn)品平均損壞率（統(tǒng)計表）：部門平均損壞率（%）制造廠16-22承銷商8-14用戶27-33二、電子工業(yè)中的靜電問題6。電子生產(chǎn)、使用環(huán)境中的靜電源（1）人體（用品）靜電：電子工業(yè)中，作為操作者的人是最主要的靜電發(fā)生源，人體ESD是導致器件損壞的主要原因之一。起電方式：人在行動或工作中，皮膚、頭發(fā)、衣服、帽子、手套、鞋襪相互摩擦起電；脫衣服、帽子、手套等剝離動作也會起電；人體是靜電導體，當帶電物體靠近人體時，人體會感應(yīng)起電。影響因素：起電率、人體對地電阻和電容。人體電阻800Ω-3KΩ，標準電阻1.5kΩ，人體對地電容不得100-350pF，標準電容100pF。

Q=qRC（2）樹脂、浸漆封裝表面：器件表面涂裝絕緣樹脂、漆，放入包裝后，因運輸過程摩擦起電。（3）用PE（聚乙烯）、PP（聚丙烯）、PS（聚苯乙烯）、PUR（聚氨脂）等高分子材料制備的包裝容器和材料盒，都可因摩擦帶電。二、電子工業(yè)中的靜電問題（4）各種工作表面、工具：工作臺、座椅表面受摩擦起電，金屬工具感應(yīng)起電。（5）生產(chǎn)、焊接、裝配、檢驗、清洗、修理、高低溫處理過程：貼片機、波峰焊、烙鐵、高溫箱、設(shè)備工裝運行和使用中，相互摩擦及感應(yīng)起電。（6）各種絕緣地面：打臘拋光木地板、橡（塑）板、樹脂地面、瓷磚地坪都可因摩擦產(chǎn)生靜電。（7）接地系統(tǒng)和電源：生產(chǎn)檢驗設(shè)備、電動工具、供電系統(tǒng)、ESD防護系統(tǒng)（包括防雷接地）不良或錯誤接地，可因設(shè)備漏電、個接地系統(tǒng)接地電位不平衡、靜電不能對地泄漏、雷擊產(chǎn)生浪涌電壓和電氣開關(guān)關(guān)閉產(chǎn)生的寬頻帶感應(yīng)等原因使器件或設(shè)備損壞。生產(chǎn)現(xiàn)場的電腦顯示屏、高壓電源產(chǎn)生的靜電場可使器件感應(yīng)帶電。（8）生產(chǎn)、存儲環(huán)境中的絕緣物和對地絕緣的導體：絕緣物因摩擦起電，對地絕緣的導體可感應(yīng)起電。三、靜電防護原理在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)、裝配、存儲、運輸、使用過程中，不產(chǎn)生靜電是不可能的，但產(chǎn)生靜電并非危險所在，危害在于靜電積累，以及由此產(chǎn)生的靜電感應(yīng)、吸附和放電，由此，對靜電積累的限制和采取各種防護措施尤為重要。－靜電防護措施五個方面。靜電耗散和泄漏：使產(chǎn)生的靜電迅速耗散，以及泄漏，是防止靜電危害行之有效的方法，主要是通過更換生產(chǎn)過程中接觸到的各類絕緣制備的用具（工裝夾具、包裝、工具、物流傳遞品、人體用品等），而改用防靜電材料制備并使之接地來完成。

a.防靜電材料又稱ESD防護材料，包括靜電耗散和導電類。

b.接地的概念：地－能夠接受和供給大量電荷的物體（如大地、輪船外殼等）；接地極－埋入大地以便與大地良好接觸的導體；接地電阻－接地極與測試極之間的電阻。三、靜電防護原理在電子產(chǎn)品的生產(chǎn)、裝配、存儲、運輸、使用過程中，不產(chǎn)生靜電是不可能的，但產(chǎn)生靜電并非危險所在，危害在于靜電積累，以及由此產(chǎn)生的靜電感應(yīng)、吸附和放電，由此，對靜電積累的限制和采取各種防護措施尤為重要。－靜電防護措施五個方面。靜電耗散和泄漏：使產(chǎn)生的靜電迅速耗散，以及泄漏，是防止靜電危害行之有效的方法，主要是通過更換生產(chǎn)過程中接觸到的各類絕緣制備的用具（工裝夾具、包裝、工具、物流傳遞品、人體用品等），而改用防靜電材料制備并使之接地來完成。

