半導(dǎo)體靶材行業(yè)之江豐電子研究報(bào)告_第1頁(yè)
半導(dǎo)體靶材行業(yè)之江豐電子研究報(bào)告_第2頁(yè)
半導(dǎo)體靶材行業(yè)之江豐電子研究報(bào)告_第3頁(yè)
半導(dǎo)體靶材行業(yè)之江豐電子研究報(bào)告_第4頁(yè)
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半導(dǎo)體靶材行業(yè)之江豐電子研究報(bào)告一、江豐電子:高純?yōu)R射靶材龍頭公司是國(guó)產(chǎn)超高純金屬濺射靶材的領(lǐng)先者。寧波江豐電子材料股份有限公司成立于2005年,于2017年6月在深交所上市。公司自成立以來(lái),專業(yè)從事大規(guī)模集成電路制造用超高純金屬材料及濺射靶材的研發(fā)生產(chǎn),填補(bǔ)了中國(guó)在這一領(lǐng)域的空白,滿足了國(guó)內(nèi)企業(yè)不斷擴(kuò)大的市場(chǎng)需求,成為中國(guó)在該領(lǐng)域中的重要力量。公司先后承擔(dān)了多項(xiàng)國(guó)家戰(zhàn)略發(fā)展科研及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,包括國(guó)家02重大專項(xiàng)、國(guó)家863重大專項(xiàng)、發(fā)改委高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目等,是國(guó)產(chǎn)集成電路材料的核心企業(yè)。公司作為國(guó)際一流芯片廠商,其銷售網(wǎng)絡(luò)覆蓋了歐洲、北美及亞洲各地,產(chǎn)品受到國(guó)內(nèi)外知名半導(dǎo)體、平板顯示及太陽(yáng)能電池制造企業(yè)廣泛應(yīng)用。公司主要生產(chǎn)各種高純?yōu)R射靶材,包括鋁靶、鉭靶、鈦靶及LCD用碳纖維支撐材料等。目前,公司鉭靶的營(yíng)收占比最高,自2018年以來(lái)始終占營(yíng)業(yè)收入的30%以上,鋁靶、鈦靶的營(yíng)收占比次之,2020年?duì)I收占比分別為18.13%、13.49%。LCD用碳纖維支撐材料則呈下降趨勢(shì),2020年?duì)I業(yè)收入達(dá)0.64億元,同比下降16.74%,僅占營(yíng)業(yè)收入的5.50%。高尖端鉭靶產(chǎn)品市場(chǎng)空間廣闊,營(yíng)收占比處于領(lǐng)先。目前,鉭靶及其環(huán)件是制造技術(shù)難度最高、品質(zhì)保證要求最嚴(yán)的靶材產(chǎn)品,僅有少數(shù)公司具備生產(chǎn)能力。公司擁有鉭靶及鉭環(huán)生產(chǎn)的核心技術(shù),廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路領(lǐng)域,在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位。此外,平板電腦、智能手機(jī)等電子產(chǎn)品的需求不斷擴(kuò)大,高端芯片市場(chǎng)需求量進(jìn)一步增長(zhǎng),使得高純鉭靶保持著高價(jià)格、高需求的狀態(tài),公司在該領(lǐng)域擁有十分廣闊的市場(chǎng)空間。2020年公司鉭靶營(yíng)業(yè)收入達(dá)4.04億元,同比增長(zhǎng)35.82%。鋁靶、鈦靶產(chǎn)品穩(wěn)步增長(zhǎng),積極開(kāi)拓國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)。作為目前使用作為廣泛的導(dǎo)電層薄膜材料之一,高純鋁及鋁合金的純度要求極高。在超大規(guī)模集成電路芯片的制造領(lǐng)域,其純度要求達(dá)到99.9995%(5N5)以上,在平板顯示器、太陽(yáng)能電池領(lǐng)域,純度要求達(dá)到99.999%(5N)、99.995%(4N5)以上。公司在該領(lǐng)域的核心技術(shù),使其鋁靶產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。近年來(lái),公司在鋁靶產(chǎn)品上的營(yíng)業(yè)收入逐年增加,2020年鋁靶營(yíng)業(yè)收入同比增長(zhǎng)20.88%。鈦靶在超大規(guī)模集成電路芯片中也至關(guān)重要,它在先端芯片制造工藝中,常與鈦環(huán)配套使用,以完成濺射過(guò)程。公司生產(chǎn)的鈦靶、鈦環(huán)主要應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路芯片制造領(lǐng)域。2020年?duì)I業(yè)收入達(dá)1.57美元,同比增長(zhǎng)41.32%,未來(lái)有較大的發(fā)展空間。LCD用碳纖維支撐材料需求下降風(fēng)險(xiǎn),公司積極調(diào)整業(yè)務(wù)布局。LCD碳纖維復(fù)合材料主要用于平板顯示器生產(chǎn)線相關(guān)設(shè)備及配件。作為可重復(fù)使用材料,其僅在平板顯示器生產(chǎn)線建設(shè)和擴(kuò)產(chǎn)過(guò)程中會(huì)大量使用。中國(guó)平板顯示器行業(yè)的快速發(fā)展,液晶面板廠商如華星光電、京東方等快速擴(kuò)張和產(chǎn)線建設(shè),為公司LCD用碳纖維復(fù)合材料提供了廣闊市場(chǎng)。未來(lái),下游LCD廠商擴(kuò)產(chǎn)放緩可能會(huì)帶來(lái)LCD用碳纖維復(fù)合材料的需求下降,進(jìn)而影響公司業(yè)績(jī)。綜合考慮LCD用碳纖維支撐材料的發(fā)展風(fēng)險(xiǎn),公司積極擴(kuò)大其他業(yè)務(wù),調(diào)整該產(chǎn)品營(yíng)業(yè)空間。自2016年以來(lái),LCD用碳纖維支撐材料占比逐年下降,2020年僅占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的5.50%。公司掌握核心技術(shù),擁有高水平技術(shù)團(tuán)隊(duì),積極投入科技研發(fā)。高純?yōu)R射靶材行業(yè)是高新技術(shù)的聚集地,企業(yè)的技術(shù)研發(fā)實(shí)力是大量資本投入能夠有效轉(zhuǎn)化為經(jīng)營(yíng)效益的關(guān)鍵所在。公司十分重視技術(shù)團(tuán)隊(duì)的建設(shè),打造了一支具有國(guó)際水平的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì),核心成員由多位具有金屬材料、集成電路制造專業(yè)背景和豐富產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)的歸國(guó)博士、日籍專家及資深業(yè)內(nèi)人士組成。董事長(zhǎng)兼首席技術(shù)官姚力軍先生一直從事超高純金屬材料及濺射靶材的研究;董事兼總經(jīng)理JiePan先生長(zhǎng)期從事超高純度金屬及電子材料的研究;此外,相原俊夫先生、王學(xué)澤先生等核心管理團(tuán)隊(duì)成員均具有十年以上行業(yè)從業(yè)經(jīng)歷。