ESD控制技術(shù)規(guī)范

ESD控制技術(shù)規(guī)范ESD控制技術(shù)規(guī)范ESD控制技術(shù)規(guī)范xxx公司ESD控制技術(shù)規(guī)范文件編號：文件日期：修訂次數(shù)：第1.0次更改批準(zhǔn)審核制定方案設(shè)計(jì)，管理制度目的本文件旨在規(guī)定ESD防靜電控制技術(shù)規(guī)范，為產(chǎn)品在元器件進(jìn)料、制造、貯存、包裝等各個環(huán)節(jié)提供明確可靠的ESD技術(shù)支持，從整體上提高公司靜電防護(hù)和控制水平，提高客戶的滿意度。適用范圍本規(guī)范適用于公司、供應(yīng)商和合作方的供應(yīng)鏈體系內(nèi)部靜電防護(hù)工程的設(shè)計(jì)、使用、管理、維護(hù)和檢測。同時，此標(biāo)準(zhǔn)也適用于公司的電子設(shè)備的最終用戶的靜電放電控制。職責(zé)公司ESD組織結(jié)構(gòu)和職責(zé)公司ESD管理小組負(fù)責(zé)公司的防靜電控制規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)的制定，建立健全ESD管理規(guī)章制度。定期組織ESD抽查和評審，確保公司ESD控制體系有效運(yùn)行。各部門負(fù)責(zé)人負(fù)責(zé)本部門工作區(qū)域的靜電防護(hù)措施的執(zhí)行。設(shè)備組工程師負(fù)責(zé)ESD總線接地有效并定期進(jìn)行點(diǎn)檢；技術(shù)員定期對各工位進(jìn)行靜電電壓測試并記錄，發(fā)現(xiàn)異常及時通知相關(guān)工程師處理；生產(chǎn)主管、拉長督促生產(chǎn)員工穿好防靜電工衣、工帽、工鞋并戴好防靜電手腕帶，并對手腕帶進(jìn)行定期測量，確保工作有效，發(fā)現(xiàn)異常及時通知相關(guān)人員處理；人事行政部門負(fù)責(zé)督導(dǎo)外來人員進(jìn)入制造中心車間前穿戴防靜電工衣及鞋套。由品質(zhì)部牽頭各部門（工藝、生產(chǎn)、設(shè)備）分派組建ESD管理小組,負(fù)責(zé)公司各部門ESD日常執(zhí)行狀況的監(jiān)督，包括ESD實(shí)施情況的定期檢查﹑抽測和測試。概要本文主要從靜電控制的五個方面(即人員、設(shè)備、物料、方法和環(huán)境)來論述ESD規(guī)范，貫穿了公司產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、貯存、包裝等各個環(huán)節(jié)防靜電控制，詳細(xì)介紹了防靜電設(shè)施的技術(shù)要求、檢測方法和作業(yè)指導(dǎo)等內(nèi)容。靜電防護(hù)區(qū)域（EPA）的界定和標(biāo)識EPA的劃分EPA必須具有如下的基本環(huán)境要求：⑴明確的區(qū)域界限和防靜電警示標(biāo)志。⑵對區(qū)域內(nèi)的所有導(dǎo)體包括人員可靠接地。⑶消除一切不必要的靜電產(chǎn)生源。⑷靜電敏感器件必須遠(yuǎn)離靜電源至少100厘米根據(jù)本公司產(chǎn)品器件的靜電敏感度等級，將本公司EPA靜電敏感度等級防范要求為200V。防護(hù)要求為：1、靜電敏感度等級防范要求為200V，應(yīng)盡量避免產(chǎn)生200V以上的靜電電荷源，如不能避免，應(yīng)通過有效方式消除。2、采用防靜電標(biāo)識與其它區(qū)域分隔開，未采取有效防靜電措施的人員、設(shè)備、物料、工具等皆不得入內(nèi)。3、進(jìn)入本區(qū)域應(yīng)作好人員防靜電要求，包括防靜電工衣、工帽、工鞋（鞋套）、腕帶或手套并作人體綜合電阻測試合格后才能進(jìn)入。EPA標(biāo)識防靜電工作區(qū)、防靜電包裝材料和轉(zhuǎn)運(yùn)工具、設(shè)備儀器的接地等都應(yīng)該具有防靜電標(biāo)識。防靜電標(biāo)識的作用是警示任何靠近防靜電工作區(qū)的人員，區(qū)域內(nèi)存在靜電敏感器件的操作；警示任何接觸靜電敏感器件的人員，對該器件的操作必須進(jìn)行靜電防護(hù)。任何防靜電工作區(qū)都必須有區(qū)域標(biāo)識，除非此工作區(qū)位于靜電安全工作區(qū)內(nèi)。標(biāo)識上應(yīng)注意說明，如“注意：靜電安全工作區(qū)“或其同意語?！胺烹姟?，“注意”，“危險”等標(biāo)示對靜電控制是不合適的。EPA標(biāo)識所在的位置及其大小應(yīng)該至少保證在距離工作區(qū)1米應(yīng)該使用黃底黑字的地板膠帶將每一個防靜電工作區(qū)圍起，EPA的邊界線,它由黃黑雙色的平行四邊形圖案相間構(gòu)成，其寬度為4～5cm。是專門用來標(biāo)志靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限的。需要在靜電安全工作區(qū)的每一個入口和出口放置防靜電標(biāo)識牌和控制說明。