T10設(shè)備調(diào)試報告

T10設(shè)備調(diào)試過程T10設(shè)備大致介紹T10為T8設(shè)備的升級版由原有的DALSA8K相機(jī)更改為E2V16K 相機(jī)，光由原有的半/全反鏡反光模式改為棱鏡，光柵尺由海德漢改為Renishaw，T10較T8而言，增加了掃描寬度故削減了掃描時間偵測率理論上已比之前更好實際暫未做比照下面，具體講解更改的各硬件設(shè)備和軟件及調(diào)試過程。用途：T10設(shè)備與T8設(shè)備一樣，使用與PCB線路板行業(yè)，主要檢測2mil以上的蝕刻缺陷板的高周密儀器。也可檢測干膜板，但要對干膜板制作質(zhì)量要求較高否則檢測缺陷點太多起不到明顯的檢測效果。相機(jī)型號：E2V16K相機(jī)。鏡頭型號：施耐德0059鏡頭。光源：原燈條加菱鏡〔代替原全、半反鏡。電腦型號：Z600WIN764位系統(tǒng)、16GB內(nèi)存〔小于16G可能會消滅采集圖像縱向錯位。測試精度：2.2-3.15檔位 7um-10um像素大小。1T10設(shè)備的E2V16K相機(jī)〔11024*16=16384個像素，T8設(shè)備DALSA8K相機(jī)掃描寬度為1024*8=8192個像素，T10T8增大一倍.12、光源構(gòu)造：T10設(shè)備光源LEDT8一樣未做轉(zhuǎn)變，棱鏡〔如圖2—棱鏡及安裝方法〕代替T8的全、半反〔注：安裝棱鏡時，棱鏡里45〕23C/L軸機(jī)械高度：CL軸位置，T8DALSA8K7um，T10E2V16K5um10um〔相機(jī)采10um〕的C、L軸高度，依據(jù)高斯公式〔如圖4〕可算出：T8:7/10=V/U，T10:5/10=V/U，T8與T10使用的鏡0059f120，由公式1/U+1/V=1/f即可算出T10與T8中C、LT10：V=180，U=360.T8：V=203.98，U=291.4T10CLT8C、L軸的高。T10T8T10C軸絲桿比T8CamLink線的走線方向緣由會導(dǎo)致連接相機(jī)端的CamLinkCamLink線接相機(jī)端需更改走線方向〔3〕3〔V不是實際的物距，T10設(shè)備光源為棱鏡，光路直接透過棱鏡到相機(jī)，實際物距=V+棱鏡內(nèi)部距離〔暫未查位都比實際少6.7m。T8光由半/全反鏡反射，實際物距=V+半/全反鏡之間的距離。4、光柵尺：T10設(shè)備使用的Renishaw光柵尺，光柵尺轉(zhuǎn)接板或轉(zhuǎn)接線上的電阻〔470歐與220歐不影響其掃描速度〕時，掃描速度能到達(dá)450mm/s，T8設(shè)備上的海德漢光柵尺在由光柵尺轉(zhuǎn)接板或轉(zhuǎn)接線上電阻為470歐未改成220歐時掃描速度只400mm/s220450mm/〔電阻接在A+B+470歐或220歐。二：軟件方面：1T10設(shè)備軟件上與T8大致一樣由于T10E2V16KE2V16K軟件來更改E2V16K相機(jī)參數(shù)而T8的DALSA相機(jī)則由超級終端來更改E2V16K相機(jī)軟件安裝方法〔5〕5e2v16K 相機(jī)的使用：e2v 相機(jī)軟件安裝完成后，雙擊CommCamGenICam (e2v相機(jī)快捷鍵桌面上或開頭菜單里定后彈出畫面

選擇Yes確Ok鍵，彈出畫面 ，雙擊，彈出以下圖畫面圖中為更改增益參數(shù)， 為更改偏置參數(shù)〔翻開2S

ImageFormatControlSensorMode改，此參數(shù)固定為2S不做任何更改。〕在打開

中的User SetLoad更改UserSet1模式后，以后更改參數(shù)直接更改按回車鍵即可保存所更改的相機(jī)參數(shù)。2、軟件參數(shù)更改：1SaperaCamExper桌面快捷方式應(yīng)用程序軟件里ImageBufferandROI中ImageWidth(inpixels)8192e2v16K相機(jī)，采集寬度為16384個像素〔6。62、AOI軟件里配置文件更改：T10相機(jī)，T8DALSA8KAOI軟件中配置文件里有幾條關(guān)于相機(jī)配置的程序指令需更改〔7。7三：調(diào)試1OKAOIX、Y、C、LAOI系統(tǒng)參數(shù)里及玻璃標(biāo)靶與平臺的等高距離輸入AOI系統(tǒng)參數(shù)中。2、調(diào)試步驟：1T10T8設(shè)備的不同，因此光源調(diào)試方法不大一樣。T8設(shè)備光源中光路由半/全反鏡反射相機(jī)中，DALSA相機(jī)有兩個探頭。所以調(diào)光時需要調(diào)整半/全反鏡位置和相機(jī)兩個探頭分別采集的每組燈光灰度值的均勻度〔10。依據(jù)上述已算出的T10設(shè)備光路e2v相機(jī)軟件與LED光源〔在2610運動掌握軟件或杭電或AOI軟件中翻開LED燈為調(diào)光之前做的步驟預(yù)備，SaperaCamExpert線陣圖像采集卡應(yīng)用程序需該更改局部默認(rèn)的配置參數(shù)，更改后再開頭調(diào)整光源。8.1〔注：上述圖中相機(jī)類型線陣模式與面陣模式狀態(tài)調(diào)光均可〕8.2在光源聚焦處〔平臺〕A4紙〔紙下最好墊塊PCB板〔8.3〕8.3Grab〔連續(xù)采集圖像〕畫面〔8.4。

