制程控制系統(tǒng)設(shè)計課件

制程控制系統(tǒng)設(shè)計設(shè)計處教育訓(xùn)練資料Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute?L&KEngineeringCo.,Ltd.2006制程控制系統(tǒng)設(shè)計設(shè)計處教育訓(xùn)練資料Confidential,大綱

制程控制系統(tǒng)概述CDA控制系統(tǒng)GN2控制系統(tǒng)PCW控制系統(tǒng)PV控制系統(tǒng)大綱制程控制系統(tǒng)概述制程控制系統(tǒng)●概述

無塵室制程系統(tǒng)主要包含：CDA系統(tǒng)、GN2系統(tǒng)、PCW系統(tǒng)、PV系統(tǒng)；

制程控制系統(tǒng)就是對每一個系統(tǒng)進行自動控制。制程控制系統(tǒng)●概述制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)空壓機空壓機干燥機干燥機tank過濾器過濾器空壓機TO使用點tank制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)空壓機干燥機干燥機tank過濾器過制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)主要參數(shù)：1、排氣量2、排氣壓力3、排氣含油量4、排氣含塵量5、排氣露點制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)主要參數(shù)：制程控制系統(tǒng)空壓機空壓機干燥機干燥機tank過濾器過濾器空壓機tank流量計露點溫度壓力傳感器微塵粒子計數(shù)器差壓開關(guān)差壓開關(guān)1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF●CDA系統(tǒng)自控設(shè)計制程控制系統(tǒng)空壓機干燥機干燥機tank過濾器過濾器空壓機ta制程控制系統(tǒng)空壓機空壓機干燥機干燥機tank過濾器過濾器空壓機tankVFD:1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF●CDA系統(tǒng)自控設(shè)計1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF通過通訊接口，通常為MODBUS通訊接口：1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF制程控制系統(tǒng)空壓機干燥機干燥機tank過濾器過濾器空壓機ta制程控制系統(tǒng)●GN2系統(tǒng)10m3PSA純化器PSA純化器CDATO使用點制程控制系統(tǒng)●GN2系統(tǒng)10m3PSA純化器PSA純化器C制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)主要參數(shù)：1、排氣量2、排氣壓力3、排氣露點制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)主要參數(shù)：制程控制系統(tǒng)●GN2系統(tǒng)自控設(shè)計10m3PSA純化器PSA純化器CDA流量計露點溫度壓力傳感器1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF通過通訊接口，通常為MODBUS通訊接口：1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF制程控制系統(tǒng)●GN2系統(tǒng)自控設(shè)計10m3PSA純化器PSA制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)主要參數(shù)：1、出水溫度2、出水壓力3、回水溫度4、回水壓力制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)主要參數(shù)：制程控制系統(tǒng)●PCW控制設(shè)計主要分二部分：1、水箱控制2、加壓控制3、過濾控制4、冷卻控制制程控制系統(tǒng)●PCW控制設(shè)計主要分二部分：制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)自控設(shè)計-水箱控制液位傳感器控制補水導(dǎo)電計控制排水制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)自控設(shè)計-水箱控制液位傳感器控制補制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)自控設(shè)計-加壓、過濾、冷卻控制露點溫度壓力傳感器1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF差壓開關(guān)控制板換冰水閥VFD:1、A/M2、RS3、FAULT4、ON/OFF制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)自控設(shè)計-加壓、過濾、冷卻控制露點制程控制系統(tǒng)●PV系統(tǒng)真空機真空機儲氣罐5m3用氣點排氣排氣CHWSCHWR制程控制系統(tǒng)●PV系統(tǒng)真空機真空機儲用氣點排氣排氣CHWS水氣分離器水冷卻器真空泵浦（轉(zhuǎn)子）馬達控制電盤水氣分離器水冷卻器真空泵浦（轉(zhuǎn)子）馬達控制電盤真空使用端泵浦入口泵浦出口排氣冷卻水進水冷卻出水水進入冷卻器水冷卻出口進入泵浦水，氣進入分離器自來水補水自來水排水自來水補水真空使用端泵浦入口泵浦出口排氣冷卻水進水冷卻出水水進入冷卻器制程控制系統(tǒng)●PV系統(tǒng)自控設(shè)計真空機真空機儲氣罐5m3用氣點排氣排氣冰水溫度壓力傳感器1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFFCHWSCHWR制程控制系統(tǒng)●PV系統(tǒng)自控設(shè)計真空機真空機儲用氣點排氣排氣簡報結(jié)束謝謝Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute?L&KEngineeringCo.,Ltd.2006簡報結(jié)束謝謝Confidential,unpublishe制程控制系統(tǒng)設(shè)計設(shè)計處教育訓(xùn)練資料Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute?L&KEngineeringCo.,Ltd.2006制程控制系統(tǒng)設(shè)計設(shè)計處教育訓(xùn)練資料Confidential,大綱