防靜電器材、工具和靜電敏感物料都必須具有明顯的防靜電標(biāo)識，防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)有明顯的接地標(biāo)識說明。防靜電容器（防靜電周轉(zhuǎn)箱，防靜電元件盒等），元件架和運(yùn)輸車等器材上應(yīng)有防靜電標(biāo)志，其標(biāo)志應(yīng)置于明顯且不易受到磨損的地方。如圖A，防靜電標(biāo)志圖防靜電標(biāo)志圖A靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)范防靜電工程環(huán)境的要求：環(huán)境的溫度和濕度要求溫度應(yīng)在20℃至30℃之間，濕度應(yīng)在45%--80%，環(huán)境內(nèi)應(yīng)配備溫度計(jì)和濕度計(jì)a)所有需要防范的環(huán)境內(nèi)應(yīng)配備溫度計(jì)和濕度計(jì)，溫度計(jì)和濕度計(jì)必須放置在水平穩(wěn)定的平面上。b)每日開工前必須由專人如實(shí)查看并記錄，發(fā)現(xiàn)不符合要求時，應(yīng)報告相關(guān)責(zé)任人立即處理，使其滿足溫度和濕度要求。c)每月的溫度和濕度儀記錄應(yīng)歸類保存，保存期為兩年以上。地面的技術(shù)要求地板的防靜電要求:為有效地使人體靜電能通過地板盡快泄漏到大地，除操作人員穿用防靜電服、防靜電鞋外，其先決條件是地板必須具有一定的導(dǎo)電性能，即是防靜電的。這種防靜電地板能泄漏設(shè)備、工裝上的靜電，也能泄漏移動操作時不易使用腕帶的人體靜電。普通地板材料的電阻率都較高，難以泄放人體、工裝、設(shè)備上的靜電。表三為各種地板的泄漏電阻:(單位:Ω)。表三地坪材料名稱泄漏電阻地坪材料名稱泄漏電阻石104~109瀝青1011~1013混凝土105~1010聚氯乙烯(貼面)1012~1015一般涂刷地面109~1012導(dǎo)電性水磨石105~107橡膠109~1013導(dǎo)電性橡膠104~108木、木膠合板1010~1013導(dǎo)電性聚氯乙烯107~1011防靜電地板的靜電特性定期檢查與維護(hù)保養(yǎng):檢查對象：防靜電地板。檢查頻率：每半年一次，其中一次應(yīng)在干燥季節(jié)測量。檢查指標(biāo)：靜電壓，泄漏電阻和表面電阻率。檢查標(biāo)準(zhǔn)：200V，1×104Ω~109Ω。檢查儀器：靜電壓表，萬用表和兆歐表。相對濕度低于30%時，應(yīng)增加測量泄漏電阻的次數(shù)，當(dāng)電阻比較大時可撒少量的水。當(dāng)?shù)匕迳细街薪^緣性的油膜、樹脂、橡膠和臟污時，應(yīng)根據(jù)情況定期清除。清掃防靜電地板時不得使用絕緣性的地板臘。采用拋光防靜電地板蠟的地面，至少3個月檢查測量一次地面的表面電阻，并記錄保存測量結(jié)果。靜電敏感區(qū)域的防靜電保護(hù)接地技術(shù)要求:防靜電系統(tǒng)必須有可靠的接地裝置，主要技術(shù)要求如下:接地線：也稱為地線母線。接地主干線的截面積應(yīng)不小于100mm2，支干線的截面積應(yīng)不小于6mm2，設(shè)備和工作臺的接地線采用截面積應(yīng)不小于的敷塑防靜電設(shè)備的連接端子應(yīng)確保接觸可靠，易裝拆，必須使用插頭座等。接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護(hù)接地電阻應(yīng)小于4Ω。地線的埋設(shè)： 埋設(shè)地線的原則是埋設(shè)地點(diǎn)的土壤電阻系數(shù)愈小愈好接地體與土壤的接觸面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。埋設(shè)地線的注意事項(xiàng)：接地線與接地線接頭必須焊接牢固，要有足夠的機(jī)械強(qiáng)度，引線不要過長。要采用耐腐蝕的接地體金屬。要保持接地體附近土質(zhì)的質(zhì)量，并不斷采取措施防止接地電阻變大。防靜電地線必須是永久性的。接地線的定期檢查：檢查對象：所有的接地線及接地端口。檢查儀器：萬用表和接地電阻測試儀。檢查參數(shù)：泄漏電阻(接地電阻)。檢查頻率：a)每條生產(chǎn)線的主接地線對通用接地點(diǎn)的接地性能和設(shè)備，工裝及工作臺等設(shè)施對生產(chǎn)線主接地線的接地性能應(yīng)每周檢查一次。b)ESD桌墊、ESD地墊、周轉(zhuǎn)車、周轉(zhuǎn)架和防靜電環(huán)等設(shè)施的防靜電連接線應(yīng)每月檢查一次。c)每個通用接地點(diǎn)對地的接地性能每6個月檢查一次。接地線的定期維護(hù)：對于檢查不過關(guān)的接地線必須采取措施及時解決。確保接地線有效接地。對于生銹的或接觸不好的接地線要及時更換。對于松動的接地線要重新連接。按接地線相關(guān)規(guī)定進(jìn)行維護(hù)。靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)范各類人員的防靜電知識培訓(xùn)要求及職責(zé)：有可能進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人員都應(yīng)接受防靜電知識培訓(xùn)，這既是對每位員工的基本要求，也是減少靜電危害的根本方法和途徑之一。所有新員工在接受入廠培訓(xùn)時，必須接受ESD知識的培訓(xùn)。課程包括至少2小時的理論知識培訓(xùn)和簡要講解本規(guī)范內(nèi)容。培訓(xùn)結(jié)束后，由人力資源部組織ESD的考試，合格者才能上崗。所有在職人員必須每年接受不少于2小時的ESD知識再培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容包括介紹ESD的新技術(shù)，新規(guī)范等。在靜電敏感區(qū)域內(nèi)工作的生產(chǎn)人員及與靜電敏感器件有直接或間接接觸(包括靜電感應(yīng))的作業(yè)人員，必須接受ESD基本知識和防靜電工藝規(guī)程操作要求的培訓(xùn)，作為上崗考核的必考內(nèi)容之一?？己瞬缓细裾卟坏冒才旁谟蟹漓o電要求的崗位工作。上崗考核的有效期為一年，一年后必須進(jìn)行重新培訓(xùn)考核。工藝人員必須接受并通過ESD較為專業(yè)知識培訓(xùn)，掌握電子工業(yè)產(chǎn)品的防靜電工藝技術(shù)，在生產(chǎn)過程中指導(dǎo)生產(chǎn)作業(yè)人員落實(shí)防靜電措施，并對他們進(jìn)行靜電防護(hù)日常教育。品質(zhì)控制管理人員必須接受并通過ESD較為專業(yè)知識培訓(xùn)，熟悉各類ESSD的靜電敏感性能及其防護(hù)知識，監(jiān)督防靜電工藝規(guī)程的貫徹執(zhí)行，評估防靜電工程實(shí)施效果。采購部人員必須接受ESD基本知識培訓(xùn)，熟悉ESSD的品種、型號、標(biāo)志方法和靜電防護(hù)常識，嚴(yán)格遵守物料或產(chǎn)品在采購和運(yùn)輸過程中靜電防護(hù)的規(guī)范。倉儲，轉(zhuǎn)運(yùn)人員必須接受ESD基本知識培訓(xùn)，懂得在儲存和轉(zhuǎn)運(yùn)過程中防護(hù)ESSD靜電器件及相關(guān)的存放操作要求。檢驗(yàn)和試驗(yàn)人員(包括外購件入廠檢驗(yàn)試驗(yàn)和產(chǎn)品檢驗(yàn)人員)必須接受較為ESD專業(yè)知識培訓(xùn)，熟練掌握ESSD的檢測知識和防靜電器件的檢測方法，嚴(yán)格按設(shè)計(jì)技術(shù)文件要求和工藝規(guī)程進(jìn)行檢驗(yàn)和試驗(yàn)。負(fù)責(zé)防靜電接地和布生產(chǎn)線的人員，應(yīng)接受較為專業(yè)的ESD知識培訓(xùn)，熟悉防靜電接地系統(tǒng)要求，掌握地樁、地線、及其它防靜電設(shè)施的敷設(shè)或安裝。生產(chǎn)管理人員應(yīng)了解ESD基本知識，嚴(yán)格按靜電敏感器件的設(shè)計(jì)文件要求和工藝規(guī)程組織生產(chǎn)，并開展對生產(chǎn)員工的靜電防護(hù)日常教育。計(jì)量檢定人員也應(yīng)了解ESD基本知識，尤其是關(guān)于防靜電儀器的校驗(yàn)知識，要定期調(diào)校防靜電檢測器材，保證其安全、有效。由于工種變化或者轉(zhuǎn)到新的部門，如從非EPA轉(zhuǎn)移到EPA，從行政部門轉(zhuǎn)到產(chǎn)品開發(fā)部門等，需要進(jìn)行適應(yīng)新環(huán)境ESD控制要求的再培訓(xùn)。提高培訓(xùn)是針對ESD工作骨干人員組織的靜電防護(hù)技術(shù)的高級培訓(xùn)，適用于ESD小組成員、區(qū)域ESD責(zé)任人（接口人）、各部門ESD工作優(yōu)秀人員和ESD責(zé)任人的預(yù)備人選等。提高培訓(xùn)由公司ESD負(fù)責(zé)人根據(jù)需要不定期舉行。提高培訓(xùn)的內(nèi)容主要是ESD標(biāo)準(zhǔn)的學(xué)習(xí)討論、ESD新技術(shù)的學(xué)習(xí)，ESD案例學(xué)習(xí)和疑難問題討論等。人體靜電防護(hù)系統(tǒng)：防靜電工作服：防靜電工作服是指為防止靜電荷積累，用防靜電織物作為面料而制成的工作服，樣式有連體式、分體式等。防靜電工作服主要用來泄放人體高絕緣性能的服裝所產(chǎn)生的靜電或減少人體靜電產(chǎn)生。防靜電工作服的主要技術(shù)指標(biāo)如下表所示:技術(shù)指標(biāo)A級實(shí)驗(yàn)方法帶電量＜μC/件按GB12014-89附錄A耐洗滌時間≥按GB12014-89附錄B推薦的防靜電工作服選擇使用A級，要求洗滌時間：≥33小時（或洗滌次數(shù)大于70次）；防靜電服使用要求:a）應(yīng)根據(jù)所制造或操作的ESSD的靜電敏感度的不同，選用不同等級的防靜電布料和防靜電工作服。