〔圖像數(shù)據(jù)統(tǒng)計直方圖8.4〔8.3中采集圖像的最大曝光值，當(dāng)采集圖像消滅最亮后，鎖緊主燈側(cè)的螺絲。調(diào)其余四組燈時，每組燈光光路照耀在平臺上的A4白紙上的聚焦點與主燈所照耀在平臺A4白紙上的聚焦點在同一條線上后〔主燈為翻開狀態(tài)，路與主燈在同一條線上)鎖緊螺絲即可〔T10設(shè)備棱鏡光源此方法調(diào)試T8則需要在兩個探頭SCD1和SCD0的兩種模式下，山峰輪廓相像〔光圈一樣,通過在超級終端內(nèi)輸入命令指示符掌握)10狀況下才算調(diào)試成功?！沧ⅲ合鄼C(jī)要與光源對稱，在同一中心位置。假設(shè)不在中心位置10um檔位時，相機(jī)的采集寬度為16.384cm，而我們光源目前的有效寬度為23cm,3.25cm的余量。3cm的余量才能保證采集圖3cm〕2、檔位調(diào)試：T10與T8檔位調(diào)試方法一樣，但AOI軟件T10設(shè)備只使用4個檔位解析度分別為：2.2〔7um〕,2.52〔8um〕,2.83(9um),3.15(10um)。而T8設(shè)備的檔10—15um。檔位調(diào)試均有兩種方法：一種手動調(diào)試，一種10um檔位的兩種調(diào)試方法：AOI軟件，初始化后，依據(jù)上述用高斯公式算出的u、v的高度，用高度尺〔如圖9〕測量出此位置。9上的玻璃標(biāo)靶〔10。10再通過計算和不斷移動C、L軸位置〔當(dāng)玻璃標(biāo)靶采集圖放3OK〕再算出此檔位10um〕的DPI〔1。11取圖中兩標(biāo)示格中間共10格〔玻璃標(biāo)靶實際刻度為每大格1c1m10cm=100000um。10um檔位為每像位采集圖像后，圖中標(biāo)示的左右兩X坐標(biāo)應(yīng)相差10000個像素為實際DPI值，依據(jù)圖中兩坐標(biāo)值得出相差9985個像素，還差15個像素〔即采集寬度不夠，所以鏡頭應(yīng)連續(xù)向上〔負(fù)方向〕移動〔假設(shè)采集寬度大于10000個像素時，即采集寬度大了，鏡頭應(yīng)向下移動〔正方向)。當(dāng)圖中已標(biāo)示兩位置坐標(biāo)相差100002OK〔其它檔位也如同此方法調(diào)試)。自動調(diào)試：自動檔位調(diào)試較簡潔，通過已寫好的軟件程序來移動CLDPI值。翻開軟件文件夾運行彈畫面單擊畫面“是，軟件自動初始化后彈出〔12〕畫面。12更改上圖中X、Y 坐標(biāo)，將相機(jī)移至平臺上玻璃標(biāo)靶處，使光源聚焦在玻璃標(biāo)靶刻度中心處〔查看精度表，將平臺與玻璃標(biāo)靶相差值輸入上圖計算出的DPI112540，則輸入 。彈出

中，如10umDPI值為重復(fù)單擊〔重復(fù)單擊〔12〕中〔圖12值與0.3OK〔C、L軸位置輸入AOI系統(tǒng)參數(shù)中即可〕。反之相差不在0.3以內(nèi)則連續(xù)步驟0.3以內(nèi)為止。其它檔位一樣調(diào)試。

知道自動清楚后兩值相差3、畸變調(diào)試：T10設(shè)備〔光源配棱鏡構(gòu)造〕的畸變調(diào)試與T10T8設(shè)備光〔惠州星之光和揚(yáng)宣的T10T8設(shè)備光源的構(gòu)造一樣。T8設(shè)備通過來減小畸變，一般狀況下X10um以內(nèi)，Y也在正負(fù)10um/全反鏡緣由導(dǎo)致畸變只13um〔XY一樣調(diào)好畸變后還需微調(diào)光源。T10設(shè)備光源配棱鏡構(gòu)造的畸變調(diào)試：T10設(shè)備光源的光路13.1看畸變，X10um以內(nèi)，Y方向的畸變?yōu)檎?fù)2um以內(nèi)(13,1-13.2X、Y方向畸變效果圖)。13.113.2X方向畸變效果〔圖波動最大范圍—10um到+10um13.2Y方向畸變效果圖〔圖波動最大范圍—1um到+1um)T8Y方向畸變及調(diào)試中的便利性，X方向畸變改善不大。為驗證X畸變是否由菱鏡造成：1、將菱鏡拆下來，在沒有菱鏡的狀況下測試標(biāo)靶，覺察X畸變?nèi)耘f在正負(fù)10以內(nèi)，則說明造成畸變的主要緣由不是由于響緣由還在測試。但在拆下菱鏡后需將相機(jī)和鏡頭坐標(biāo)都降低6700um左右〔就是縮短物距，才可以調(diào)到對應(yīng)解析度?？赡苁怯捎诹忡R的折射造成，具體緣由還在于菱鏡