2020年,公司研發(fā)人員達(dá)158人,占員工總數(shù)的15.8%,研發(fā)投入金額達(dá)0.74億元,占營(yíng)業(yè)收入的6.33%。公司有較高的股權(quán)集中度,實(shí)際控制人為董事長(zhǎng)姚力軍博士。截至2021年11月,姚力軍持有5607萬(wàn)股,占總股本比例的24.69%,通過(guò)宏德投資和江閣投資總共控股31.15%。姚力軍博士是全球掌握集成電路制造用超高純金屬材料及濺射靶材核心技術(shù)的著名專家,主持了多項(xiàng)國(guó)家級(jí)重大科研和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,曾榮獲科技部突出貢獻(xiàn)獎(jiǎng)、國(guó)家科技重大專項(xiàng)突出貢獻(xiàn)獎(jiǎng)、中國(guó)有色金屬行業(yè)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)等。股權(quán)激勵(lì)計(jì)劃提供有力人才保障,助力公司長(zhǎng)期戰(zhàn)略發(fā)展。公司第一期股票期權(quán)激勵(lì)計(jì)劃首次授予股票期權(quán)第一個(gè)行權(quán)期行權(quán)條件成就,符合行權(quán)條件的190名激勵(lì)對(duì)象合計(jì)可行權(quán)568.40萬(wàn)份股票期權(quán)。截至2020年12月31日,本次激勵(lì)計(jì)劃第一個(gè)行權(quán)期已經(jīng)合計(jì)行權(quán)買入公司股票5,648,295股。本次激勵(lì)計(jì)劃自主行權(quán)的順利實(shí)施進(jìn)一步強(qiáng)化了員工的歸屬感和認(rèn)同感,增強(qiáng)了公司的凝聚力、向心力和戰(zhàn)斗力,為構(gòu)建持續(xù)穩(wěn)定、富有創(chuàng)造活力的管理團(tuán)隊(duì)提供了有力的人才保障;同時(shí),也為未來(lái)吸引和留住更多優(yōu)秀員工,有效實(shí)施公司長(zhǎng)期戰(zhàn)略發(fā)展計(jì)劃樹(shù)立了導(dǎo)向。面對(duì)疫情沖擊,公司保持高速增長(zhǎng),并迎來(lái)新增長(zhǎng)點(diǎn)。公司2018、2019年的營(yíng)業(yè)收入增長(zhǎng)率分別為18.12%、26.98%,營(yíng)業(yè)收入達(dá)到8.25億,處于快速發(fā)展階段。2020年新冠肺炎疫情爆發(fā),公司的營(yíng)業(yè)收入達(dá)到11.67億元,同比增長(zhǎng)41.41%,歸母凈利潤(rùn)達(dá)到1.47億元,同比增長(zhǎng)129.28%。這主要是由于新冠肺炎疫情的爆發(fā)為平板、手機(jī)市場(chǎng)帶來(lái)了較大的需求,從而拉動(dòng)了公司業(yè)務(wù)的快速發(fā)展。2021年前三季度,公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入11.23億元,較上年同期增長(zhǎng)32.93%,歸母凈利潤(rùn)達(dá)到0.95億元,較上年同期下降13.37%。預(yù)計(jì)公司在未來(lái)仍將保持快速增長(zhǎng)。公司費(fèi)用結(jié)構(gòu)合理且保持穩(wěn)定,利潤(rùn)率水平有所下滑。2016-2020年,公司研發(fā)費(fèi)用支出不斷增加,研發(fā)費(fèi)用率基本保持在6%以上。銷售費(fèi)用率在2016-2019年保持穩(wěn)定,2020年受疫情影響大幅減少,僅為3.75%。管理費(fèi)用率呈下降趨勢(shì),2020年達(dá)7.81%,費(fèi)用結(jié)構(gòu)合理。2016-2020年,公司基本保持穩(wěn)定毛利水平,銷售毛利率在2020年有一定程度提升。公司垂直整合產(chǎn)業(yè)鏈,加快產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略布局。2020年度,公司首次公開(kāi)發(fā)行股票募投項(xiàng)目

“年產(chǎn)400噸平板顯示器用鉬濺射靶材坯料產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”建設(shè)完成。該項(xiàng)目生產(chǎn)的高純鉬靶材坯料品質(zhì)優(yōu)良,標(biāo)志著公司首套自主研發(fā)高純鉬濺射靶材順利下線。為建立全國(guó)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)鏈基地,公司于2020年分別成立了上海江豐半導(dǎo)體技術(shù)有限公司、江西江豐特種材料有限公司和武漢江豐材料研究院有限公司。2021年上半年度,公司可轉(zhuǎn)債發(fā)行完成,募集資金51,650萬(wàn)元,用于建設(shè)惠州和武漢平板顯示用靶材及部件生產(chǎn)基地。公司還積極參與產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略投資,以支持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈整體發(fā)展,為公司未來(lái)發(fā)展創(chuàng)造良好的環(huán)境條件。積極布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng),打開(kāi)第二成長(zhǎng)曲線。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國(guó)產(chǎn)化需求的加大,國(guó)產(chǎn)化替代速度也不斷加快。同時(shí),公司近年來(lái)不斷加強(qiáng)、擴(kuò)充裝備和產(chǎn)線,進(jìn)一步提升了產(chǎn)品的加工制造能力和公司的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。得益于其本身強(qiáng)大的機(jī)加工能力,公司成功開(kāi)發(fā)出機(jī)臺(tái)使用的金屬零部件,在新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域拓展產(chǎn)品線,和國(guó)內(nèi)多家機(jī)臺(tái)廠商形成了良好的合作關(guān)系。目前,公司新開(kāi)發(fā)的各種精密零部件產(chǎn)品已被多家芯片制造企業(yè)、半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)使用,廣泛用于PVD、CVD、刻蝕機(jī)等設(shè)備,并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)交貨。其半導(dǎo)體精密零部件銷售額已超過(guò)上年,第二成長(zhǎng)曲線蓄勢(shì)待發(fā)。二、濺射靶材市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)迅速,國(guó)產(chǎn)化替代穩(wěn)步推進(jìn)(一)靶材市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大,下游需求增長(zhǎng)可期濺射靶材是濺射過(guò)程中高速度能的離子束轟擊的目標(biāo)材料,是沉積電子薄膜的原材料。