b）進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員必須按規(guī)定穿防靜電大褂衣，夾克衣或防靜電連體服，嚴(yán)禁穿一般合成纖維工作服。C）大褂衣和夾克衣可在普通防靜電工作區(qū)域使用。對于防靜電要求特別高的場所，如無塵室高精密電子產(chǎn)品裝聯(lián)車間或?qū)嶒?yàn)室，作業(yè)人員必須穿連體衣，同時還需戴上口罩、手套。d）防靜電衣必須在更衣室更換，不允許在ESD區(qū)域穿或脫防靜電衣。e）禁止在防靜電衣上附加或佩帶與工作無關(guān)的金屬物品或裝飾品。f）不能把非防靜電衣的衣領(lǐng)翻出蓋住防靜電衣的衣領(lǐng)，防靜電衣如是夾克衣須將拉鏈拉好，兩顆扣子扣好，如是大褂衣須將扣子扣滿扣好，非防靜電衣的長度不能長過靜電衣，不準(zhǔn)將防靜電衣的袖子挽起，不準(zhǔn)將手表、手飾等與工作無關(guān)的裝飾物品露出防靜電衣外。g）防靜電大褂衣和夾克衣，應(yīng)保持清潔，工作服的洗滌應(yīng)盡量采用簡易方法進(jìn)行，采用中性洗滌劑，要避免受到較強(qiáng)的機(jī)械和化學(xué)操作的洗滌。h）防靜電工作服應(yīng)在首次穿用前作防靜電性能檢測，只有測試合格方可投入使用，穿用一定時期后應(yīng)對其防靜電性能進(jìn)行復(fù)測，防靜電大褂衣和夾克衣每半年應(yīng)做一次防靜電特性復(fù)測，對于檢測不過關(guān)的防靜電大褂衣和夾克衣應(yīng)停止使用，更換新的。i）設(shè)備組在收到新的防靜電衣時，通知ESD工程師對防靜電服的靜電電壓進(jìn)行檢測。檢測數(shù)量為抽樣來料的5％若抽樣數(shù)低于2件，則抽取2件。檢測方法如后面所示，如果該批防靜電衣有一件測試不合格，則拒收。除上述方法外，被抽測的靜電衣還應(yīng)被洗33小時后再做以上測試。如果靜電衣的表面電阻仍在106-109ohm之間且經(jīng)磨擦后的靜電電壓仍小于等于Kv，則為合格，否則為不合格。防靜電服的檢測：a）目前使用的防靜電防靜電大褂衣，主要是測試它的摩擦電壓和表面電阻這兩個指標(biāo)。b）檢測指標(biāo)：表面電阻和摩擦靜電壓。C）檢測標(biāo)準(zhǔn)：表面電阻（點(diǎn)與點(diǎn)、片與片、袖與袖之間）1*106至1*109Ω/摩擦靜電壓小于Kv。d）檢測儀器：兆歐表和靜電電壓表。e）防靜電性能檢測條件：溫度20~30℃，相對濕度45±5%防靜電帽：防靜電帽的相關(guān)規(guī)定請參照防靜電服。防靜電帽應(yīng)正確佩戴，帽沿朝前頭發(fā)不能露出防靜電帽外后腦部分的短細(xì)的頭發(fā)不能超過防靜電衣領(lǐng)外。防靜電工作鞋：作業(yè)人員必須穿防靜電鞋，經(jīng)過人體綜合電阻測試合格后，方可進(jìn)入靜電敏感區(qū)域工作。防靜電工作鞋每半年應(yīng)做一次防靜電特性檢測，對于檢測不過關(guān)的防靜電工作鞋應(yīng)停止使用，更換新的。檢測指標(biāo)：體積電阻和摩擦靜電壓。檢測標(biāo)準(zhǔn)：5*105—5*107Ω和200v。檢測儀器：體積電阻—兆歐表，摩擦靜電壓—靜電電壓表。防靜電鞋的使用要求：a)為使人體有效接地、防止人體和鞋本身帶電，并保證操作者因意外接觸高電壓時不致受到傷害，除應(yīng)將車間地面做成防靜電地面以外，操作者還應(yīng)穿用防靜電鞋，而且防靜電鞋必須與防靜電衣配套使用，同時防靜電鞋底應(yīng)具有使人體與大地構(gòu)成回路的材料和結(jié)構(gòu)。b)EPA區(qū)域內(nèi)的工作人員必須穿防靜電工鞋，人體通過工鞋到EPA地面的電阻（人體綜合電阻）應(yīng)該滿足×106～100×106。c）穿防靜電鞋時可以穿棉質(zhì)的襪子或不穿襪子，不得另加鞋墊，特別是絕緣性鞋墊。不得在鞋底粘貼絕緣膠片或其它涂料，保持鞋底的清潔。d）坐式操作的員工應(yīng)保證工鞋接觸地面，不得把腳抬離地面放置。防靜電手套或指套：在EPA內(nèi)，操作員工應(yīng)戴上防靜電手套或指套，防靜電手套或指套兼具防腐蝕的功能。在不便使用有繩防靜電腕帶的崗位，如流動操作崗位，須使用防靜電手套。坐式操作，必須佩戴腕帶。防靜電手套和指套較臟時應(yīng)及時清洗干凈，手套使用期限為一月防靜電手套或指套的防靜電特性檢查請參照防靜電服的部分檢查方法。防靜電腕帶：防靜電腕帶是通過腕帶與皮膚的直接接觸和靜電線接地的方式，將人體皮膚表面靜電泄放掉裝置，由松緊圈和接地組件構(gòu)成。松緊圈的要求是體積電阻率≤100Ωcm接地組件必須串接一定數(shù)值的電阻，以確保操作者意外觸及高電壓時不致發(fā)生人身傷害。該電阻的選擇原則是，一方面應(yīng)保證操作者在觸及線電壓時流過人體的電流不大于5mA，另一方面又要保證人體所帶的靜電能通過該電阻很快泄放，使皮膚上的靜電壓小于200V，一般該電阻阻值取為106Ω。因無繩防靜電腕帶的性能對環(huán)境濕度依賴性太強(qiáng)，禁止使用無繩腕帶。