a.防靜電材料又稱ESD防護材料，包括靜電耗散和導電類。

b.接地的概念：地－能夠接受和供給大量電荷的物體（如大地、輪船外殼等）；接地極－埋入大地以便與大地良好接觸的導體；接地電阻－接地極與測試極之間的電阻。三、靜電防護原理2.5m0.2m接地極（直徑20mm鋼釬）接地線測試極R<10OHM10cm40cm電焊或氣焊建筑物>2m三、靜電防護原理c.靜電耗散和泄漏一般要求靜電耗散原理：當某種原因在ESD防護材料上產(chǎn)生靜電時，通過靜電消散使其靜電不能在材料某點或某區(qū)域積累，降低單位面積的靜電量，從而起到降低靜電電位作用，防止靜電放電的發(fā)生。靜電泄漏原理：帶電體上的電荷通過內(nèi)部和表面等途徑，使之部分或全部消失的現(xiàn)象。靜電耗散和泄漏的一般要求是將各類ESD防護用品或裝備、儀器設(shè)備、生產(chǎn)存儲環(huán)境中的導體等與大地之間進行電氣連接，將上述物體積累或感應(yīng)的靜電泄放到大地。軟接地與硬接地：軟接地是通過串接限制流過人體的電流達到安全值的電阻連接到大地的一種方式（380V，I<5mA，1MOHM,1/4W或1/2W）；硬接地是指直接與大地做導電性連接的一種接地方式，通常用于靜電屏蔽或儀器、設(shè)備、金屬體接地。

三、靜電防護原理d.耗散與接地的特殊情況懸浮接地：無法設(shè)置與大地相連的接地系統(tǒng)時，象航空器、不接地的機房，通常是將內(nèi)部所有儀器、金屬結(jié)構(gòu)、裝備的金屬外殼接地線連接到一表面積較大的物體表面，即認為設(shè)定的地（航空器的外殼、防靜電地坪），連接后該接地對整個系統(tǒng)提供基準地電位。靜電等位體：將環(huán)境中的設(shè)備、金屬導體、工裝器具、人員、各類防靜電用品等，使其處于同一電位，就避免靜電放電問題，如移動電子通信車。e.防靜電材料使用中的安全問題使用電源有220V、380V或更高電壓源，為確保人身安全，所用的靜電防護材料必須為用靜電耗散材料，表面電阻>＝1X106Ω；直接接觸SSD的包裝和工器具等不宜使用表面電阻低于1X104Ω導靜電材料和金屬制品，因其不能防止器件的靜電放電。為確保靜電泄漏，任何物體帶靜電，對地電壓小于+/-100V，物體帶靜電5000V，對地分布電容200pF，在2s內(nèi)衰減到100V，靜電泄漏電阻<1X109Ω。三、靜電防護原理2.靜電中和:帶電體上的電荷與其內(nèi)部或外部相反符號的電荷（電子或離子）的復合而使所帶電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。某些場合中，當不便使用ESD防護材料時，必須將某些高絕緣易產(chǎn)生靜電的用品存放在工作臺或工藝線路上時，或者在操作SSD時使用的各類器具（包括金屬制品）不能良好接地時，為了預防靜電積累及放電就必須對操作環(huán)境采取靜電中和措施。靜電中和原理：利用無源自感應(yīng)式、直流高壓、交流高壓、同位素（a射線）電離等原理，通過金屬針或放射線使空氣電離產(chǎn)生正負離子與靜電源上的正負電荷中和，從而消除靜電源上積累的靜電。（離子靜電消除器）使用離子靜電消除器時，應(yīng)考慮由于設(shè)計不合理而產(chǎn)生正負離子不平衡（殘余電壓）導致靜電不能被中和或是器件被充電現(xiàn)象的發(fā)生。殘余電壓要小于+/-50V。三、靜電防護原理3.靜電屏蔽與接地:通常用于對高壓電源產(chǎn)生的靜電場屏蔽，某些對靜電極其敏感電路的屏蔽，從而避免靜電場對SSD和SSD組件的感應(yīng)及靜電放電的發(fā)生。靜電屏蔽是通過將一個區(qū)域封閉起來的殼體實現(xiàn)的，殼體不允許存在孔洞。主動屏蔽：將靜電場封閉在屏蔽體內(nèi)，外殼接地。被動屏蔽：將靜電場屏蔽在屏蔽體外（靜電屏蔽包裝袋）。4.環(huán)境增濕：環(huán)境相對濕度增加，則非導體材料（衣服、工作臺等）表面電阻減小，使物體積蓄的靜電荷可以更快地泄漏。

