真空技術(shù)模板課件

演講人202X-11-11真空技術(shù)演講人202X-11-11真空技術(shù)101《中國(guó)科學(xué)院實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員崗位培訓(xùn)系列教材》序01《中國(guó)科學(xué)院實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員崗位培訓(xùn)系列教材》序2《中國(guó)科學(xué)院實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員崗位培訓(xùn)系列教材》序《中國(guó)科學(xué)院實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員崗位培訓(xùn)系列教材》序302目錄02目錄4目錄

目錄503第一章真空技術(shù)入門03第一章真空技術(shù)入門6第一章真空技術(shù)入門1.5真空技術(shù)研究的內(nèi)容E1.4真空區(qū)域的劃分D1.1真空技術(shù)的發(fā)展歷史A1.2真空技術(shù)與電子技術(shù)B1.3真空度的單位C1.6大氣層與真空F第一章真空技術(shù)入門1.5真空技術(shù)研究的內(nèi)容E1.4真空區(qū)域的7第一章真空技術(shù)入門1.7真空技術(shù)的應(yīng)用思考與練習(xí)第一章真空技術(shù)入門1.7真空技術(shù)的應(yīng)用804第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)04第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)9第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)2.1氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本知識(shí)2.3氣體的道爾頓定律2.5平均自由程2.2氣體的壓強(qiáng)2.4麥克斯韋速率分布律2.6分子與表面的碰撞頻度和從表面的反射第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)2.1氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本知識(shí)2.310第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)M.94275.CN2.8氣體的非平衡過程輸運(yùn)現(xiàn)象022.11流導(dǎo)的計(jì)算052.7氣體的電離012.10流導(dǎo)的概念042.9真空狀態(tài)下的氣體流動(dòng)032.12物理吸附與化學(xué)吸附06第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)M.94275.CN2.8氣體的非平11第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)2.13氣體在固體中的溶解、擴(kuò)散與滲透2.14小結(jié)思考與練習(xí)第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)2.13氣體在固體中的溶解、擴(kuò)散與滲1205第三章真空獲得真空泵05第三章真空獲得真空泵13第三章真空獲得真空泵3.2真空泵的主要參數(shù)023.5油擴(kuò)散泵053.1真空泵的分類013.4旋片機(jī)械真空泵（機(jī)械泵）043.3真空系統(tǒng)的抽氣過程033.6渦輪分子泵06第三章真空獲得真空泵3.2真空泵的主要參數(shù)023.5油擴(kuò)散泵143.7分子篩吸附泵01063.11吸氣劑泵033.10低溫泵3.9濺射離子泵3.12小結(jié)023.8鈦升華泵0405第三章真空獲得真空泵單擊此處添加文本具體內(nèi)容，簡(jiǎn)明扼要的闡述您的觀點(diǎn)。根據(jù)需要可酌情增減文字，以便觀者準(zhǔn)確的理解您傳達(dá)的思想。單擊此處添加標(biāo)題3.7分子篩吸附泵01063.11吸氣劑泵033.10低溫泵15思考與練習(xí)第三章真空獲得真空泵思考與練習(xí)第三章真空獲得真空泵1606第四章真空度的測(cè)量真空計(jì)06第四章真空度的測(cè)量真空計(jì)174.1U型真空計(jì)4.2壓縮真空計(jì)（麥克勞真空計(jì)）4.3熱傳導(dǎo)真空計(jì)4.4普通型熱陰極電離真空計(jì)4.5超高真空熱陰極電離真空計(jì)4.6低真空熱陰極電離真空計(jì)第四章真空度的測(cè)量真空計(jì)單擊此處添加文本具體內(nèi)容，簡(jiǎn)明扼要的闡述您的觀點(diǎn)。根據(jù)需要可酌情增減文字，以便觀者準(zhǔn)確的理解您傳達(dá)的思想。