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NA的有效數(shù)值孔徑物鏡,總是不到物鏡的數(shù)值孔徑的記錄和轉(zhuǎn)換為測量誤差分ffff1x
(cos2cossin
公式在這里,γ3cos2cossin不對稱的光軸??紤]傾斜角通常很小,可以近似作為顯示修正因素的函數(shù),如公(3)13γ下表面IdiffI2I1I2I1
IdiffI1I2Bi-cellPSD測量Idiff,表面位移可以準(zhǔn)確地確定。測量出短期內(nèi)(280秒)位移的穩(wěn)定性3nm實(shí)測量軟件介圖1430100實(shí)驗(yàn)方0.05V),23、4.60°繼續(xù)測量三個(gè)來回。重復(fù)以上操作。數(shù)據(jù)分?jǐn)?shù)據(jù)分析主要分析軟件為是MathWorks公司在1984年開發(fā)的一款集矩陣運(yùn)算、數(shù)值分析、圖形顯示和仿真等于一體的被廣泛用于自動(dòng)控制、數(shù)算、計(jì)算機(jī)技術(shù)、圖實(shí)驗(yàn)要用到的程序如下clearallclosedata_1=data(1:xu_1);%2/15data_3=data(xu_2+1:n);%2/15mena_1=mean(data_1);%2/15mena_2=mean(data_2);%11/15mena_3=mean(data_3);%2/152mmA2,U與理論凸度偏差
UA1A2 U 5理論依1n設(shè)l1l2lnnll
nnx
n
xL0。vi li 公式li——第ii=12vili的殘余誤差(簡稱殘差2 vili
當(dāng)x 湊整的準(zhǔn)確數(shù)時(shí),則nnvi 公式 當(dāng)linxxvi 當(dāng)linxxvix
當(dāng)linxxvix
nnnnnvn
n 2n0.5
Axclearallclosefori=1:dn-ifd_data(i)>0&&d_data(i+1)<0;elseifd_data(i)<0&&d_data(i+1)>0;zhuan=[shang_endjiang_end];zhuan=[1zhuann];fori2=1:n2-1;holdon%plot(1:n,data,'g--legend('function[X,data_end]=ZhongZhi(datafori=1:dn-ifd_data(i)>0&&d_data(i+1)<0;%上升沿終點(diǎn)elseifd_data(i)<0&&d_data(i+1)>0;%下降沿終點(diǎn)zhuan=[shang_endjiang_end];%拐點(diǎn)合成并排序zhuan=[1zhuann];%起點(diǎn)、拐點(diǎn)、終點(diǎn)fori2=1:n2-data_end(i2)=(data(zhuan(i2))+data(zhuan(i2+1)))/2;%實(shí)驗(yàn)結(jié)第一組實(shí)驗(yàn)A1=-第二組實(shí)驗(yàn)A1=-A1=-A1=-A1=-1.88,A2=-第三組實(shí)驗(yàn)A1=-A1=-A1=-A1=-2.99,A2=-A1=-第四組實(shí)驗(yàn)A1=-4.29,A2=-A1=-A1=-A1=-數(shù)據(jù)分x4.5643.094.311.725.803.420.834.31.043.043.782.051.775.973.33.743.046.264.33lll
,其中l(wèi)3.53.5
結(jié)第一:搭載設(shè)備的平臺(tái)易受外界因素影響而發(fā)生0.1μm望老師帶領(lǐng)下屆學(xué)生做的更好了。雖然用得出來的數(shù)據(jù)直觀顯示波動(dòng)的??梢悦黠@看出是呈對數(shù)型素線凸度滾子的素線形狀。在采用合理的分析辦法下,本實(shí)驗(yàn)采用的辦法是去掉數(shù)據(jù)求均值法。將誤差均化且考慮了數(shù)據(jù)對算數(shù)平均值的影響,并將之降到最低。參考文[1]韓文,.D744儀器檢測滾子凸度失真的原因及消除[J].[2],.Delphi在高精度軸承滾子凸度測量系統(tǒng)中的應(yīng)用[J].儀器[3].T703型智能滾子滾道凸度儀[J].軸承2003,(7):49-50.:10.3969/j.issn.1000-[4]陳家慶,,等.滾動(dòng)軸承滾子凸度設(shè)計(jì)的理論研究進(jìn)展[J].石[5],,殷濱杰等.滾子球基面凸度、凸形的測量[J].哈爾濱承,2004,25(3):23- [6]寧延平,.國內(nèi)外高精度直線度測量技術(shù)的研究現(xiàn)狀[J].現(xiàn)代制造工[7]永,,等.納米測量技術(shù)研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢[J].激光雜[8]段明德,,等.凸度滾子超精輥廓形曲面的加工方法[J].軸[9].凸度滾子的穩(wěn)態(tài)熱彈流設(shè)計(jì)和動(dòng)態(tài)等溫特性研究[D].大學(xué)[10],,陸錦才等.凸度滾子輪廓的比較測量[J]. 華同曙,,等.凸度滾子重載變速工況彈流潤滑的實(shí)驗(yàn)研究[J]. 吳霓琪.圓柱滾子凸度形式及凸度量的確定[J].軸 ,袁巨龍,等.圓柱滾子誤差評定及其加工均勻性評價(jià)[J].航空 吳廣山.圓柱滾子直徑比較測量方法的誤差分析[J].哈爾濱軸 ,鄭銀行,等.圓柱凸度滾子超精研機(jī)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J].組合機(jī),.圓錐滾子軸承滾動(dòng)母線凸度設(shè)計(jì)與測量方法[J].沈陽理大學(xué)學(xué)報(bào)LuHuizong,WangZhiwei,JiChengdong,YuanJulong,MeasurementUsingLaserFocusDevationProbesLuHuizong,WangZhiwei,JiChengdong,YuanJulong,DengQianfa,LvBinghai,ZhouFenfen,AStudyonFastGeometricFormMeasurementofHighPrecisionBallsVladasVekteris
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