濺射是指利用離子流產(chǎn)生的離子,在真空中經(jīng)過(guò)加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動(dòng)能交換,使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面的過(guò)程。按使用的原材料材質(zhì)不同,濺射靶材可以分為金屬或非金屬單質(zhì)靶材、化合物靶材、合金靶材等。靶材產(chǎn)業(yè)鏈呈金字塔分布,可以分為金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜、終端應(yīng)用四個(gè)環(huán)節(jié)。金屬原材料鋁、鈦、硅、塢等經(jīng)過(guò)金屬提純,形成高純金屬,即上游原材料。高純金屬通過(guò)靶材制造環(huán)節(jié),形成濺射靶材。靶材主要包括靶坯、背板等,其中靶坯是濺射靶材的核心部分,背板則主要起到固定濺射靶材的作用,保證各類材質(zhì)的靶坯在嚴(yán)苛的濺射環(huán)境中正常工作。在濺射鍍膜過(guò)程中,靶坯被高速離子束流轟擊,其表面原子濺射出來(lái),沉積于基板從而制成電子薄膜。薄膜材料最終應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、信息存儲(chǔ)、光學(xué)元器件等領(lǐng)域。國(guó)內(nèi)外靶材市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大。自2016年以來(lái),全球靶材市場(chǎng)規(guī)模從113億美元上升至196億美元,年增長(zhǎng)率基本保持在15%左右。中商產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)顯示,2021年靶材市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)率有所放緩,大約在8%左右,市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到213億美元。中國(guó)靶材市場(chǎng)規(guī)模同樣保持快速增長(zhǎng)。2016-2020年,中國(guó)靶材市場(chǎng)規(guī)模從177億元增長(zhǎng)至337億元,增長(zhǎng)率基本保持在17%左右。預(yù)計(jì)在2021年,中國(guó)靶材市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到370億元。靶材產(chǎn)業(yè)鏈下游包括半導(dǎo)體芯片、太陽(yáng)能、顯示面板等領(lǐng)域。的數(shù)據(jù)顯示,全球靶材下游市場(chǎng)中,平板顯示占比最高,達(dá)34%,其次是記錄媒體和太陽(yáng)能電池,分別達(dá)29%、21%,半導(dǎo)體則占10%。中國(guó)靶材應(yīng)用市場(chǎng)中,占比較高的同樣為平板顯示、記錄媒體,分別達(dá)49%、28%,半導(dǎo)體和太陽(yáng)能電池則分別占9%、8%。下游應(yīng)用領(lǐng)域市場(chǎng)的不斷發(fā)展和擴(kuò)大,將為靶材市場(chǎng)提供新的增長(zhǎng)動(dòng)力,推動(dòng)靶材產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是濺射靶材的重要應(yīng)用領(lǐng)域,市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大。半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)Π胁牡慕M成、結(jié)構(gòu)和性能要求最高,靶材主要應(yīng)用在晶圓制造和芯片封裝環(huán)節(jié)。其中,集成電路產(chǎn)業(yè)是高純?yōu)R射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一,也是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最大的組成部分。2014-2020年,全球集成電路產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)規(guī)模呈波動(dòng)趨勢(shì),其在2018年達(dá)到最大后出現(xiàn)一定回落,2020年市場(chǎng)規(guī)模為3612.26億美元。中國(guó)集成電路市場(chǎng)銷售額在2014-2020年則始終保持穩(wěn)步上升趨勢(shì),年增長(zhǎng)率始終保持在15%以上,市場(chǎng)規(guī)模由2014年的3015.4億元增長(zhǎng)至2020年的8848億元,預(yù)計(jì)在未來(lái)仍能保持較快增長(zhǎng)。全球半導(dǎo)體用靶材市場(chǎng)規(guī)模平穩(wěn)增長(zhǎng)。半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模的擴(kuò)大給半導(dǎo)體用靶材市場(chǎng)提供了巨大的增長(zhǎng)空間。中研普華產(chǎn)業(yè)研究院的數(shù)據(jù)顯示,2013-2016年,全球半導(dǎo)體用靶材市場(chǎng)規(guī)模相對(duì)穩(wěn)定,大約11.5億美元。2017-2020年,半導(dǎo)體用靶材市場(chǎng)規(guī)模出現(xiàn)了較大幅度的提升,由2017年的12.4億美元提升至2020年的15.7億美元,年復(fù)合增長(zhǎng)率為8.18%。中國(guó)半導(dǎo)體靶材市場(chǎng)相較全球市場(chǎng)增速更高,處于較快發(fā)展階段。國(guó)內(nèi)晶圓廠大幅擴(kuò)產(chǎn),也將帶動(dòng)國(guó)內(nèi)靶材市場(chǎng)需求大幅增加。根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù),中國(guó)濺射靶材的市場(chǎng)規(guī)模和市場(chǎng)份額將進(jìn)一步擴(kuò)大和提高,預(yù)計(jì)2020年中國(guó)半導(dǎo)體靶材市場(chǎng)規(guī)模達(dá)29.9億元。薄膜太陽(yáng)能電池優(yōu)勢(shì)明顯,具有廣闊市場(chǎng)空間。太陽(yáng)能電池主要分為薄膜太陽(yáng)能電池和晶體硅太陽(yáng)能電池兩類。其中,薄膜太陽(yáng)能電池和晶體硅太陽(yáng)能電池相比,具有材料用量更少、制造溫度較低、應(yīng)用范圍更大等特點(diǎn),優(yōu)勢(shì)明顯。制備薄膜太陽(yáng)能電池常用的濺射靶材有鋁靶、銅靶、ITO靶、氧化鋁鋅靶等,純度要求高。2016年以來(lái),中國(guó)太陽(yáng)能電池產(chǎn)量穩(wěn)步增長(zhǎng),2021年1-7月增長(zhǎng)率達(dá)50.6%,預(yù)計(jì)在未來(lái)有更廣闊的市場(chǎng)空間。