單擊此處添加標(biāo)題4.1U型真空計(jì)4.2壓縮真空計(jì)（麥克勞真空計(jì)）4.3熱傳導(dǎo)18第四章真空度的測(cè)量真空計(jì)4.7冷陰極電離真空計(jì)4.8相對(duì)真空計(jì)的校準(zhǔn)4.9小結(jié)思考與練習(xí)第四章真空度的測(cè)量真空計(jì)4.7冷陰極電離真空計(jì)1907第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)07第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)20第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)M.94275.CN5.2磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)025.5四極質(zhì)譜計(jì)055.1質(zhì)譜計(jì)的性能指標(biāo)015.4飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)045.3回轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)（歐米加質(zhì)譜計(jì)）035.6真空系統(tǒng)中殘余氣體的來源06第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)M.94275.CN5.2磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜215.7質(zhì)譜圖的識(shí)別5.8分壓強(qiáng)的計(jì)算5.9小結(jié)思考與練習(xí)第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)5.7質(zhì)譜圖的識(shí)別第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)2208第六章真空系統(tǒng)08第六章真空系統(tǒng)23第六章真空系統(tǒng)ABCDEF6.1真空系統(tǒng)的分類6.3真空系統(tǒng)常用組件6.5真空系統(tǒng)的圖形符號(hào)（GB1364-85）6.2真空系統(tǒng)常用材料6.4真空系統(tǒng)的組裝6.6典型真空系統(tǒng)舉例第六章真空系統(tǒng)ABCDEF6.1真空系統(tǒng)的分類6.3真空系統(tǒng)24第六章真空系統(tǒng)6.7真空衛(wèi)生6.8小結(jié)思考與練習(xí)第六章真空系統(tǒng)6.7真空衛(wèi)生2509第七章真空檢漏09第七章真空檢漏26第七章真空檢漏7.2漏孔的漏率027.5幾種真空檢漏法057.1概述017.4幾種加壓檢漏法047.3檢漏方法分類037.6氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理06第七章真空檢漏7.2漏孔的漏率027.5幾種真空檢漏法05727第七章真空檢漏7.8氦質(zhì)譜檢漏方法及注意事項(xiàng)027.11小結(jié)057.7氦質(zhì)譜檢漏儀的性能指標(biāo)017.10漏孔的修補(bǔ)047.9標(biāo)準(zhǔn)漏孔及其漏率的校準(zhǔn)03思考與練習(xí)06第七章真空檢漏7.8氦質(zhì)譜檢漏方法及注意事項(xiàng)027.11小結(jié)2810附錄10附錄29附錄

附錄30感謝聆聽感謝聆聽31演講人202X-11-11真空技術(shù)演講人202X-11-11真空技術(shù)3201《中國(guó)科學(xué)院實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員崗位培訓(xùn)系列教材》序01《中國(guó)科學(xué)院實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員崗位培訓(xùn)系列教材》序33《中國(guó)科學(xué)院實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員崗位培訓(xùn)系列教材》序《中國(guó)科學(xué)院實(shí)驗(yàn)技術(shù)人員崗位培訓(xùn)系列教材》序3402目錄02目錄35目錄

目錄3603第一章真空技術(shù)入門03第一章真空技術(shù)入門37第一章真空技術(shù)入門1.5真空技術(shù)研究的內(nèi)容E1.4真空區(qū)域的劃分D1.1真空技術(shù)的發(fā)展歷史A1.2真空技術(shù)與電子技術(shù)B1.3真空度的單位C1.6大氣層與真空F第一章真空技術(shù)入門1.5真空技術(shù)研究的內(nèi)容E1.4真空區(qū)域的38第一章真空技術(shù)入門1.7真空技術(shù)的應(yīng)用思考與練習(xí)第一章真空技術(shù)入門1.7真空技術(shù)的應(yīng)用3904第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)04第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)40第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)2.1氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本知識(shí)2.3氣體的道爾頓定律2.5平均自由程2.2氣體的壓強(qiáng)2.4麥克斯韋速率分布律2.6分子與表面的碰撞頻度和從表面的反射第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