QC質(zhì)量改進(jìn)成果發(fā)布資料模板

1、XG-C06HR芯片表面工藝質(zhì)量改進(jìn)新光精進(jìn)QC小組發(fā)布人：于坤鵬課題類型：改進(jìn)型1公司概況況天津中環(huán)環(huán)新光科科技有限限公司是是天津中中環(huán)電子子信息集集團(tuán)有限限公司的的全資子子公司，公司坐坐落于天天津市西西青微電電子工業(yè)業(yè)區(qū)。公公司由中中環(huán)集團(tuán)團(tuán)承接天天津市科科學(xué)技術(shù)術(shù)委員會(huì)會(huì)的二十十項(xiàng)重大大項(xiàng)目之之一而成成立，于于2008年3月底注注冊(cè)。一一期工程程中環(huán)集集團(tuán)投資資3000萬(wàn)元元人民幣幣，市財(cái)財(cái)政支持持1000萬(wàn)人人民幣；二期工工程中環(huán)環(huán)集團(tuán)投投資7000萬(wàn)萬(wàn)人民幣幣。公公司擁有有雄厚的的技術(shù)實(shí)實(shí)力，技技術(shù)團(tuán)隊(duì)隊(duì)由多名名從事LED材材料外延延的中科科院物理理研究所所外延專專家領(lǐng)銜銜，帶領(lǐng)領(lǐng)多

2、名博博士、碩碩士進(jìn)行行外延以以及芯片片技術(shù)的的研發(fā)和和生產(chǎn)。公司司采用國(guó)國(guó)際先進(jìn)進(jìn)的美國(guó)國(guó)進(jìn)口外外延爐(MOCVD設(shè)設(shè)備)生生產(chǎn)LED外延延片?，F(xiàn)現(xiàn)主要生生產(chǎn)紅、橙、黃黃以及黃黃綠光等等各種規(guī)規(guī)格的AlGaInP四元系系（2英英寸、4英寸）LED外延片片和芯片片。2主要產(chǎn)品品及生產(chǎn)產(chǎn)設(shè)備3一、團(tuán)隊(duì)隊(duì)概況表1小組名稱新光精進(jìn)QC小組成立時(shí)間2012年3月本年度注冊(cè)時(shí)間2013年3月小組注冊(cè)編號(hào)XG-QC-130306課題注冊(cè)時(shí)間2013年3月課題注冊(cè)編號(hào)XG-QC-130306課題類型改進(jìn)型小組人數(shù)10人活動(dòng)時(shí)間2013.3-2013.8活動(dòng)次數(shù)2次4姓名職稱組內(nèi)職務(wù)組內(nèi)分工受TQC教育時(shí)間于坤

3、鵬助工組長(zhǎng)總策劃60小時(shí)以上張榮勤高工技術(shù)顧問(wèn)技術(shù)指導(dǎo)60小時(shí)以上白春玲技師組員具體實(shí)施50小時(shí)以上芮雅強(qiáng)助工組員具體實(shí)施50小時(shí)以上張金剛助工組員具體實(shí)施45小時(shí)以上崔娜技師組員具體實(shí)施45小時(shí)以上李家征助工組員具體實(shí)施45小時(shí)以上張茜技師組員具體實(shí)施40小時(shí)以上謝寶紅技師組員具體實(shí)施40小時(shí)以上崔美筠技師組員具體實(shí)施40小時(shí)以上表25二、XG-C06HR表面工藝改進(jìn)進(jìn)課題介介紹XG-C06HR芯片特征征圖片XG-C06HR芯片表面面工藝問(wèn)問(wèn)題的發(fā)發(fā)現(xiàn)芯片宏觀觀和微觀圖片片XG-C06HR芯片是中中環(huán)新光光生產(chǎn)的的一款特特種紅光LED芯片。業(yè)業(yè)內(nèi)這種種芯片的的特點(diǎn)是是產(chǎn)出率率高，打線線粘合度