中國(guó)平板顯示靶材市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大。平板顯示器的組成部分包括金屬電極、絕緣層、發(fā)光層、透明導(dǎo)電極等,是濺射靶材的應(yīng)用領(lǐng)域之一。2016-2020年,中國(guó)面板顯示市場(chǎng)規(guī)模保持穩(wěn)定,僅2017年出現(xiàn)小幅度波動(dòng),但隨著技術(shù)使用的提高,中國(guó)平板顯示靶材市場(chǎng)規(guī)模保持穩(wěn)步增長(zhǎng),2019年市場(chǎng)規(guī)模同比增長(zhǎng)21.43%。根據(jù)的數(shù)據(jù),未來(lái)其市場(chǎng)規(guī)模仍將保持快速增長(zhǎng),預(yù)計(jì)在2022年市場(chǎng)規(guī)模突破200億元。(二)行業(yè)壁壘高,國(guó)產(chǎn)化替代穩(wěn)步推進(jìn)高純?yōu)R射靶材產(chǎn)品技術(shù)含量要求高,流程復(fù)雜。在金屬提純環(huán)節(jié)中,往往需要經(jīng)過(guò)熔煉、合金化和鑄造等步驟,最大限度地去除雜質(zhì),滿足生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)大小尺寸、金屬成分的要求。濺射靶材制造環(huán)節(jié)則需要根據(jù)不同性能需求進(jìn)行工藝設(shè)計(jì),并反復(fù)進(jìn)行塑性變形、熱處理,工序精細(xì)且繁多。濺射鍍膜對(duì)技術(shù)工藝和生產(chǎn)設(shè)備的要求最高,在這一過(guò)程中,濺射靶材需要在機(jī)臺(tái)中完成濺射反應(yīng),濺射機(jī)臺(tái)往往對(duì)濺射靶材的形狀、尺寸和精度存在諸多限制。不同應(yīng)用領(lǐng)域?qū)饘俨牧系倪x擇和性能要求也存在差異。在高純?yōu)R射靶材的應(yīng)用領(lǐng)域中,半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)τ跒R射靶材的技術(shù)要求最高,其對(duì)于金屬材料純度、內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)等均有嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體芯片要求靶材純度達(dá)到99.99995%(5N5)以上,所用金屬靶材類型包括超高純鋁靶、鈦靶、鉭靶等。靶材主要應(yīng)用在晶圓制造和芯片封裝環(huán)節(jié)。平板顯示器、太陽(yáng)能電池對(duì)濺射靶材的技術(shù)要求稍低,純度要求均為99.99%(4N),其中,平板顯示器還要求靶材面積大、均勻程度高。濺射靶材行業(yè)存在客戶認(rèn)證壁壘、技術(shù)壁壘、資金壁壘、人才壁壘。濺射靶材行業(yè)存在嚴(yán)格的供應(yīng)商認(rèn)證機(jī)制,新進(jìn)企業(yè)往往需要2~3年的客戶評(píng)價(jià)認(rèn)證。該行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè),生產(chǎn)商往往采取嚴(yán)格的保密和專利授權(quán)措施,新進(jìn)企業(yè)會(huì)面臨較高的技術(shù)門(mén)檻。為了實(shí)現(xiàn)高純?yōu)R射靶材產(chǎn)品的研發(fā),需要投入大量資金,不斷加大投資力度。產(chǎn)品的研發(fā)和制造還需要有成熟經(jīng)驗(yàn)的高層次技術(shù)人才,深刻理解生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)。市場(chǎng)集中度高,日美公司掌控全球靶材市場(chǎng)。濺射薄膜工藝源于國(guó)外,霍尼韋爾、日礦金屬、東曹、住友化學(xué)、普萊克斯等濺射靶材生產(chǎn)商憑借先發(fā)優(yōu)勢(shì),形成了領(lǐng)先的技術(shù)水平、雄厚的資金支持和豐富的產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn),占據(jù)了全球?yàn)R射靶材市場(chǎng)的主導(dǎo)地位。這些廠商對(duì)核心技術(shù)實(shí)行嚴(yán)格的專利制度和保密措施,導(dǎo)致濺射靶材生產(chǎn)呈明顯的集中特點(diǎn)。2019年,日礦金屬的市場(chǎng)份額高達(dá)30%,是全球最大的靶材供應(yīng)商?;舨寄釥?、東曹、普萊克斯的市場(chǎng)份額則分別為20%、20%、10%。其他公司的市場(chǎng)份額合計(jì)僅占20%。在全球半導(dǎo)體銅靶材供應(yīng)市場(chǎng)中,日礦金屬占比達(dá)80%以上,處于領(lǐng)先地位,其在半導(dǎo)體用濺射靶材中布局也較為完善??偟膩?lái)看,日美公司在全球靶材市場(chǎng)中處于明顯優(yōu)勢(shì)地位。國(guó)內(nèi)市場(chǎng)起步較晚,少數(shù)廠商突破技術(shù)門(mén)檻。資金、技術(shù)、人才等客觀條件的限制,給國(guó)內(nèi)高純?yōu)R射靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來(lái)了很大的阻礙。目前,國(guó)內(nèi)多數(shù)廠商仍存在技術(shù)水平低、企業(yè)規(guī)模小、產(chǎn)業(yè)布局分散都問(wèn)題,市場(chǎng)處于開(kāi)拓初期。少數(shù)龍頭企業(yè)逐漸突破了技術(shù)壁壘,如江豐電子、隆化科技、阿石創(chuàng)、有研新材等公司掌握了濺射靶材生產(chǎn)的核心技術(shù),填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在濺射靶材領(lǐng)域的空白,被國(guó)內(nèi)外知名半導(dǎo)體、平板顯示器廠商應(yīng)用,上升勢(shì)頭明顯。全球產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移為國(guó)內(nèi)濺射靶材產(chǎn)業(yè)提供發(fā)展機(jī)遇。面對(duì)下游成本壓力,中國(guó)作為全球最大的集成電路交易市場(chǎng),開(kāi)始受到世界知名企業(yè)的青睞。各國(guó)跨國(guó)企業(yè)不斷加大對(duì)華投資力度,廉價(jià)的勞動(dòng)力成本和逐漸完善的配套設(shè)施也為外國(guó)投資商提供了良好的發(fā)展環(huán)境。濺射靶材和下游產(chǎn)業(yè)應(yīng)用本土化程度的提高,將進(jìn)一步提升中國(guó)在全球?yàn)R射靶材市場(chǎng)的地位,為國(guó)內(nèi)濺射靶材產(chǎn)業(yè)提供更加廣闊的市場(chǎng)空間。國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策助力國(guó)產(chǎn)化替代。濺射靶材產(chǎn)業(yè)長(zhǎng)期被美、日公司壟斷,中國(guó)在該領(lǐng)域存在較大的短板和空白。