)2.1氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本知識(shí)2.341第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)M.94275.CN2.8氣體的非平衡過程輸運(yùn)現(xiàn)象022.11流導(dǎo)的計(jì)算052.7氣體的電離012.10流導(dǎo)的概念042.9真空狀態(tài)下的氣體流動(dòng)032.12物理吸附與化學(xué)吸附06第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)M.94275.CN2.8氣體的非平42第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)2.13氣體在固體中的溶解、擴(kuò)散與滲透2.14小結(jié)思考與練習(xí)第二章真空技術(shù)的物理基礎(chǔ)2.13氣體在固體中的溶解、擴(kuò)散與滲4305第三章真空獲得真空泵05第三章真空獲得真空泵44第三章真空獲得真空泵3.2真空泵的主要參數(shù)023.5油擴(kuò)散泵053.1真空泵的分類013.4旋片機(jī)械真空泵（機(jī)械泵）043.3真空系統(tǒng)的抽氣過程033.6渦輪分子泵06第三章真空獲得真空泵3.2真空泵的主要參數(shù)023.5油擴(kuò)散泵453.7分子篩吸附泵01063.11吸氣劑泵033.10低溫泵3.9濺射離子泵3.12小結(jié)023.8鈦升華泵0405第三章真空獲得真空泵單擊此處添加文本具體內(nèi)容，簡(jiǎn)明扼要的闡述您的觀點(diǎn)。根據(jù)需要可酌情增減文字，以便觀者準(zhǔn)確的理解您傳達(dá)的思想。單擊此處添加標(biāo)題3.7分子篩吸附泵01063.11吸氣劑泵033.10低溫泵46思考與練習(xí)第三章真空獲得真空泵思考與練習(xí)第三章真空獲得真空泵4706第四章真空度的測(cè)量真空計(jì)06第四章真空度的測(cè)量真空計(jì)484.1U型真空計(jì)4.2壓縮真空計(jì)（麥克勞真空計(jì)）4.3熱傳導(dǎo)真空計(jì)4.4普通型熱陰極電離真空計(jì)4.5超高真空熱陰極電離真空計(jì)4.6低真空熱陰極電離真空計(jì)第四章真空度的測(cè)量真空計(jì)單擊此處添加文本具體內(nèi)容，簡(jiǎn)明扼要的闡述您的觀點(diǎn)。根據(jù)需要可酌情增減文字，以便觀者準(zhǔn)確的理解您傳達(dá)的思想。單擊此處添加標(biāo)題4.1U型真空計(jì)4.2壓縮真空計(jì)（麥克勞真空計(jì)）4.3熱傳導(dǎo)49第四章真空度的測(cè)量真空計(jì)4.7冷陰極電離真空計(jì)4.8相對(duì)真空計(jì)的校準(zhǔn)4.9小結(jié)思考與練習(xí)第四章真空度的測(cè)量真空計(jì)4.7冷陰極電離真空計(jì)5007第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)07第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)51第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)M.94275.CN5.2磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)025.5四極質(zhì)譜計(jì)055.1質(zhì)譜計(jì)的性能指標(biāo)015.4飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)045.3回轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)（歐米加質(zhì)譜計(jì)）035.6真空系統(tǒng)中殘余氣體的來源06第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)M.94275.CN5.2磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜525.7質(zhì)譜圖的識(shí)別5.8分壓強(qiáng)的計(jì)算5.9小結(jié)思考與練習(xí)第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)5.7質(zhì)譜圖的識(shí)別第五章分壓強(qiáng)的測(cè)量質(zhì)譜計(jì)5308第六章真空系統(tǒng)08第六章真空系統(tǒng)54第六章真空系統(tǒng)ABCDEF6.1真空系統(tǒng)的分類6.3真空系統(tǒng)常用組件6.5真空系統(tǒng)的圖形符號(hào)（GB1364-85）6.2真空系統(tǒng)常用材料6.4真空系統(tǒng)的組裝6.6典型真空系統(tǒng)舉例第六章真空系統(tǒng)ABCDEF6.1真空系統(tǒng)的分類6.3真空系統(tǒng)55第六章真空系統(tǒng)6.7真空衛(wèi)生6.8小結(jié)思考與練習(xí)第六章真空系統(tǒng)6.7真空衛(wèi)生5609第七章真空檢漏09第七章真空檢漏57第七章真空檢漏7.2漏孔的漏率027.5幾種真空檢漏法057.1概述017.4幾種加壓檢漏法047.3檢漏方法分類03