三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術(shù)路線的選擇_第1頁(yè)
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1、三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術(shù)路線的選擇三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術(shù)路線的選擇三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術(shù)路線的選擇三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術(shù)路線的選擇編制僅供參考審核批準(zhǔn)生效日期地址: 電話:傳真: 郵編:三氯氫硅的生產(chǎn)工藝與技術(shù)路線的選擇 三氯氫硅的生產(chǎn)原理及催化反應(yīng)機(jī)理 生產(chǎn)原理三氯氫硅是通過(guò)高純氯化氫氣體與金屬級(jí)單體硅(質(zhì)量分?jǐn)?shù)%)在一定溫度、壓力條件下反應(yīng)制備的。反應(yīng)方程式如下: 催化反應(yīng)機(jī)理 三氯氫硅的生產(chǎn)原料選擇 以四氯化硅為原料(還原法) 以硅粉為原料(直接法、硅氫氯化法) 工業(yè)硅粉(1)硅粉的性質(zhì)(2)硅粉的選擇硅粉的規(guī)格對(duì)反應(yīng)與產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。選擇硅粉時(shí)主要考慮以下2點(diǎn)。(3)硅粉精制

2、 三氯氫硅生產(chǎn)工藝流程 氯化氫的制備(1)氯化氫的性質(zhì)(2)氯化氫合成條件(3)氯化氫合成工藝 三氯氫硅合成該工序是整個(gè)三氯氫硅生產(chǎn)中最重要的部分。 氣固分離 合成氣冷凝 精餾提純近年來(lái),三氯氫硅的提純技術(shù)發(fā)展很快,但由于精餾法工藝簡(jiǎn)單、操作方便,所以目前工業(yè)生產(chǎn)中主要用精餾法。 廢氣處理 三氯氫硅制備及精制工藝進(jìn)展 硅氫氯化法 SiCl4-H2還原法 三氯氫硅的精制 三氯氫硅生產(chǎn)工藝比較 三氯氫硅質(zhì)量指標(biāo)目前我國(guó)三氯氫硅沒(méi)有國(guó)家統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。征求意見(jiàn)稿中:工業(yè)三氯氫硅分為、兩型,型工業(yè)三氯氫硅產(chǎn)品用于生產(chǎn)多晶硅,型工業(yè)三氯氫硅產(chǎn)品用于生產(chǎn)硅烷偶聯(lián)劑的單體。本標(biāo)準(zhǔn)適用于由硅粉和氯化氫為原料經(jīng)提純后生產(chǎn)的工業(yè)三氯氫硅。該產(chǎn)品主要用于生產(chǎn)多晶硅和硅烷偶聯(lián)劑等。表 三氯氫硅質(zhì)量指標(biāo)表項(xiàng)目型型優(yōu)級(jí)品一級(jí)品合格品優(yōu)級(jí)品一級(jí)品合格品外觀無(wú)色透明液體三氯氫硅w/% 二氯二氫硅w/% 四氯化硅w/% 氯硅烷聚合

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