建議使用在線報警防靜電腕帶，因?yàn)樗梢詫?shí)時監(jiān)控防靜電腕帶與人體皮膚是否實(shí)時導(dǎo)通，從而保證人體皮膚靜電能及時釋放掉。進(jìn)入靜電敏感區(qū)域應(yīng)將防靜電環(huán)連接好，與皮膚完全接觸，保證防靜電環(huán)正常有效的工作。腕帶佩帶方法：將腕帶扎于手腕處，不能松動，手腕感覺四周握緊。保證手腕帶內(nèi)表面與皮膚良好接觸，接地線與EBP連接。腕帶接地應(yīng)采用香蕉插頭、插孔的連接方式，應(yīng)避免使用鱷魚夾的接地方式。每班開工前，每位員工都應(yīng)自檢防靜電環(huán)是否正常，并作好記錄，只有測試合格，才可以進(jìn)入靜電敏感區(qū)域工作。防靜電線的有效長度是米，在使用防靜電環(huán)的過程中，不可過度拉扯而超過它的有效長度，不可折斷防靜電線，不可沖洗防靜電環(huán)，拔插時不可通過拉防靜電線來完成，不可在防靜電環(huán)金屬片上加水等，要注意正確使用和妥善保護(hù)好防靜電環(huán)。先戴好防靜電環(huán)，再拿靜電敏感器件ESSD，先放下靜電敏感器件ESSD，再拔防靜電環(huán)。在實(shí)際工作中要注意此順序，要養(yǎng)成這種習(xí)慣。臨時或外來人員的防靜電管理：臨時(外來)人員，包括參觀人員、非本車間聯(lián)系工作人員、臨時施工人員(包括電工、修理工、裝飾工等)，進(jìn)入防靜電區(qū)域時，必須遵守防靜電區(qū)域和生產(chǎn)過程的各項(xiàng)防靜電要求。臨時(外來)人員在參觀或作業(yè)過程中，不得靠近操作靜電敏感器件的工作人員，也不得靠近或徒手接觸含有靜電敏感器件的在制品或成品。臨時施工作業(yè)在正常生產(chǎn)時間內(nèi)要避免瞬時高壓、瞬時放電的操作(如電焊、啟動電機(jī)、開關(guān)高壓電源等)或事前采取防范措施，或安排在非生產(chǎn)時間內(nèi)施工作業(yè)。防靜電區(qū)域內(nèi)需要進(jìn)行某種維護(hù)、修理作業(yè)時，維護(hù)人員應(yīng)攜帶并使用防靜電維修包，并遵守防靜電區(qū)域的有關(guān)規(guī)定。靜電敏感區(qū)域的防靜電操作規(guī)范所有的ESSD(靜電敏感器件)及其部件的操作必須在靜電安全工作臺上進(jìn)行。進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的所有電子元器件都應(yīng)視為ESSD來對待。貯存和運(yùn)輸ESSD及其部件時，應(yīng)妥善進(jìn)行防靜電包裝。拒絕接受未包裝在防靜電容器里的ESSD。所有用非ESD材料包裝的電子元器件都應(yīng)在指定的靜電泄放區(qū)域，經(jīng)過拆包和靜電泄放處理后，方可用防靜電中轉(zhuǎn)工具將其轉(zhuǎn)到靜電敏感區(qū)域。不允許在靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理非ESD的材料，不允許在非靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理未包裝的ESSD，不允許非ESD的材料與ESSD混放。進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員，都要必須穿好防靜電工作服，必須戴上防靜電環(huán)，腕帶必須與皮膚有良好接觸并將腕帶接入可靠的防靜電接地系統(tǒng)中，防靜電鞋和腳必須與防靜電地板或ESD地墊保持良好接觸，防靜電帽也必須按規(guī)定戴好。重要工位上應(yīng)配備腕帶監(jiān)控器，以隨時監(jiān)控腕帶是否處于正常狀態(tài)。不得隨意拆除和改變ESSD的封裝，運(yùn)送全過程應(yīng)在防靜電容器中進(jìn)行，清點(diǎn)也盡可能在原包裝內(nèi)完成。測試ESSD時必須遵守加電和去電順序，嚴(yán)禁帶電插拔ESSD。持拿ESSD，應(yīng)持其外殼兩端，嚴(yán)禁人手觸及其引腳或接線片，特別是空懸的輸入端。器件的引腳或接線片，特別是空懸的輸入端不可放在金屬桌面上，容易引起導(dǎo)通，短路等ESD事件，從損壞ESSD器件。裝配ESSD時，尤其是MOS管等靜電敏感器件，應(yīng)戴上防靜電手套或指套。清洗ESSD及其部件時，不得使用塑料刷。不具備防靜電功能的必備工具和用具，應(yīng)放在防靜電桌墊上，并應(yīng)置于離子風(fēng)機(jī)的作用范圍內(nèi)。操作時應(yīng)盡量減少對ESSD及其部件的接觸次數(shù)。組裝電子產(chǎn)品和設(shè)備時，如果需要使用電動批，應(yīng)使用有接地線的低壓直流電動批。在手工焊接時，應(yīng)采用防靜電低壓恒溫烙鐵。對GJB1649規(guī)定的I類ESSD焊接，還應(yīng)在拔掉烙鐵電源插頭后進(jìn)行。禁止重復(fù)使用ESSD器件包裝管來包裝ESSD器件。原包裝標(biāo)識為靜電敏感的元件其散料必須使用防靜電材料盛放和包裝。