為了盡快實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化,國(guó)家推出了一系列產(chǎn)業(yè)政策支持國(guó)內(nèi)濺射靶材廠商突破技術(shù)壁壘,包括國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(簡(jiǎn)稱“863計(jì)劃”)、國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造設(shè)備及成套工藝”專項(xiàng)基金、發(fā)改委的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目等。這些舉措為國(guó)內(nèi)濺射靶材廠商提供了良好的產(chǎn)業(yè)環(huán)境,推動(dòng)國(guó)內(nèi)濺射靶材產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展。三、橫向拓展品類,縱向布局材料,公司成長(zhǎng)可期(一)公司在靶材領(lǐng)域沉淀深厚,技術(shù)實(shí)力突出公司重視研發(fā)工作,持續(xù)推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新。自公司成立以來(lái),公司管理層始終重視技術(shù)開(kāi)發(fā),以保證公司產(chǎn)品的創(chuàng)新性和技術(shù)領(lǐng)先。面對(duì)高純?yōu)R射靶材行業(yè)被日美公司壟斷的局面,公司通過(guò)多年技術(shù)沉淀,建立起了較為完善的研發(fā)體系,填補(bǔ)了中國(guó)在該領(lǐng)域上的空白,成長(zhǎng)為國(guó)內(nèi)高純?yōu)R射靶材產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)先者。公司分別建立了“寧波市企業(yè)工程(技術(shù))中心”、“國(guó)家示范院士專家工作站”,先后承擔(dān)了國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(“863計(jì)劃”)、國(guó)家科技重大專項(xiàng)

“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”(“02專項(xiàng)”)等科研及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。目前,公司形成了以半導(dǎo)體芯片用高純?yōu)R射靶材為核心,液晶顯示器、太陽(yáng)能電池用濺射靶材共同發(fā)展的多元化產(chǎn)品研發(fā)體系,引領(lǐng)了中國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域靶材的技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)。公司專利水平領(lǐng)先,形成了超高純?yōu)R射靶材的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)體系。截至2021年6月30日,公司及子公司共取得國(guó)內(nèi)有效授權(quán)專利369項(xiàng),包括發(fā)明專利255項(xiàng),實(shí)用新型專利114項(xiàng),韓國(guó)發(fā)明專利2項(xiàng),中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)發(fā)明專利1項(xiàng)。公司專利包括金屬提純、晶粒晶向控制、焊接技術(shù)、精密加工、清洗包裝等一系列生產(chǎn)工藝,構(gòu)建了公司超高純?yōu)R射靶材的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)體系。公司于2015年被國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局評(píng)為“國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢(shì)企業(yè)”,還獲得了“浙江省技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)”榮譽(yù)。2019年,公司獲得“2019年度浙江省專利項(xiàng)目績(jī)效評(píng)價(jià)

(專利金獎(jiǎng))”榮譽(yù)。2020年,公司名列“中國(guó)企業(yè)專利500強(qiáng)榜單”。公司具有一支高水平研發(fā)技術(shù)團(tuán)隊(duì)。高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)工藝復(fù)雜、技術(shù)含量高,研發(fā)和制造往往要求技術(shù)人才具有深厚專業(yè)背景、豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)、復(fù)合型的專業(yè)知識(shí)結(jié)構(gòu)和較強(qiáng)的學(xué)習(xí)能力。為了開(kāi)發(fā)出滿足下游客戶需求的產(chǎn)品,還需要對(duì)行業(yè)技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)有準(zhǔn)確把握,在實(shí)際的工藝環(huán)境中長(zhǎng)期積累應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),深刻理解生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)。公司十分重視技術(shù)團(tuán)隊(duì)的建設(shè),打造了一支具有國(guó)際水平的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)。董事長(zhǎng)兼首席技術(shù)官姚力軍博士是全球掌握集成電路制造項(xiàng)目用超高純金屬材料及濺射靶材核心技術(shù)的著名專家,董事兼總經(jīng)理JiePan先生長(zhǎng)期從事超高純金屬及電子材料的研究,核心管理團(tuán)隊(duì)成員相原俊夫先生、王學(xué)澤先生均具有十年以上行業(yè)從業(yè)經(jīng)歷。(二)覆蓋主要大客戶,公司產(chǎn)品質(zhì)量與性價(jià)比兼?zhèn)涔疽淹ㄟ^(guò)供應(yīng)商資格認(rèn)證。高純?yōu)R射靶材技術(shù)含量高,屬于客戶的關(guān)鍵材料。供應(yīng)商需要先通過(guò)國(guó)際通行的質(zhì)量管理體系認(rèn)證,同時(shí)滿足下游客戶的標(biāo)準(zhǔn)和穩(wěn)定性要求,經(jīng)過(guò)2-3年的合格供應(yīng)商全方面認(rèn)證過(guò)程,方能成為合格供應(yīng)商。由于該行業(yè)的認(rèn)證周期長(zhǎng),存在較高的客戶認(rèn)證壁壘,一旦通過(guò)下游制造商的供應(yīng)商資格認(rèn)證,雙方會(huì)保持長(zhǎng)期穩(wěn)定的合作關(guān)系,供銷關(guān)系不會(huì)發(fā)生輕易變化。公司憑借領(lǐng)先的技術(shù)水平和穩(wěn)定的產(chǎn)品性能,順利通過(guò)了供應(yīng)商資格認(rèn)證,產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。公司與多家國(guó)內(nèi)外知名廠商建立穩(wěn)定合作關(guān)系。目前,公司通過(guò)多年技術(shù)積累,已經(jīng)成為