同樣的紙，放置在40%濕度下表面電阻1X10E11Ω以上，放置在90%濕度下表面電阻大致在1X10E9Ω左右。安裝空調(diào)設(shè)備、噴霧器、加濕裝置，提高空氣的相對濕度消除靜電。但對孤立的帶電絕緣體和導體、表面不易被水浸潤的介質(zhì)、高溫環(huán)境中的靜電絕緣體，增濕是無效的。一般要求環(huán)境溫度16-28度，濕度45%-75%。三、靜電防護原理5.電子產(chǎn)品ESD的防護設(shè)計a.對SSD設(shè)置ESD防護電路，是防止器件損壞的有效手段之一。常在SSD輸入端加限流電阻和保護二極管，好的器件設(shè)計提供的ESD防護電壓可達到2000V，而設(shè)備的ESD防護可達到4000V以上。保護電路可以降低器件對ESD的敏感性，但不能徹底根除。b.對設(shè)備，輸入/輸出電纜要使用屏蔽電纜，增加共模扼流圈，設(shè)置鉗位電路和旁路濾波器，電纜線要靠近回線位置使共模偶合減小?？刂泼姘宓脑O(shè)計應(yīng)使ESD不經(jīng)過敏感電路而直接如地。PCB布線避免將SSD連接到容易接觸ESD的引入端，應(yīng)增加串聯(lián)、分流、電壓鉗位措施；PCB電路引線盡可能短，將這些等效天線的偶合減少到最小。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求1.EPA定義：防靜電工作區(qū)（ESDProtectedArea），凡是直接或間接接觸SSD的區(qū)域都屬之。2.EPA總體要求：a.EPA內(nèi)所有金屬導體、儀器設(shè)備、防靜電裝備、人員應(yīng)接地，適于與其他各類接地共用一個接地體（特殊信號系統(tǒng)除外）。b.當不便采用靜電泄漏和接地措施消除EPA內(nèi)絕緣體、設(shè)備、工具和各種操作產(chǎn)生的靜電時，應(yīng)采用離子靜電消除器提供靜電中和或采取屏蔽措施。c.EPA內(nèi)各種接地措施應(yīng)該滿足標準相關(guān)要求。d.直接或間接接觸SSD的操作均應(yīng)在EPA內(nèi)進行，在EPA之外，對SSD必須提供防靜電包裝予以保護，不允許將其暴露在防靜電包裝之外。e.對于無法設(shè)置接地的臨時EPA，可采用懸浮接地或等電位連接。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求f.EPA內(nèi)的環(huán)境潔凈度應(yīng)滿足不同SSD生產(chǎn)所規(guī)定要求，濕度在45%-75%之間。g.通常EPA的設(shè)計，應(yīng)能對靜電敏感度+/-100V以上的SSD提供防護。3.EPA硬件構(gòu)成：a.人體靜電防護用品－防靜電工作服、防靜電鞋（鞋束）、手腕帶、手套（指套）、帽子、襪子等。b.防靜電物流傳遞用品－防靜電包裝（盒、箱、盤）、填充材料（泡沫塑料、發(fā)泡材料）、運轉(zhuǎn)車、周轉(zhuǎn)器具、存放柜（架）、傳輸帶等。c.防靜電地坪－PVC地板磚、瓷磚、地毯、水泥等。d.防靜電操作系統(tǒng)－工作臺、工作椅、工具類（烙鐵、維修工具、刷子、氣動或電動工具）等。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求e.防靜電接地系統(tǒng)－獨立或與其他共用接地系統(tǒng)。f.環(huán)境控制系統(tǒng)－溫濕度和潔凈度控制系統(tǒng)。g.專用生產(chǎn)設(shè)備－烘箱、波峰焊、插裝機、測試設(shè)備。h.