平面度介紹教學(xué)課件

平面度檢測(cè)方法姓名：李國輝專業(yè)：機(jī)械工程學(xué)號(hào)：311040021平面度檢測(cè)方法姓名：李國輝1平面度的定義平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏差。平面的平面度公差符號(hào)、基本表示方法，如圖1所示。圖12平面度的定義平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏平面度誤差的檢測(cè)方法平面度誤差是指被測(cè)實(shí)際表面相對(duì)其理想表面的變動(dòng)量，理想平面的位置應(yīng)符合最小條件，平面度誤差屬于形位誤差中的形狀誤差。平面度誤差的測(cè)量方法直接測(cè)量法

間接測(cè)量法3平面度誤差的檢測(cè)方法平面度誤差是指被測(cè)實(shí)際表面相對(duì)其理想表面直接測(cè)量法通過測(cè)量可直接獲得平面上各點(diǎn)坐標(biāo)值或能直接評(píng)定平面度誤差值的方法。具體如下:1、平晶干涉法2、測(cè)微表測(cè)量法3、光軸法、液面法等。4直接測(cè)量法通過測(cè)量可直接獲得平面上各點(diǎn)坐標(biāo)值或能直接評(píng)定平面平晶干涉法干涉法測(cè)量平面度誤差，是把平晶放在它所能覆蓋的整個(gè)被測(cè)平面上，用平晶工作面體現(xiàn)理想平面，根據(jù)測(cè)量時(shí)出現(xiàn)的干涉條紋形狀和數(shù)目，由計(jì)算所得的結(jié)果作為平面度誤差值，如圖所示。該方法只適合測(cè)量精研小平面及小光學(xué)元件。

圖2平晶干涉法5平晶干涉法干涉法測(cè)量平面度誤差，是把平晶放在它所能覆蓋的整個(gè)測(cè)微表測(cè)量法如圖3所示，用3個(gè)可調(diào)支承將被測(cè)件支撐在標(biāo)準(zhǔn)平板上，用測(cè)微儀指示。調(diào)整可調(diào)支承，用三點(diǎn)法或四點(diǎn)法（對(duì)角線法）進(jìn)行測(cè)量。然后用測(cè)微儀讀出被測(cè)表上各點(diǎn)的最大與最小讀數(shù)差作為平面度誤差值的測(cè)量結(jié)果。圖3測(cè)微表法該測(cè)量方法適用于車間較低精度、中等尺寸的工件。

