無(wú)塵室概念及管制說(shuō)明-S03H0課件

AUOProprietary&Confidential無(wú)塵室概念及管制說(shuō)明課程大綱一、潔凈室的定義二、潔凈室的功能三、潔凈度的定義四、潔凈室環(huán)境要求五、潔凈室的管理控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度：不論室外空氣條件如何變化，室內(nèi)都還能維持原先設(shè)定的空氣條件.使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境中生產(chǎn)制造.如：TFT-LCD能在一個(gè)潔凈度良好、溫濕度、壓力穩(wěn)定的環(huán)境中被生產(chǎn)制造.潔凈室的定義潔凈室就是所謂的無(wú)塵室:潔凈度的定義FED-209潔凈度等級(jí)

S03廠無(wú)塵室等級(jí)為1000級(jí)潔凈度的定義Particle來(lái)源:Particle防制原則潔凈室環(huán)境要求Particle測(cè)量?jī)x不帶入排除不堆積不產(chǎn)生二、不可產(chǎn)生particle

.無(wú)塵服穿著確實(shí)

.規(guī)劃作業(yè)

.避免內(nèi)裝會(huì)產(chǎn)生particle

四、排除particle

.維持排氣暢通.維持氣流穩(wěn)定潔凈室環(huán)境要求一、不可帶入particle

.穿著無(wú)塵服

.物品攜入前，先清潔

.環(huán)境壓差確認(rèn)三、不可積累particle

.選擇易清潔之材質(zhì)

.定期清潔

.防靜電產(chǎn)生,避免浮游粒子吸附Particle防制原則:人員進(jìn)出規(guī)定：一、進(jìn)入潔凈室須穿戴無(wú)塵服、網(wǎng)帽、口罩、靜電手套.二、進(jìn)入潔凈室時(shí)必須依規(guī)定通行“風(fēng)淋室”.

三、進(jìn)入潔凈室后,必須量測(cè)靜電手環(huán)是否OK.四、離開(kāi)無(wú)塵室時(shí),必須依規(guī)定關(guān)閉“雙向?qū)﹂_(kāi)門(mén)”.五、非緊急狀況,不得使用安全門(mén).六、設(shè)備商進(jìn)廠及來(lái)賓參訪,須提出申請(qǐng),并了解潔凈室規(guī)潔凈室的管理（一）1.進(jìn)入3F-FI產(chǎn)線的人員統(tǒng)一從

通道進(jìn)入后按指定的路標(biāo)走.

三人以上必須排隊(duì),且排整齊不可打鬧,嚴(yán)禁嘻戲.2.進(jìn)入2F-FI產(chǎn)線的人員由2FCartoncheck1線進(jìn)入.潔凈室的管理（一）潔凈室的管理（二）穿無(wú)塵服規(guī)范1.扎好頭發(fā),帶好網(wǎng)帽,(如圖一).

穿無(wú)塵服.MPG注:在戴網(wǎng)帽時(shí)要把頭發(fā)全部放到網(wǎng)帽里去,不可漏出來(lái).2.帶上無(wú)塵帽,檢查頭發(fā)是否露出(如圖二).3.帶上口罩.(如圖三).圖一圖二圖三4.穿無(wú)塵服拉上拉鏈.(如圖四)5.穿上無(wú)塵鞋套,貼好魔鬼貼.6.穿上無(wú)塵鞋,穿無(wú)塵鞋時(shí)腳禁止搭在鞋柜上.(如圖五).7.帶上靜電環(huán)及靜電手套,在整裝鏡前整理OK后進(jìn)入無(wú)塵室.

注:手套和無(wú)塵衣接口處皮膚不可以露出(如圖六)潔凈室的管理（二）脫無(wú)塵服規(guī)范:脫去無(wú)塵鞋套.潔凈室的管理（二）脫無(wú)塵服脫無(wú)塵帽掛無(wú)塵服脫無(wú)塵服.MPG脫去無(wú)塵鞋脫去靜電手套脫靜電環(huán)

將頭發(fā)扎好不可披發(fā)(男生不可留長(zhǎng)發(fā)).

戴上網(wǎng)帽將所有頭發(fā)包住,頭發(fā)不可外漏.

戴上口罩需遮住口鼻,口罩上的鐵絲要捏一下卡住鼻子,

防止口罩掉下來(lái).

戴上無(wú)塵帽,網(wǎng)帽不可外漏.

穿上無(wú)塵服,無(wú)塵帽領(lǐng)需沒(méi)于無(wú)塵衣內(nèi)(不可坐在地上穿).

穿上無(wú)塵鞋(不可以踩踏鞋柜、隔板),褲管需扎入鞋套里.

在戴上靜電環(huán)和靜電手套.潔凈室的管理（二）潔凈室的管理（三）物品相關(guān)規(guī)定1）進(jìn)入潔凈室之物品,一律均須潔凈后方可攜入.2）文件、紙張及手冊(cè),必須使用潔凈室專(zhuān)用之長(zhǎng)纖維.3）潔凈室內(nèi)僅可使用圓珠筆、油性簽字筆(投影筆).4）搬入潔凈室之重物,必須使用專(zhuān)用推車(chē)運(yùn)送,以免刮傷地板.5）過(guò)重設(shè)備之搬運(yùn),需先鋪設(shè)鋼板后,方可進(jìn)行搬運(yùn).6）揮發(fā)性化學(xué)品于搬入潔凈室,必須放置于化學(xué)防爆柜(酒精).7）廠商所攜帶之物品須由相關(guān)人員檢查是否潔凈,方可攜入.Gowningroom相關(guān)管理:一、無(wú)塵服須依規(guī)定送洗(1次/周)鞋(1次/2周)二、未經(jīng)許可,嚴(yán)禁攝影、拍照及錄音.三、網(wǎng)帽及口罩用畢,須確實(shí)丟入垃圾桶.四、更換無(wú)塵服時(shí)嚴(yán)禁嘻戲、大聲喧嘩，無(wú)塵服、無(wú)塵鞋用畢后按規(guī)定擺放好.五、靜電環(huán)掛于衣服架上；無(wú)塵服按同一方向(左袖統(tǒng)一外側(cè))拉鏈拉好,魔鬼貼粘好.六、無(wú)塵鞋鞋跟朝外擺放整齊,鞋柜里不可以放任何垃圾.七、各部門(mén)之耗材需求均須登記后,