4、度強(qiáng)和功功率均衡衡等。而而支撐這這些獨(dú)有特特點(diǎn)的關(guān)關(guān)鍵之一一就是“表面”。表面面有劃傷或缺缺失等不不良導(dǎo)致致產(chǎn)出率率低；表表面不飽飽滿不圓潤(rùn)潤(rùn)會(huì)導(dǎo)致致客戶使使用時(shí)打打線粘合合度弱；表面形狀狀不規(guī)則則就會(huì)導(dǎo)導(dǎo)致電流流擴(kuò)散不不均勻，從而影響響輸出光光功率的的均衡性性。由于于工藝上上的原因，XG-C06HR這款產(chǎn)品品制作過(guò)過(guò)程中“表面”的種種種缺陷陷直接降降低了該該產(chǎn)品的的產(chǎn)品質(zhì)質(zhì)量和產(chǎn)出出數(shù)量。由此產(chǎn)產(chǎn)生了本本次QC課題。6表3為了使活活動(dòng)順利利進(jìn)行，團(tuán)隊(duì)制制定了周周密的活活動(dòng)計(jì)劃劃7三、課題題的選定定過(guò)程要要改改3.1選題及選選定理由由團(tuán)隊(duì)能力力分析急迫性分分析效果性分分析重要性分分析分析方法法

5、是：10個(gè)成成員投票選出四四個(gè)要素中三三種8綜合以上上四種要要素，無(wú)無(wú)論從哪哪個(gè)評(píng)價(jià)價(jià)項(xiàng)目來(lái)來(lái)看，改改善“表表面不良良”都是是首當(dāng)其其沖的序號(hào)問(wèn)題點(diǎn)現(xiàn)況說(shuō)明評(píng)價(jià)項(xiàng)目總分順位選定隊(duì)能力急迫性重要性效果性1載片過(guò)程損傷在工件流動(dòng)過(guò)程中，發(fā)生斷裂和殘損等情況，影響產(chǎn)出率。2231822表面不良從圖形工藝的開(kāi)始到產(chǎn)品產(chǎn)出，各個(gè)環(huán)節(jié)都對(duì)表面有損傷，每一次損傷都會(huì)降低芯片的產(chǎn)出數(shù)量。76482513電性不穩(wěn)成品測(cè)試發(fā)現(xiàn)部分產(chǎn)品電性不穩(wěn)定，電壓和亮度有較大的波動(dòng)性，影響同一款產(chǎn)品的穩(wěn)定性。123173表49四、現(xiàn)狀狀調(diào)查序號(hào)不良項(xiàng)目不良率百分比累積百分比1電極不良37400K85%85%2外延缺陷1760K

6、4%89%3發(fā)光區(qū)損傷2200K5%94%4殘留膠體1320K3%97%5電極發(fā)黑440K1%98%6其他880K2%100%合計(jì)44000K100%2013年2月到3月2000片工件產(chǎn)產(chǎn)出芯片片表面不不良統(tǒng)計(jì)計(jì)概況1K等于于1000顆芯芯片表5要改102013年2月月到3月月100片工件件產(chǎn)出芯芯片電極極不良統(tǒng)統(tǒng)計(jì)概況況要改11五、設(shè)定定課題改改善目標(biāo)標(biāo)圖1改善目標(biāo)標(biāo)值圖表數(shù)值值以1k為單位，1k等于一千千顆12六、要因因解析6.1工藝流程程簡(jiǎn)介勻膠顯影貼膜合金刻蝕曝光去膠切割鏡檢圖2136.2原原因分析析電極不良良人機(jī)環(huán)法料凈服穿戴戴不整齊齊貼膜機(jī)劃劃傷電極極鏡檢造成成劃傷取放片方方法有問(wèn)

7、問(wèn)題勻膠臺(tái)轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速異常常導(dǎo)致膠膠膜不均均吹干方法法不合理理入職培訓(xùn)訓(xùn)沒(méi)做好好工件運(yùn)輸輸方式錯(cuò)錯(cuò)誤導(dǎo)致致電極劃劃傷試劑溶液液有質(zhì)量量問(wèn)題導(dǎo)導(dǎo)致過(guò)刻刻蝕光刻膠質(zhì)質(zhì)量問(wèn)題題導(dǎo)致掩掩膠脫落落氣壓軸偏偏離導(dǎo)致致粘膠掩模板損損傷導(dǎo)致致電極損損傷溫濕度不不均衡導(dǎo)導(dǎo)致電極極脫落治具不干干凈導(dǎo)致致電極污污染壓緊面板板過(guò)硬導(dǎo)導(dǎo)致曝光光不均圖3未按照標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)業(yè)指導(dǎo)作業(yè)業(yè)146.3要因確認(rèn)認(rèn)序號(hào)可能的末端因素調(diào)查確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)要求負(fù)責(zé)人完成時(shí)間1凈服穿戴不整齊1，回放2013年2-3月間的通道錄像，是否在進(jìn)入車間時(shí)已經(jīng)穿戴整齊； 2，回放2013年2-3月間的車間錄像，員工是否穿著整潔，戴口罩，戴手套。進(jìn)入車間錢穿戴整齊，