制程控制系統(tǒng)概述CDA控制系統(tǒng)GN2控制系統(tǒng)PCW控制系統(tǒng)PV控制系統(tǒng)大綱制程控制系統(tǒng)概述制程控制系統(tǒng)●概述

無塵室制程系統(tǒng)主要包含：CDA系統(tǒng)、GN2系統(tǒng)、PCW系統(tǒng)、PV系統(tǒng)；

制程控制系統(tǒng)就是對每一個系統(tǒng)進行自動控制。制程控制系統(tǒng)●概述制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)空壓機空壓機干燥機干燥機tank過濾器過濾器空壓機TO使用點tank制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)空壓機干燥機干燥機tank過濾器過制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)主要參數(shù)：1、排氣量2、排氣壓力3、排氣含油量4、排氣含塵量5、排氣露點制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)主要參數(shù)：制程控制系統(tǒng)空壓機空壓機干燥機干燥機tank過濾器過濾器空壓機tank流量計露點溫度壓力傳感器微塵粒子計數(shù)器差壓開關(guān)差壓開關(guān)1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF●CDA系統(tǒng)自控設(shè)計制程控制系統(tǒng)空壓機干燥機干燥機tank過濾器過濾器空壓機ta制程控制系統(tǒng)空壓機空壓機干燥機干燥機tank過濾器過濾器空壓機tankVFD:1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF●CDA系統(tǒng)自控設(shè)計1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF通過通訊接口，通常為MODBUS通訊接口：1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF制程控制系統(tǒng)空壓機干燥機干燥機tank過濾器過濾器空壓機ta制程控制系統(tǒng)●GN2系統(tǒng)10m3PSA純化器PSA純化器CDATO使用點制程控制系統(tǒng)●GN2系統(tǒng)10m3PSA純化器PSA純化器C制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)主要參數(shù)：1、排氣量2、排氣壓力3、排氣露點制程控制系統(tǒng)●CDA系統(tǒng)主要參數(shù)：制程控制系統(tǒng)●GN2系統(tǒng)自控設(shè)計10m3PSA純化器PSA純化器CDA流量計露點溫度壓力傳感器1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF通過通訊接口，通常為MODBUS通訊接口：1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF制程控制系統(tǒng)●GN2系統(tǒng)自控設(shè)計10m3PSA純化器PSA制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)主要參數(shù)：1、出水溫度2、出水壓力3、回水溫度4、回水壓力制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)主要參數(shù)：制程控制系統(tǒng)●PCW控制設(shè)計主要分二部分：1、水箱控制2、加壓控制3、過濾控制4、冷卻控制制程控制系統(tǒng)●PCW控制設(shè)計主要分二部分：制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)自控設(shè)計-水箱控制液位傳感器控制補水導(dǎo)電計控制排水制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)自控設(shè)計-水箱控制液位傳感器控制補制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)自控設(shè)計-加壓、過濾、冷卻控制露點溫度壓力傳感器1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF差壓開關(guān)控制板換冰水閥VFD:1、A/M2、RS3、FAULT4、ON/OFF制程控制系統(tǒng)●PCW系統(tǒng)自控設(shè)計-加壓、過濾、冷卻控制露點制程控制系統(tǒng)●PV系統(tǒng)真空機真空機儲氣罐5m3用氣點排氣排氣CHWSCHWR制程控制系統(tǒng)●PV系統(tǒng)真空機真空機儲用氣點排氣排氣CHWS水氣分離器水冷卻器真空泵浦（轉(zhuǎn)子）馬達控制電盤水氣分離器水冷卻器真空泵浦（轉(zhuǎn)子）馬達控制電盤真空使用端泵浦入口泵浦出口排氣冷卻水進水冷卻出水水進入冷卻器水冷卻出口進入泵浦水，氣進入分離器自來水補水自來水排水自來水補水真空使用端泵浦入口泵浦出口排氣冷卻水進水冷卻出水水進入冷卻器制程控制系統(tǒng)●PV系統(tǒng)自控設(shè)計真空機真空機儲氣罐5m3用氣點排氣排氣冰水溫度壓力傳感器1、AUTO/MAN