器件初始包裝應(yīng)在靜電敏感區(qū)域內(nèi)完成，并要用防靜電材料包裝。完成了初始包裝的ESSD器件進(jìn)行二次包裝時可以在非ESD區(qū)域內(nèi)完成，也需要防靜電材料。禁止使用超過有效期的防靜電材料來接觸或包裝ESSD器件。在任何場合均不允許未采取防靜電措施的人員接觸ESSD及其部件。生產(chǎn)過程中使用的設(shè)備必須采取接地等防靜電措施。運(yùn)輸ESSD及其部件時，應(yīng)將其放入防靜電包裝內(nèi)進(jìn)行，必要時，應(yīng)用離子風(fēng)機(jī)來消除在運(yùn)輸過程中產(chǎn)生的靜電。新布置的生產(chǎn)線或工位等都應(yīng)進(jìn)行ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電材料，包括主料，輔料和包裝材料都應(yīng)進(jìn)行ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電工具等都應(yīng)進(jìn)行ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。靜電敏感區(qū)域的工作臺、工裝、設(shè)備以及防靜電器材的防靜電規(guī)范基本防靜電要求:防靜電工作區(qū)內(nèi)的各種設(shè)備、工具、工裝儀器都應(yīng)實(shí)施靜電防護(hù)措施，如接觸元器件的部分應(yīng)使用防靜電材料(體積電阻<109Ω)，對非防靜電材料(表面電阻>1012Ω)應(yīng)采用靜電中和或涂抹防靜電涂液、涂層等其他防護(hù)措施進(jìn)行有效的接地(硬接地軟接地)。防靜電工作臺的技術(shù)要求：其中各組成部分的主要技術(shù)要求如下:工作臺墊和地墊均應(yīng)采用防靜電材料。靜電臺墊和地墊上任意一點(diǎn)的系統(tǒng)電阻和表面電阻均為：1×105Ω~1×109Ω靜電泄放至100V以下的時間小于1S。防靜電腕帶的泄漏電阻為1×106Ω±10％，靜電泄放至100V以下的時間小于。防靜電工作椅:防靜電工作椅上任意一點(diǎn)和人體接觸的地方（椅墊，靠背或扶手）到工作椅的任意一個導(dǎo)體腳輪的電阻應(yīng)該滿足≤1×109Ω（不依賴于相對濕度），工作椅系統(tǒng)接地電阻應(yīng)滿足≤1×109Ω；工作椅表面的摩擦電壓必須小于100V或高靜電電壓瀉放到100V以下的時間小于2秒。電離器：在不能有效泄放靜電的場合，可采用電離器通過電離空氣產(chǎn)生的正負(fù)離子，來防止和中和在元器件上及其它物體上的電荷積累。要求電離器對靜電電壓的消除能力大于100V/S。電離器的平衡度要求小于±15V，靜電消散時間要求從1000伏下降到100伏的時間要求小于2秒（中檔風(fēng)量、作用距離1Fit）。增濕器：當(dāng)相對濕度較低時，可恰當(dāng)?shù)氖褂迷鰸衿鳎ㄟ^恒定的潮濕氣流，防止靜電荷積。但此方法不適于非密封電子元器件。操作時要注意因濕度增加而導(dǎo)致的有害影響。接地系統(tǒng)：包括限流電阻和連接端子，應(yīng)連接可靠，并具有一定的載流能力。限流電阻阻值的選擇應(yīng)保證漏泄電流不超過5mA，下限阻值應(yīng)為1MΩ。防靜電工作區(qū)必須有安全可靠的防靜電接地裝置，接地電阻小于4Ω。防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用。另外，工作臺面、地墊、其它ESD保護(hù)設(shè)施均應(yīng)通過限流電阻接至公共地線，腕帶應(yīng)通過工作臺頂面接地點(diǎn)與地線連接。工作臺不能相互串聯(lián)接地，而應(yīng)分別接地。工作臺的電氣要求:靜電源靜電電位泄放至100V以下的時間小于1S，靜電防護(hù)操作系統(tǒng)的電阻上限為109ohm，防靜電操作系統(tǒng)的泄放電流不得超過5mA，為此防靜電操作系統(tǒng)的的電阻下限為106ohm絕緣體上的靜電采用電離器中和加以消除。工作臺的安裝(配置)要求:按照工作臺面的大小選擇所需的防靜電臺墊的尺寸。使用異丙基酒精徹底清洗臺墊下表面(即黑色的一面)。從防靜電臺墊正面壓下旋鈕接頭(可用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組成的連接點(diǎn)代替)，使其穿過臺墊和箔帶(多層箔帶時應(yīng)保證全部穿過)，以保證電接觸良好。使用異丙基酒精清洗防靜電臺墊上表面和各組成構(gòu)件。將經(jīng)過以上準(zhǔn)備好的防靜電臺墊平整的鋪于工作臺面上。按操作人員的作業(yè)范圍、確定鋪放臺墊的面積。將工作臺置于防靜電地墊上。防靜電工作臺的接地，使用橫截面不小于2mm2的絞合銅芯軟線或電纜把防靜電臺墊和地墊分別串聯(lián)1MΩ電阻后連接到地線配置系統(tǒng)上。全部安裝完畢后，對各參數(shù)指標(biāo)進(jìn)行檢驗(yàn)合格后，方可開始使用。防靜電工作臺接地要求:防靜電工作臺的臺墊和地墊，分別串聯(lián)1MΩ+\-10%的電阻接地(即軟接地)。