6測(cè)微表測(cè)量法如圖3所示，用3個(gè)可調(diào)支承將被測(cè)件支撐在標(biāo)準(zhǔn)平板光軸法如圖所示，光軸法測(cè)量平面度誤差是利用準(zhǔn)直類儀器2、以它的光軸經(jīng)轉(zhuǎn)向棱鏡3掃描的平面作為測(cè)量基準(zhǔn)，將瞄準(zhǔn)靶1放置在實(shí)際被測(cè)平面4上，按選定的布點(diǎn)，測(cè)出各測(cè)點(diǎn)相對(duì)于該測(cè)量基準(zhǔn)的偏離量，再經(jīng)數(shù)據(jù)處理評(píng)定平面誤差值。圖4光軸法7光軸法如圖所示，光軸法測(cè)量平面度誤差是利用準(zhǔn)直類儀器2、以它間接測(cè)量法特點(diǎn)：測(cè)量精度高，但數(shù)據(jù)處理麻煩。因被測(cè)平面需測(cè)若干個(gè)截面，而各截面內(nèi)的偏差值在測(cè)量時(shí)不是由同一基準(zhǔn)產(chǎn)生，故須經(jīng)復(fù)雜的數(shù)據(jù)后，才能獲得各測(cè)量截面相對(duì)統(tǒng)一基準(zhǔn)的坐標(biāo)值。適用于中大平面的測(cè)量。測(cè)量方法：水平儀法、自準(zhǔn)儀法、互檢法8間接測(cè)量法特點(diǎn)：測(cè)量精度高，但數(shù)據(jù)處理麻煩。因被測(cè)平面需測(cè)若水平儀法原理：以自然水平面作為測(cè)量基礎(chǔ)。測(cè)量時(shí)，先把被測(cè)表面調(diào)到基本水平，然后把水平儀放在橋板上，再把橋板置于被測(cè)表面上，按照一定的布線逐漸測(cè)量，同時(shí)記錄各測(cè)點(diǎn)的讀數(shù)，根據(jù)測(cè)得的讀數(shù)通過數(shù)據(jù)處理，即可得平面度誤差值。分類：依布線方法不同又分為水平面法和對(duì)角線法。圖5水平儀法9水平儀法原理：以自然水平面作為測(cè)量基礎(chǔ)。測(cè)量時(shí)，先把被測(cè)表面水平面法采用網(wǎng)格布點(diǎn)，基準(zhǔn)平面為過被測(cè)表面上的某給定點(diǎn)且與水平面平行的幾何平面：測(cè)量時(shí)應(yīng)采用同一橋板，各測(cè)點(diǎn)的同一坐標(biāo)值用累積法求得，計(jì)算比較簡單。測(cè)量時(shí)選擇不同的起始點(diǎn)和不同的測(cè)量線，其數(shù)據(jù)處理的方法、結(jié)果不同。存在一個(gè)最佳結(jié)果對(duì)角線法采用對(duì)角線布點(diǎn)。過渡基準(zhǔn)平面是：過被測(cè)表面的一條對(duì)角線，且平行于被測(cè)表面的另一條對(duì)角線的平面。測(cè)量時(shí)常須用三塊長度不同的板橋。數(shù)據(jù)處理較麻煩。10水平面法對(duì)角線法10自準(zhǔn)儀法原理：用自準(zhǔn)儀測(cè)量平面度誤差時(shí)，是將自準(zhǔn)儀置于被測(cè)零件之外的基準(zhǔn)上，將反向鏡放在橋板上，并將橋板置于被測(cè)表面上。測(cè)量時(shí)先把自準(zhǔn)儀與被測(cè)表面調(diào)整到基本平行，然后用測(cè)量值限度誤差的方法測(cè)量出逐一布線的直線度，通過數(shù)據(jù)處理，得到被測(cè)平面的平面度。11自準(zhǔn)儀法原理：用自準(zhǔn)儀測(cè)量平面度誤差時(shí)，是將自準(zhǔn)儀置于被測(cè)零互檢法平晶干涉法可利用技術(shù)光波干涉法直接讀數(shù)，故多塊平晶間可以相互自檢，而不需要標(biāo)準(zhǔn)器。如三塊平晶互檢。12互檢法平晶干涉法可利用技術(shù)光波干涉法直接讀數(shù)，故多塊平晶間可檢測(cè)平面度的儀器1、光學(xué)平直度測(cè)量儀主要用于測(cè)量零件表面的直線度和平面度，并用于設(shè)備安裝位置的正確性及較小傾角的測(cè)量精度：0.01mm/m測(cè)量范圍：0-10mm13檢測(cè)平面度的儀器1、光學(xué)平直度測(cè)量儀132、LMF激光平面度檢測(cè)儀LFM激光平面度檢測(cè)儀主要由大理石臺(tái)面、幾座、置于大理石臺(tái)面上的激光測(cè)頭、電腦及電氣控制柜所組成。廣泛應(yīng)用于大尺寸平面型工件：PDP背板、平板型沖壓件、大尺寸硬質(zhì)塑料的測(cè)量。142、LMF激光平面度檢測(cè)儀14L-743激光平面度測(cè)量儀校準(zhǔn)范圍0.0017mm/m或更大)應(yīng)用領(lǐng)域：機(jī)械加工中心、注塑機(jī)和壓力機(jī)、飛機(jī)組裝、軋輥平行度校準(zhǔn)、高精度激光水射流切割機(jī)、測(cè)量和校準(zhǔn)任何表面的平面度（方形、框架、路面、法蘭、圓形等）15L-743激光平面度測(cè)量儀校準(zhǔn)范圍0.0017mm/m或更平面度檢測(cè)方法姓名：李國輝專業(yè)：機(jī)械工程學(xué)號(hào)：3110400216平面度檢測(cè)方法姓名：李國輝1平面度的定義平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏差。平面的平面度公差符號(hào)、基本表示方法，如圖1所示。圖117平面度的定義平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏平面度誤差的檢測(cè)方法平面度誤差是指被測(cè)實(shí)際表面相對(duì)其理想表面的變動(dòng)量，理想平面的位置應(yīng)符合最小條件，平面度誤差屬于形位誤差中的形狀誤差。平面度誤差的測(cè)量方法直接測(cè)量法

間接測(cè)量法18平面度誤差的檢測(cè)方法平面度誤差是指被測(cè)實(shí)際表面相對(duì)其理想表面直接測(cè)量法通過測(cè)量可直接獲得平面上各點(diǎn)坐標(biāo)值或能直接評(píng)定平面度誤差值的方法。具體如下:1、平晶干涉法2、測(cè)微表測(cè)量法3、光軸法、液面法等。19直接測(cè)量法通過測(cè)量可直接獲得平面上各點(diǎn)坐標(biāo)值或能直接評(píng)定平面平晶干涉法干涉法測(cè)量平面度誤差，是把平晶放在它所能覆蓋的整個(gè)被測(cè)平面上，用平晶工作面體現(xiàn)理想平面，根據(jù)測(cè)量時(shí)出現(xiàn)的干涉條紋形狀和數(shù)目，由計(jì)算所得的結(jié)果作為平面度誤差值，如圖所示。該方法只適合測(cè)量精研小平面及小光學(xué)元件。

圖2平晶干涉法20平晶干涉法干涉法測(cè)量平面度誤差，是把平晶放在它所能覆蓋的整個(gè)測(cè)微表測(cè)量法如圖3所示，用3個(gè)可調(diào)支承將被測(cè)件支撐在標(biāo)準(zhǔn)平板上，用測(cè)微儀指示。調(diào)整可調(diào)支承，用三點(diǎn)法或四點(diǎn)法（對(duì)角線法）進(jìn)行測(cè)量。然后用測(cè)微儀讀出被測(cè)表上各點(diǎn)的最大與最小讀數(shù)差作為平面度誤差值的測(cè)量結(jié)果。圖3測(cè)微表法該測(cè)量方法適用于車間較低精度、中等尺寸的工件。