8、進(jìn)入工藝間工作時(shí)戴口罩和手套，人體裸露面積小于0.025于坤鵬2013年4月2日2入職培訓(xùn)沒(méi)做好1，調(diào)查各相關(guān)站別員工入職培訓(xùn)記錄和上崗前測(cè)評(píng)成績(jī)； 2，重新測(cè)評(píng)相關(guān)站別員工是否符合上崗條件。1，相關(guān)崗位人員入職前進(jìn)行相關(guān)培訓(xùn)并且測(cè)評(píng)成績(jī)合格； 2，實(shí)時(shí)測(cè)評(píng)成績(jī)合格于坤鵬2013年4月4日3未按照標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)作業(yè)對(duì)照各站*站工藝指導(dǎo)書(shū)普查各工藝站工作過(guò)程。工藝契合度系數(shù)a=（工藝動(dòng)作/工藝要求）90%張金剛2013年4月5日4貼膜機(jī)劃傷電極回查貼膜后檢查記錄，檢查貼膜機(jī)表面是否有破損污染等情況。記錄達(dá)到98%面積電極合格，貼膜機(jī)表面無(wú)任何磨損和污染芮雅強(qiáng)2013年4月5日5勻膠臺(tái)轉(zhuǎn)速異常導(dǎo)致膠

9、膜不均測(cè)試勻膠太轉(zhuǎn)速是否按照工藝要求逐步穩(wěn)定在特定值上。電機(jī)啟動(dòng)后5秒內(nèi)達(dá)到4000轉(zhuǎn)/分鐘，持續(xù)4000轉(zhuǎn)/分鐘50秒，最后5秒內(nèi)降至0轉(zhuǎn)/秒崔娜2013年4月6日15序號(hào)可能的末端因素調(diào)查確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)要求負(fù)責(zé)人完成時(shí)間6掩模板損傷導(dǎo)致電極損傷檢查掩模板在10倍顯微鏡視場(chǎng)下有多少缺陷10倍顯微鏡，每個(gè)視場(chǎng)下總電極缺陷個(gè)數(shù)平均小于2個(gè)崔娜2013年4月7日7壓緊面板過(guò)硬導(dǎo)致曝光不均勻保證工件不被壓斷的情況下將托盤最大限度與工件壓緊，觀察工件與光刻板之間是否有縫隙沒(méi)有任何縫隙白春玲2013年4月8日8氣壓軸偏離導(dǎo)致粘膠測(cè)試氣壓軸八個(gè)固定端子是否平齊八個(gè)端子高度差小于0.02毫米白春玲2013年4月9

10、日9光刻膠質(zhì)量問(wèn)題導(dǎo)致掩膠脫落抽取現(xiàn)場(chǎng)光刻膠樣本，去相關(guān)部門檢驗(yàn)粘度=30mPa*s謝寶紅2013年4月11日10顯影液?jiǎn)栴}導(dǎo)致顯影不完全用現(xiàn)場(chǎng)顯影液制備若干硅片試驗(yàn)片，統(tǒng)計(jì)不良單片不良顆粒數(shù)小于1000顆于坤鵬2013年4月11日11工件運(yùn)輸方式錯(cuò)誤導(dǎo)致工件電極劃傷檢查工件在傳輸過(guò)程中的載體，看是否有對(duì)電極接觸性的劃傷無(wú)劃傷李家征2013年4月12日16序號(hào)可能的末端因素調(diào)查確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)要求負(fù)責(zé)人完成時(shí)間6掩模板損傷導(dǎo)致電極損傷檢查掩模板在10倍顯微鏡視場(chǎng)下有多少缺陷10倍顯微鏡，每個(gè)視場(chǎng)下總電極缺陷個(gè)數(shù)平均小于2個(gè)崔娜2013年4月7日12吹干方法不合理導(dǎo)致電極變黑檢查吹干工藝，看是否有些操作