特殊防靜電用品－靜電消除器（離子風、靜電消除刷）、防靜電劑（噴劑、蠟、膠）。i.靜電測量（監(jiān)控）系統(tǒng)－非接觸或接觸靜電電壓表、電阻測試儀、靜電衰減時間測試儀、接地電阻測試儀、配套的測試用具和電極。4.EPA軟件和管理要求：與硬件同等重要，不能忽略。a.人員培訓。b.防靜電工藝和文件。c.標準文件、管理規(guī)程、采購制度。d.監(jiān)督檢查和試驗等質(zhì)量保證體系。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求e.防靜電警示標志。d.包裝、存儲、運輸要求。e.產(chǎn)品的失效分析與記錄。f.接地系統(tǒng)要求和指導。g.所用SSD靜電敏感度分級與使用指南。5.靜電防護用品的要求（1）人體防靜電用品a.防靜電工作服：導電金屬絲（碳絲）和棉、化纖等混紡而成，通過與人體接觸泄漏或?qū)щ娎w維間放電、耗散，防止靜電積累。帶電量<0.1uC/件，耐洗滌試驗（33H），點對點電阻1x10E5-1x10E10Ω。b.防靜電鞋、襪、鞋束：加入防靜電劑的合成橡膠、PVC等制成。1x10E5-1x10E10Ω。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求c.防靜電腕帶：帶扣、導電帶、和接地線都要具有良好的導電性和電氣接觸。串接1MOHM,1/4W或1/2W電阻，對地泄漏電阻7.5x10E5-1x10E7Ω。不應(yīng)使用自感應(yīng)放電式腕帶，其靜電放電閾值>1000V。d.防護手套、指套：加入防靜電劑，有潔凈要求時使用。內(nèi)外表面二點間電阻1x10E5-1x10E9Ω。e.工作帽：防靜電和防塵雙重作用。（2）防靜電包裝類盒、箱、袋、盤、發(fā)泡墊等，大多使用高分子材料制作（PE、PC）。除滿足一般要求（耐老化、防潮、耐撕裂、耐高溫、抗沖擊等）外，還應(yīng)滿足防靜電要求。復合材料或多層包裝的內(nèi)層必須用靜電耗散材料，相鄰材質(zhì)盡量一樣。靜電耗散類包裝：內(nèi)表面電阻率1x10E6-1x10E11Ω，外表面電阻率小于1x10E12Ω；靜電90%的衰減（+/-1000V-+/-100V）時間小于2s。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求靜電屏蔽類包裝：表面電阻率小于1x10E5Ω；靜電90%的衰減（+/-1000V-+/-100V）時間小于2s；包裝外施加1000V放電試驗電壓，并串接1.5kΩ放電回路電阻時間，包裝內(nèi)藕合靜電電壓小于30V或能量小于50nJ。（3）傳輸帶（線）應(yīng)為靜電耗散型，帶體應(yīng)與接地的傳輸帶金屬輪緊密接觸，以便泄放靜電。傳輸帶任何表面對地靜電泄漏電阻應(yīng)在1x10E5-1x10E9Ω間。（4）運轉(zhuǎn)車、存放柜、工作椅、工作臺表面采用靜電耗散材料，并與金屬部分連接；工作臺面通過串接1MOHM,1/4W安全電阻與接地線連接。表面泄漏電阻應(yīng)在1x10E5-1x10E9Ω間。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求（5）運轉(zhuǎn)車、存放柜、工作椅、工作臺表面采用靜電耗散材料，并與金屬部分連接；工作臺面通過串接1MOHM,1/4W安全電阻與接地線連接。表面泄漏電阻應(yīng)在1x10E5-1x10E9Ω間。（6）工位器具（架）、操作工具（刷子、鑷子、螺絲刀等）宜用靜電耗散材料制作，不宜用金屬材料制作。如用金屬材料，為預防SSD帶電時對金屬器具發(fā)生放電或金屬器具感應(yīng)帶電，應(yīng)考慮用離子靜電消除器。外表面點對點電阻小于1x10E9Ω，靜電90%的衰減期+/-1000V-+/-100V,不大于2s。