防靜電工作臺墊和地墊上任意一點(diǎn)與地線配置系統(tǒng)間的電阻為1×106~1×109Ω。接地電纜應(yīng)采用中間無接頭、且具有足夠的機(jī)械強(qiáng)度。多臺防靜電工作臺的接地線不能相互串接。防靜電工作臺上的測試儀器、穩(wěn)壓電源、電動工具、和電離器等所有外部零件表面、屏蔽面均應(yīng)接地，對地線配置系統(tǒng)電阻值不大于2Ω，所有接地點(diǎn)應(yīng)集中接于一點(diǎn)，就近牢固搭接至地線系統(tǒng)上，穩(wěn)壓電源盡可能遠(yuǎn)離工作臺。對載流接地線，應(yīng)使用同軸電纜來接地和屏蔽。為帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設(shè)備提供的電源插頭座，應(yīng)選用安全型，以使其配接時工具和設(shè)備的金屬外殼能夠自動接地且接地腳要首先接地，斷電時接地腳最后斷開。防靜電工作區(qū)內(nèi)的各種設(shè)備、儀器、工裝（裝備）、工具都應(yīng)實(shí)施靜電防護(hù)措施，例如接觸或靠近靜電敏感器件（ESSD）的部分應(yīng)盡可能使用防靜電材料（靜電耗散材料），對特殊情況下不可避免須使用非防靜電材料（表面電阻RS≥×1011Ω）時應(yīng)采用靜電中和或定期涂抹抗靜電劑、涂層等其他防護(hù)措施，使其電阻值為1×106~1×108Ω。有效地消除、抑制或泄放靜電。防靜電工作臺使用與維護(hù)要求:防靜電工作臺在日常使用中，必須確保正常接地狀態(tài)。防靜電工作臺上不允許存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易產(chǎn)生靜電的物品，圖紙、資料等應(yīng)放入防靜電文件袋中。測量工具使用兆歐表(額定電壓250~500V，量程0~1000MΩ)，測量臺墊，地墊，腕帶和接地電纜等的電阻值。使用防靜電劑噴涂工作服、工作椅、工具的絕緣部分，及非導(dǎo)體或非防靜電的塑料容器、椅子坐墊和椅子靠背等。使用中性清洗劑或防靜電劑清潔防靜電臺墊和地墊。對所有建筑地板使用防靜電溶液進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)。以上條款必須定期進(jìn)行監(jiān)測。使用接地電阻測試儀每半年檢測一次地線配置系統(tǒng)電阻值，必要時，在每批此產(chǎn)品投產(chǎn)前檢測一次。落地設(shè)備的防靜電技術(shù)要求:落地設(shè)備如SMT、波峰焊機(jī)、FT自動線、ICT自動線、清洗機(jī)、流水線等等應(yīng)采用硬接地，即直接或通過一個低阻抗同防靜電地線相連設(shè)備的接地線應(yīng)采用截面積不小于的敷塑導(dǎo)線，接地線顏色以黃綠色線為宜。具有自動傳送帶或滾筒式的流水線，線體應(yīng)統(tǒng)一接入大地網(wǎng)，并使線體上任一點(diǎn)與大地的接地電阻均小于4Ω。流水線的自動傳送帶應(yīng)使用防靜電材料(表面電阻介于106~109Ω間)，并通過導(dǎo)線或?qū)w與線體連接。流水線的自動傳送帶常常通過金屬的傳送輪接到線體，金屬輪應(yīng)定期清潔而保證皮帶有效接地。流水線體上的工裝板應(yīng)通過靜電導(dǎo)體與線體連接，達(dá)到與線體等電位。自動線體上按作業(yè)崗位需要，設(shè)置接地點(diǎn)，以便操作者能隨時連接防靜電腕帶。臺式設(shè)備的防靜電技術(shù)要求:臺式設(shè)備如元器件成型機(jī)、半自動或手工插件機(jī)等應(yīng)通過臺墊實(shí)施軟接地，即在放置臺式設(shè)備的工作臺面上鋪設(shè)防靜電臺墊，并將臺墊有效接地。工具的防靜電技術(shù)要求:帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設(shè)備提供的電源插頭座，應(yīng)選用安全型。防靜電烙鐵的金屬外殼應(yīng)接保護(hù)地，烙鐵頭必須具有硬接地通路，烙鐵頭的接地電阻要求＜Ω，由于烙鐵頭的高溫氧化問題，日常檢查測試時烙鐵頭接地電阻＜20Ω可以接受。防靜電烙鐵手柄的絕緣電阻為1×107~1×108Ω，采用24V低壓供電。防靜電真空吸錫器的泄漏電阻為1×105Ω。防靜電烙鐵的檢查頻率:每月一次。防靜電烙鐵的檢查指標(biāo):交流電壓和泄漏電阻。防靜電烙鐵的檢查儀器:萬用表。防靜電烙鐵的檢查部位:烙鐵頭到地的交流電壓和泄漏電阻。防靜電烙鐵的檢查標(biāo)準(zhǔn):分別是<AC，<20Ω。電動批非電力線外殼部分應(yīng)實(shí)行硬接地，也應(yīng)定期檢查:檢查頻率:每月一次。檢查指標(biāo):交流電壓和泄漏電阻。檢查儀器:萬用表。檢查部位:電動批到地的交流電壓和泄漏電阻。檢查標(biāo)準(zhǔn):分別是<AC，<10Ω。非防靜電的條碼槍的外殼部分應(yīng)實(shí)行硬接地，應(yīng)定期檢查。檢查頻率:每月一次。檢查指標(biāo):靜電電壓和泄漏電阻。