21測(cè)微表測(cè)量法如圖3所示，用3個(gè)可調(diào)支承將被測(cè)件支撐在標(biāo)準(zhǔn)平板光軸法如圖所示，光軸法測(cè)量平面度誤差是利用準(zhǔn)直類儀器2、以它的光軸經(jīng)轉(zhuǎn)向棱鏡3掃描的平面作為測(cè)量基準(zhǔn)，將瞄準(zhǔn)靶1放置在實(shí)際被測(cè)平面4上，按選定的布點(diǎn)，測(cè)出各測(cè)點(diǎn)相對(duì)于該測(cè)量基準(zhǔn)的偏離量，再經(jīng)數(shù)據(jù)處理評(píng)定平面誤差值。圖4光軸法22光軸法如圖所示，光軸法測(cè)量平面度誤差是利用準(zhǔn)直類儀器2、以它間接測(cè)量法特點(diǎn)：測(cè)量精度高，但數(shù)據(jù)處理麻煩。因被測(cè)平面需測(cè)若干個(gè)截面，而各截面內(nèi)的偏差值在測(cè)量時(shí)不是由同一基準(zhǔn)產(chǎn)生，故須經(jīng)復(fù)雜的數(shù)據(jù)后，才能獲得各測(cè)量截面相對(duì)統(tǒng)一基準(zhǔn)的坐標(biāo)值。適用于中大平面的測(cè)量。測(cè)量方法：水平儀法、自準(zhǔn)儀法、互檢法23間接測(cè)量法特點(diǎn)：測(cè)量精度高，但數(shù)據(jù)處理麻煩。因被測(cè)平面需測(cè)若水平儀法原理：以自然水平面作為測(cè)量基礎(chǔ)。測(cè)量時(shí)，先把被測(cè)表面調(diào)到基本水平，然后把水平儀放在橋板上，再把橋板置于被測(cè)表面上，按照一定的布線逐漸測(cè)量，同時(shí)記錄各測(cè)點(diǎn)的讀數(shù)，根據(jù)測(cè)得的讀數(shù)通過數(shù)據(jù)處理，即可得平面度誤差值。分類：依布線方法不同又分為水平面法和對(duì)角線法。圖5水平儀法24水平儀法原理：以自然水平面作為測(cè)量基礎(chǔ)。測(cè)量時(shí)，先把被測(cè)表面水平面法采用網(wǎng)格布點(diǎn)，基準(zhǔn)平面為過被測(cè)表面上的某給定點(diǎn)且與水平面平行的幾何平面：測(cè)量時(shí)應(yīng)采用同一橋板，各測(cè)點(diǎn)的同一坐標(biāo)值用累積法求得，計(jì)算比較簡單。測(cè)量時(shí)選擇不同的起始點(diǎn)和不同的測(cè)量線，其數(shù)據(jù)處理的方法、結(jié)果不同。存在一個(gè)最佳結(jié)果對(duì)角線法采用對(duì)角線布點(diǎn)。過渡基準(zhǔn)平面是：過被測(cè)表面的一條對(duì)角線，且平行于被測(cè)表面的另一條對(duì)角線的平面。測(cè)量時(shí)常須用三塊長度不同的板橋。數(shù)據(jù)處理較麻煩。25水平面法對(duì)角線法10自準(zhǔn)儀法原理：用自準(zhǔn)儀測(cè)量平面度誤差時(shí)，是將自準(zhǔn)儀置于被測(cè)零件之外的基準(zhǔn)上，將反向鏡放在橋板上，并將橋板置于被測(cè)表面上。測(cè)量時(shí)先把自準(zhǔn)儀與被測(cè)表面調(diào)整到基本平行，然后用測(cè)量值限度誤差的方法測(cè)量出逐一布線的直線度，通過數(shù)據(jù)處理，得到被測(cè)平面的平面度。26自準(zhǔn)儀法原理：用自準(zhǔn)儀測(cè)量平面度誤差時(shí)，是將自準(zhǔn)儀置于被測(cè)零互檢法平晶干涉法可利用技術(shù)光波干涉法直接讀數(shù)，故多塊平晶間可以相互自檢，而不需要標(biāo)準(zhǔn)器。如三塊平晶互檢。27互檢法平晶干涉法可利用技術(shù)光波干涉法直接讀數(shù)，故多塊平晶間可檢測(cè)平面度的儀器1、光學(xué)平直度測(cè)量儀主要用于測(cè)量零件表面的直線度和平面度，并用于設(shè)備安裝位置的正確性及較小傾角的測(cè)量精度：0.01mm/m測(cè)量范圍：0-10mm28檢測(cè)平面度的儀器1、光學(xué)平直度測(cè)量儀132、LMF激光平面度檢測(cè)儀LFM激光平面度檢測(cè)儀主要