中芯國(guó)際、臺(tái)積電、格羅方德、意法半導(dǎo)體、東芝(通過(guò)綜合商社實(shí)現(xiàn)銷售)、海力士、京東方、SunPower等國(guó)內(nèi)外知名廠商的高純?yōu)R射靶材供應(yīng)商,形成了較為穩(wěn)定的供貨關(guān)系,應(yīng)用領(lǐng)域包括半導(dǎo)體芯片、太陽(yáng)能電池和平板顯示器等。這種長(zhǎng)期穩(wěn)定合作關(guān)系給公司開(kāi)拓高純?yōu)R射靶材下游應(yīng)用領(lǐng)域市場(chǎng)提供了良好的環(huán)境條件,在未來(lái)將進(jìn)一步促進(jìn)公司營(yíng)業(yè)收入和經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)的穩(wěn)步增長(zhǎng)。公司產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定可靠,以質(zhì)取勝。高純?yōu)R射靶材的產(chǎn)品質(zhì)量、性能在產(chǎn)業(yè)鏈中至關(guān)重要。在下游終端消費(fèi)電子產(chǎn)品市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)激烈的今天,行業(yè)生產(chǎn)廠商必須以質(zhì)取勝。公司為了保證產(chǎn)品質(zhì)量,在原材料采購(gòu)、產(chǎn)品生產(chǎn)、質(zhì)量檢測(cè)等生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)的各個(gè)環(huán)節(jié)實(shí)施了較為完備的質(zhì)量檢測(cè)程序,形成了一套完整、嚴(yán)格的質(zhì)量控制和管理體系。公司建有針對(duì)物理氣相沉積(PVD)材料的分析實(shí)驗(yàn)室,配備各類先進(jìn)檢測(cè)設(shè)備和儀器,包括分析焊接結(jié)合率以及材料缺陷、冷卻水管道的超聲波焊接掃描系統(tǒng)C-SCAN,分析材料晶粒的形貌和大小的結(jié)晶組織分析系統(tǒng),快速測(cè)定材料結(jié)構(gòu)X射線衍射分析儀XRD等,最大限度地保證了產(chǎn)品質(zhì)量,有效提升了客戶滿意度和產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。產(chǎn)品性價(jià)比較高,形成市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。目前,美國(guó)、日本等跨國(guó)公司憑借先進(jìn)的技術(shù)、豐富的產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn),處于長(zhǎng)期壟斷地位,產(chǎn)品售價(jià)較高。公司通過(guò)引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)設(shè)備,不斷創(chuàng)新,實(shí)現(xiàn)了技術(shù)革新,有效降低了生產(chǎn)成本,提高了產(chǎn)品生產(chǎn)效率。公司進(jìn)一步借助國(guó)內(nèi)制造成本較低的優(yōu)勢(shì),嚴(yán)格控制生產(chǎn)成本,從而降低銷售價(jià)格。較高的產(chǎn)品性價(jià)比優(yōu)勢(shì)給公司產(chǎn)品帶來(lái)了廣闊的市場(chǎng)。(三)鋁靶、鈦靶公司優(yōu)勢(shì)明顯,鉭靶、銅靶加速成長(zhǎng)生產(chǎn)不同尺寸的晶圓所使用的靶材類型不同。200mm(8英寸)晶圓及以下的產(chǎn)線使用的濺射靶材主要為鋁靶和鈦靶,300mm(12英寸)晶圓產(chǎn)線使用的則主要是鉭靶和銅靶。鋁靶在半導(dǎo)體、液晶顯示面板和太陽(yáng)能電池領(lǐng)域均有使用,是目前集成電路中應(yīng)用最廣泛的導(dǎo)電層薄膜材料。鈦和鉭常被用于阻擋層薄膜材料,鎢鈦合金濺射靶材被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片門(mén)電路接觸層材料。為了滿足SunPower等客戶的需求,公司生產(chǎn)的鎢鈦靶產(chǎn)品則主要應(yīng)用在太陽(yáng)能電池等下游領(lǐng)域。半導(dǎo)體制程日漸縮小,銅靶代替鋁靶成未來(lái)發(fā)展方向。以邏輯芯片為例,近年來(lái),低納米線寬技術(shù)節(jié)點(diǎn)所占比例不斷提升,所用濺射靶材包括銅及其合金、鋁、鉭、鈦等高純金屬材料。其中,鋁靶主要用于110nm以上技術(shù)節(jié)點(diǎn)的布線材料,鈦靶與其配套,作為阻擋層材料;

銅靶主要用于110nm以下材料,與鉭靶配套。未來(lái)半導(dǎo)體制程將日益降低,銅靶替代鋁靶用于晶圓代工是未來(lái)發(fā)展方向。公司鋁靶、鈦靶布局較早,處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。鋁靶產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路、平板顯示、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。自2016年以來(lái),鋁靶營(yíng)業(yè)收入呈穩(wěn)步增長(zhǎng)態(tài)勢(shì),從2016年的1.05億元增長(zhǎng)至2020年的2.11億元,增長(zhǎng)率基本保持在10%以上。公司成為了京東方等平板顯示領(lǐng)域生產(chǎn)企業(yè)的主要供應(yīng)商,形成了穩(wěn)定的供應(yīng)關(guān)系。鈦靶產(chǎn)品包括鈦靶及鈦環(huán),主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域。2016-2020年,鈦靶營(yíng)業(yè)收入保持增長(zhǎng)趨勢(shì),其中,2020年鈦靶增長(zhǎng)率達(dá)41.32%,增長(zhǎng)迅速。鉭靶、銅靶加速成長(zhǎng)。鉭靶產(chǎn)品包括鉭靶及鉭環(huán),主要應(yīng)用于超大規(guī)模半導(dǎo)體集成電路芯片制造領(lǐng)域。公司擁有鉭靶及鉭環(huán)生產(chǎn)的核心技術(shù),在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位。鉭靶是公司的主要營(yíng)收來(lái)源,2020年?duì)I收占比達(dá)34.67%。其營(yíng)業(yè)收入從2016年的1.18億元增長(zhǎng)至2020年的4.04億元,增長(zhǎng)迅速。