檢查儀器:靜電電壓表和萬用表。檢查部位:外殼到地的靜電電壓和泄漏電阻。檢查標(biāo)準(zhǔn):分別是<，<10Ω。對靜電比較敏感的產(chǎn)品，建議使用防靜電條碼槍，對于防靜電條碼槍可以不用定期檢查。工裝的防靜電技術(shù)要求：橡膠、塑料、化纖、有機(jī)玻璃等高分子材料都具有很高的電阻率，極易在使用過程中因接觸-分離、摩擦、碰撞等作用而產(chǎn)生、積累起很強(qiáng)的靜電，諸如此類在工程中常用的丁基橡膠、ABS塑料、PVC塑料、滌綸等材料都屬工裝慎用材料，對這些材料必須進(jìn)行防靜電處理或用防靜電材料取代。如果接觸靜電敏感元器件的部分使用了金屬材料，則注意一定要將工裝進(jìn)行軟接地(例如放在防靜電墊上接地)。如果由于特殊原因，工裝上接觸靜電敏感元器件的部分使用了非防靜電材料(表面電阻>1012Ω)，則應(yīng)該采用靜電中和或涂抹防靜電涂液涂層等其他防護(hù)措施。靜電敏感區(qū)域的防靜電器材規(guī)范：防靜電器材的技術(shù)要求：各類器材的技術(shù)指標(biāo)如下表所示:項(xiàng)目防靜電器材表面電阻值單位:Ω體積電阻值單位:Ω電阻值單位:Ω摩擦電壓單位:V地墊1×105—1×109(正面)1×103—1×105（反面）1×105—1×108＜200工作臺墊1×105—1×109(正面)1×103—1×105（反面）1×105—1×108＜200工作臺面1×106—1×109＜200工作臺面對腕帶插孔電阻1×105—1×108工作臺面對地系統(tǒng)電阻1×106—1×108工作椅面對腳輪電阻＜1×109＜200工作椅面與靠背電阻＜1×109＜200工作服﹑工作帽﹑手套1×105—1×109＜200工作鞋底×106—50×106＜200工位器具及物流傳遞工具1×103—1×1081×103—1×107＜200包裝袋(盒)1×106—1×10101×105—1×109＜200防靜電泡沫墊1×106—1×1010＜200物流車臺面對車輪系統(tǒng)電阻1×106—1×109腕帶連接電纜電阻佩帶腕帶時系統(tǒng)電阻1M—10M腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)電阻×105—1×108防靜電器材及其使用維護(hù)要求：防靜電臺墊：在操作ESSD時，工作臺上應(yīng)鋪設(shè)以防靜電材料制成的防靜電臺墊，使所有與之接觸的ESSD的端子、器具、儀表、人體等都處于同一電位，并通過適當(dāng)接地使靜電得以迅速泄放。一般的安裝方法是，在臺墊上裝設(shè)接地端子，用以連接腕帶，同時墊子通過適當(dāng)電阻接入接地母線。防靜電地墊：地墊用于工作崗位不是位于防靜電地面上的情況。防靜電地墊可用防靜電橡膠制作，多采用雙層結(jié)構(gòu)，上表層為使用面，操作者站在上面進(jìn)行作業(yè)，下表層為地電阻面，與地面直接、緊密接觸。安裝地墊時，要在其一角裝上供連接地線用的爪扣，并用專用連線與接地母線連接起來。使用地墊時必須附有保護(hù)電阻，以防止人體意外觸電。防靜電墊每6個月檢測一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測試技術(shù)指標(biāo)測試儀器是兆歐表或表面電阻表。工作椅：為全面控制人體靜電，操作者所坐的工作椅必須具有防靜電性能。不得使用普通人造革面或塑料面的椅子，不能用木制椅代替防靜電椅。如果椅腿是非金屬材料或有絕緣套腳時，應(yīng)將防靜電椅面接地。我們公司目前使用的不是靜電椅，應(yīng)考慮更換或?qū)ζ溥M(jìn)行改造(在其表面罩上防靜電套，并應(yīng)將防靜電椅面接地)，每6個月檢測一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測試技術(shù)指標(biāo)，測試儀器是兆歐表。防靜電包裝袋：在靜電敏感器件和印制板的包裝和儲存中，為避免物料與高絕緣包裝袋的摩擦而產(chǎn)生靜電、受到ESD損害，必須使用防靜電包裝袋。同時，為避免外界強(qiáng)電磁場的干擾與感應(yīng)，必要時，應(yīng)使用具有屏蔽作用的防靜電袋。防靜電包裝袋每6個月檢測一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測試技術(shù)指標(biāo)，測試儀器是兆歐表。防靜電容器(包括周轉(zhuǎn)箱、元器件存放盒、印制板架等)：在電子產(chǎn)品生產(chǎn)中，在各工位、各工序間用于傳遞和儲存ESSD和單板的各類容器，以及用于產(chǎn)品包裝發(fā)貨的容器，都應(yīng)具備防靜電性能，而不允許使用金屬和普通塑料容器。必要時，存放部件用的周轉(zhuǎn)箱應(yīng)接地。防靜電容器每6個月檢測一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測試技術(shù)指標(biāo)，測試儀器是兆歐表。防靜電周轉(zhuǎn)車：轉(zhuǎn)運(yùn)、暫存E