（7）氣動、電動工具、焊接設(shè)備烙鐵、波峰焊應(yīng)采用硬接地。烙鐵的焊頭于接地極之間的電阻值應(yīng)小于2OHM，當發(fā)生氧化時，不大于20OHM，不允許使用二芯烙鐵。氣動、電動工具外表面與地線間電阻小于1x10E9OHM。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求6.離子靜電消除器及使用能使空氣發(fā)生電離，產(chǎn)生消除靜電的離子裝置，又稱靜電中和器。放電針應(yīng)為鈦合金或鎢鉬合金等，不能用普通不銹鋼，并定期除去放電針氧化層。靜電消除+/-1000V-+/-100V時，不超過20s；殘余電壓小于+/-50V。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求7.防靜電劑防靜電蠟、噴劑、膠粘劑，起到短或長時效靜電耗散功能。使用時需要考慮時效性，同時考慮是否會污染到器件或組件。8.EPA環(huán)境要求環(huán)境溫度控制在16-28度，相對濕度在45%-75%左右，同時對特殊SSD生產(chǎn)中配置空氣凈化系統(tǒng)，減少引靜電吸附塵埃造成墊子產(chǎn)品不良率提高。9.EPA內(nèi)的接地和防雷保護接地、工作接地、重復接地，接地電阻不大于4OHM。防靜電接地電阻值不大于10OHM。防雷接地是通過避雷針、接地線和接地裝置將雷電電流迅速導入大地以防止雷害，靜電接地電阻值不大于10OHM。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求10.防靜電接地a.EPA內(nèi)每個防靜電裝備應(yīng)單獨與防靜電接地相連。b.每個防靜電裝備的單獨接地線導電線截面積應(yīng)不小于2mm2，多個防靜電裝備接地匯總線的導電線直徑應(yīng)不小于3mm，接地母線的截面積應(yīng)不小于10mm2。c.非金屬導體接地時，緊密接觸面積不小于1.5cm2（傳輸帶不小于60cm2）。d.為達到EPA整個區(qū)域接地系統(tǒng)的零電位，防靜電接地宜與防雷、供電系統(tǒng)、保護接地等共用一個接地樁。四、防靜電工作區(qū)（EPA）的構(gòu)成和技術(shù)要求五、EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗為掌握靜電起電、放電的情況，了解生產(chǎn)、儲運等過程中靜電產(chǎn)生情況，判斷該過程中靜電放電的危險行，確定靜電源，檢驗EPA靜電防護措施、用品的質(zhì)量以及分析靜電事故，都必須進行靜電測試。a.靜電測試儀器要有小的輸入電容和極高的輸入電阻（1x10E13OHM)。b.靜電測試的結(jié)果往往與測試方法和測試電壓等測試條件有關(guān)，因此最好按照國際標準、國際或行業(yè)規(guī)定的測試方法、測試電壓、測試電極等進行測試。c.靜電測試受各種環(huán)境條件的影響顯著，如溫濕度。五、EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗1.電阻的測試材料本身的電阻是于其靜電泄漏及耗散密切相關(guān)的電氣參數(shù)，測試簡單。（1）點對點電阻測試Rx（2）靜電泄漏電阻Ry300mmRx初始測試電壓10V：如R<=10E5OHM，測量值為結(jié)果；否則施加測試電壓100V：測量值為結(jié)果。Ry五、EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗（3）表面電阻測試（4）體積電阻測試五、EPA防靜電系統(tǒng)的檢驗（5）影響電阻測試的因素：a.環(huán)境溫濕度，在規(guī)定的溫濕度