年增長(zhǎng)率基本保持在20%以上,其中,2019年增長(zhǎng)率高達(dá)44.56%,預(yù)計(jì)在未來(lái)仍將保持快速增長(zhǎng)。公司銅靶產(chǎn)品主要應(yīng)用于平板顯示領(lǐng)域。2018-2020年,銅靶產(chǎn)品的營(yíng)業(yè)收入分別為0.28億元、0.40億元、0.75億元,營(yíng)收占比從4.31%增長(zhǎng)至6.43%,增長(zhǎng)迅速,增長(zhǎng)率分別為42.9%、87.5%。這與平板顯示領(lǐng)域靶材產(chǎn)品的持續(xù)增長(zhǎng)有關(guān)。隨著未來(lái)平板顯示靶材領(lǐng)域市場(chǎng)的進(jìn)一步擴(kuò)大以及銅靶替代鋁靶的發(fā)展趨勢(shì),銅靶產(chǎn)品將迎來(lái)更加廣闊的市場(chǎng)空間。(四)原材料自主化不斷突破,長(zhǎng)期將提升公司毛利率水平國(guó)內(nèi)上游高純金屬原材料處于劣勢(shì)地位,有較大發(fā)展空間。超高純金屬是靶材生產(chǎn)的上游原材料,從成本結(jié)構(gòu)來(lái)看,其占比超過(guò)70%。目前,高純金屬主要依靠國(guó)外進(jìn)口,盡管中國(guó)擁有豐富的有色金屬礦產(chǎn)資源,但在高純金屬制備技術(shù)上與國(guó)際水平仍存在較大差距。美、日等國(guó)的高純金屬?gòu)S商掌握了先進(jìn)的提純技術(shù),在產(chǎn)業(yè)鏈中處于長(zhǎng)期壟斷地位。近年來(lái),隨著技術(shù)的發(fā)展,新疆眾和、霍煤鴻駿、山西關(guān)鋁、包頭鋁業(yè)、中鋁貴州、神火鋁業(yè)、宜都東陽(yáng)光鋁等國(guó)內(nèi)企業(yè)開(kāi)啟了高純鋁的生產(chǎn),一定程度上縮小了與美、日跨國(guó)公司的差距。但從產(chǎn)量、質(zhì)量,特別是金屬純度來(lái)看,國(guó)內(nèi)廠商仍無(wú)法滿足芯片制造的要求,未來(lái)有很大發(fā)展空間。公司在上游原材料領(lǐng)域展開(kāi)全面布局,保證供應(yīng)鏈自主可控。目前,上游原材料達(dá)到公司生產(chǎn)成本的70%-80%,占比較高,且大量原材料從美、日公司進(jìn)口,成本較高。2020年,公司前兩大供應(yīng)商分別為德國(guó)公司H.C.Starck和日本公司三菱化學(xué)。根據(jù)公司國(guó)外競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的情況來(lái)看,其往往會(huì)選擇沿產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)行一體化滲透和布局。因此,公司的一個(gè)重要發(fā)展方向是在上游原材料領(lǐng)域展開(kāi)產(chǎn)業(yè)布局。公司“年產(chǎn)300噸電子級(jí)超高純鋁生產(chǎn)項(xiàng)目”順利結(jié)項(xiàng),其通過(guò)定向凝固提純、真空熔化、半連續(xù)鑄造等工藝,將4N5鋁制成超高純鋁錠,并經(jīng)過(guò)技術(shù)實(shí)驗(yàn)和熔煉測(cè)試,完成了超高純鋁的規(guī)劃產(chǎn)能。公司第三大供應(yīng)商——同創(chuàng)普潤(rùn)(上海)機(jī)電高科技有限公司由董事長(zhǎng)姚力軍控股,為公司提供高純鉭、鋁等原材料。公司同時(shí)參股了寧波創(chuàng)潤(rùn)新材料有限公司,該公司可生產(chǎn)高純鈦。通過(guò)參控股企業(yè)的布局,公司已實(shí)現(xiàn)了高純鋁、鈦材料的自主供應(yīng),銅、鉭仍在自主化過(guò)程中。隨著原材料進(jìn)一步國(guó)產(chǎn)化,公司毛利率有望提升。在公司建立初期,其主要原材料多從國(guó)外進(jìn)口。由于日本、美國(guó)的跨國(guó)公司長(zhǎng)期處于壟斷地位,原材料成本往往較高。目前,公司通過(guò)實(shí)施募投項(xiàng)目以及參股公司向上游原材料產(chǎn)業(yè)鏈拓展布局,逐步提高了國(guó)產(chǎn)鋁、鈦等超高純金屬原材料使用比例,有效降低了生產(chǎn)成本,提升了公司的盈利能力,未來(lái),隨著國(guó)產(chǎn)原材料使用比例的不斷提高,公司毛利率將得到進(jìn)一步提升。(五)通過(guò)可轉(zhuǎn)債與定增募資,擴(kuò)充產(chǎn)能打開(kāi)未來(lái)增長(zhǎng)空間公司發(fā)行可轉(zhuǎn)債,啟動(dòng)惠州、武漢募投項(xiàng)目。2021年,公司公開(kāi)發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券,募集資金總額不超過(guò)5.17億元。為了抓住平板顯示市場(chǎng)增長(zhǎng)機(jī)遇,提升市場(chǎng)占有率,本次募投項(xiàng)目從平板顯示領(lǐng)域提升產(chǎn)能入手,募集資金中1.19億元、2.46億元將分別用于惠州、武漢“平板顯示用高純金屬靶材及部件建設(shè)項(xiàng)目”。預(yù)計(jì)在本次募投項(xiàng)目完成后,公司產(chǎn)能將得到大幅度提升?;葜?、武漢基地區(qū)位優(yōu)勢(shì)明顯,有效保障供應(yīng)、壓縮成本。惠州是粵港澳大灣區(qū)的重要城市,目前已形成了包括玻璃基板、面板、模組生產(chǎn)的平板顯示產(chǎn)業(yè)集群,京東方、深天馬、信利光電、華星光電等知名平板顯示器制造商均處于惠州或其周邊城市。武漢位于華中地區(qū),是新型顯示器件產(chǎn)業(yè)的聚集地。深天馬、京東方、華星光電等廠商均在武漢建設(shè)或在建自有生產(chǎn)線。區(qū)位優(yōu)勢(shì)使惠州、武漢生產(chǎn)基地能夠滿足周邊廠商就近配套、及時(shí)供應(yīng)的需要,進(jìn)一步推動(dòng)了公司與下游客戶的合作關(guān)系。同時(shí),運(yùn)輸距離縮短也有效降低了運(yùn)輸成本,實(shí)現(xiàn)了成本的壓縮。突破產(chǎn)能瓶頸,擴(kuò)大生產(chǎn)力。公司始終專注于高純建設(shè)靶材的研發(fā),產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。近年來(lái),平板顯示領(lǐng)域靶材需求不斷增加。平板顯示國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)和國(guó)內(nèi)的低成本給未來(lái)濺射靶材領(lǐng)域帶來(lái)了巨大的國(guó)產(chǎn)替代空間。此前,公司在該領(lǐng)域的產(chǎn)能較小,產(chǎn)能利用率達(dá)到了飽和狀態(tài)。本次募投項(xiàng)目將助力有效實(shí)現(xiàn)平板顯示用鋁靶、鉬靶、銅靶等產(chǎn)品的規(guī)?;a(chǎn),滿足下游市場(chǎng)的需要。公司啟動(dòng)定增募資,把握半導(dǎo)體靶材國(guó)產(chǎn)替代機(jī)遇。巨大的市場(chǎng)需求給國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)帶來(lái)了廣闊的市場(chǎng)空間,進(jìn)一步增加了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體領(lǐng)域靶材的需求。近年來(lái),公司半導(dǎo)體靶材在營(yíng)業(yè)收入中的占比接近80%,是主要營(yíng)收項(xiàng)目,但公司主要半導(dǎo)體靶材產(chǎn)品的產(chǎn)能利用率處于高位。為了把握集成電路快速發(fā)展和半導(dǎo)體靶材國(guó)產(chǎn)替代的機(jī)遇,公司2021年12月發(fā)布公四、積極布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件,第二成長(zhǎng)曲線空間廣闊(一)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備加速導(dǎo)入,核心零部件國(guó)產(chǎn)替代拉開(kāi)帷幕半導(dǎo)體設(shè)備包含8大關(guān)鍵子系統(tǒng)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)調(diào)查公司VLSI的統(tǒng)計(jì)顯示,半導(dǎo)體設(shè)備包括8類核心子系統(tǒng):氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系統(tǒng)、其他集成系統(tǒng)及關(guān)鍵組件,每個(gè)子系統(tǒng)都包含了較大數(shù)量的零部件。全球半導(dǎo)體零部件市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)在2022年達(dá)300億美元。根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備有關(guān)公司的財(cái)務(wù)數(shù)據(jù),半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)營(yíng)業(yè)成本的80%-90%用于采購(gòu)半導(dǎo)體設(shè)備零部件及原材料。此外,半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的毛利率基本處于40%-60%之間,營(yíng)業(yè)成本大約占營(yíng)業(yè)收入的一半左右。由此推斷,半導(dǎo)體設(shè)備零部件及其他原材料的市場(chǎng)規(guī)模大約占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模的25%-35%,且半導(dǎo)體設(shè)備零部件占主要部分。根據(jù)SEMI預(yù)計(jì),2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到1013億美元,因此,全球半導(dǎo)體零部件的市場(chǎng)規(guī)模約在300億美元。美國(guó)、日本公司在半導(dǎo)體設(shè)備零部件方面處于壟斷地位。在ICWorld2020公開(kāi)了20類半導(dǎo)體核心零部件產(chǎn)品的44家主要供應(yīng)商,其中,美國(guó)供應(yīng)商有20家,約占45%,日本供應(yīng)商16家,約占36%,兩國(guó)處于明顯優(yōu)勢(shì)地位。此外,還有2家德國(guó)供應(yīng)商、2家瑞士供應(yīng)商、2家韓國(guó)供應(yīng)商、1家英國(guó)供應(yīng)商,全部為境外供應(yīng)商。半導(dǎo)體晶圓制造進(jìn)口依賴度高。在半導(dǎo)體晶圓制造流程中,閥類、密封圈、靜電吸盤(pán)、陶瓷類真空壓力計(jì)等零部件進(jìn)口份額較大。其中,閥類費(fèi)用約占耗材成本支出的10.6%,有較大的市場(chǎng)需求,但國(guó)內(nèi)在該領(lǐng)域仍處于空白。芯謀研究數(shù)據(jù)顯示,中國(guó)半導(dǎo)體零部件國(guó)產(chǎn)化水平較低,僅Quartz成品、Showerhead、Edgering等少數(shù)幾類半導(dǎo)體零部件國(guó)產(chǎn)化率超過(guò)10%,Valve、Gauge、O-ring等基本依賴進(jìn)口。半導(dǎo)體零部件國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)行時(shí)。目前國(guó)內(nèi)有多家企業(yè)致力于半導(dǎo)體零部件國(guó)產(chǎn)化,包括英杰電氣、萬(wàn)業(yè)企業(yè)、新萊應(yīng)材、靖江先鋒、晶盛機(jī)電、江豐電子等。以江豐電子為例,其半導(dǎo)體零部件主要布局PVD機(jī)臺(tái)用ClampRing、Collimator、CVD、etching機(jī)臺(tái)用faceplate、showerhead等,化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)用金剛石研磨片、RetainingRing等。(二)半導(dǎo)體零部件獲大客戶認(rèn)可,第二成長(zhǎng)曲線蓄勢(shì)待發(fā)積極布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件及耗材業(yè)務(wù),打開(kāi)公司第二成長(zhǎng)曲線。在集成電路芯片制造過(guò)程中,PVD(物理氣相沉積)是其中非常重要的工藝環(huán)節(jié),PVD工藝除了會(huì)用到大量的濺射靶材外也會(huì)用到大量消耗性的金屬零部件。全世界能夠掌握以上材料核心技術(shù)的公司為數(shù)不多,使用客戶同集成電路靶材客戶是相同的,公司引進(jìn)了掌握以上技術(shù)及市場(chǎng)的核心人才全面開(kāi)發(fā)此類產(chǎn)品。持續(xù)加深相關(guān)產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略布局,在集成電路產(chǎn)業(yè)中開(kāi)辟除了靶材外更廣闊的市場(chǎng)空間。公司2017年在PVD(物理氣相沉積)和CMP

(化學(xué)機(jī)械平坦化)機(jī)臺(tái)用零部件產(chǎn)業(yè)開(kāi)始戰(zhàn)略布局,目前已經(jīng)在保持環(huán)、拋光墊等CMP工藝中用到的消耗性材料上取得量產(chǎn)訂單,新開(kāi)發(fā)的各種精密零部件產(chǎn)品已經(jīng)廣泛用于PVD、CVD、刻蝕機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備制造。半導(dǎo)體領(lǐng)域是公司營(yíng)收的主要來(lái)源。公司在半導(dǎo)體靶材領(lǐng)域形成了深厚的技術(shù)積淀,公司產(chǎn)品被臺(tái)積電、中芯國(guó)際、SK海力士、聯(lián)華電子等全球知名半導(dǎo)體廠商應(yīng)用。公司半導(dǎo)體零部件業(yè)務(wù)與靶材業(yè)務(wù)具有相同的客戶群,協(xié)同效應(yīng)顯著,同時(shí)此

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