11、步驟會(huì)損傷到工件或吹干過(guò)程中有污染殘留損傷僅限于定位端電極損傷小于500顆，無(wú)任何污染殘留崔美筠2013年4月12日13取放片方法有問(wèn)題檢查取片時(shí)是否損傷電極或污染電極無(wú)損傷，無(wú)污染李家征2013年4月13日14鏡檢造成電極不良及損失檢查鏡檢操作有無(wú)對(duì)電極的劃傷和損失無(wú)劃傷，無(wú)損失謝寶紅2013年4月14日15治具不干凈導(dǎo)致電極污染檢查現(xiàn)場(chǎng)所有在用和備用治具，干凈無(wú)污染張茜2013年4月15日16溫濕度不均衡導(dǎo)致電極脫落調(diào)用2013年2-3月溫濕度記錄，檢查是否均符合溫濕度標(biāo)準(zhǔn)溫度223，相對(duì)濕度30%-70%于坤鵬2013年4月16日17要因確認(rèn)認(rèn)（一）凈服穿戴戴不整齊齊調(diào)用進(jìn)廠廠攝像掃掃描

12、記錄錄，檢查查凈服、防塵鞋鞋、人體體裸露面面積、口口罩、手手套是否否達(dá)到進(jìn)進(jìn)廠區(qū)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)，不不符合標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)的是是否有ALARM,如果有ALARM是否及時(shí)時(shí)制止并并處理為為OK。圖表顯示示監(jiān)控嚴(yán)嚴(yán)密全部部?jī)舴┐┐髡麧崫?8要因確認(rèn)認(rèn)（二）入職培訓(xùn)訓(xùn)沒(méi)做好好基本素質(zhì)篩選進(jìn)廠教育方向性崗位培訓(xùn)訓(xùn)崗位分配配頒發(fā)上崗資質(zhì)質(zhì)上崗工作作一級(jí)篩選選通過(guò)二級(jí)篩選選通過(guò)考試合格格簡(jiǎn)歷符合合1，安全教教育2，員工守守則3，質(zhì)量觀觀念4，崗位認(rèn)認(rèn)知5，職業(yè)健健康1，勻膠站站標(biāo)準(zhǔn)作作業(yè)2，曝光站站標(biāo)準(zhǔn)作作業(yè)3，貼膜站站標(biāo)準(zhǔn)作作業(yè)4，鏡檢站站標(biāo)準(zhǔn)作作業(yè)全體員工具備備上崗資格測(cè)試項(xiàng)目最高成績(jī)最低成績(jī)勻膠10099曝光1009

13、7貼膜10098鏡檢1009819要因確認(rèn)認(rèn)（三）未按照標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)業(yè)指導(dǎo)作作業(yè)調(diào)查各工工藝站工工作過(guò)程程與標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)業(yè)指導(dǎo)書(shū)書(shū)做對(duì)照按照工藝藝流程逐逐個(gè)簽字字確認(rèn)，與作業(yè)業(yè)指導(dǎo)書(shū)書(shū)要求契契合度99.8%除員工操操作手法法有細(xì)微微差別外外，其他他部分全全部按照照標(biāo)準(zhǔn)作作業(yè)指導(dǎo)導(dǎo)書(shū)來(lái)操操作20要因確認(rèn)認(rèn)（四）貼膜機(jī)劃劃傷電極極回查貼膜膜后檢查查記錄，檢查貼貼膜機(jī)表表面是否否有破損損污染等等情況。大部分工工件都有有較嚴(yán)重重劃傷貼膜機(jī)表表面鍍層層較嚴(yán)重重磨損缺貼膜機(jī)機(jī)圖片要因21要因確認(rèn)認(rèn)（五）勻膠臺(tái)轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速異常常導(dǎo)致膠膠膜不均均三個(gè)階段段的參數(shù)數(shù)均處于于正常波波動(dòng)狀態(tài)態(tài)22要因確認(rèn)認(rèn)（六）視場(chǎng)序列殘缺個(gè)

14、數(shù)污染個(gè)數(shù)丟失個(gè)數(shù)開(kāi)裂個(gè)數(shù)正常個(gè)數(shù)1587674246910713310867347281172555415716111046697123767287698709481167110339976檢查掩模模板缺陷陷掩模板28%缺陷要因23要因確認(rèn)認(rèn)（七）壓緊面板板過(guò)硬缺一個(gè)圖圖硬接觸導(dǎo)導(dǎo)致兩個(gè)面板板之間微小縫隙隙無(wú)法調(diào)平，從從而發(fā)生生了一側(cè)擠擠壓力過(guò)大導(dǎo)致致的粘膠膠，粘膠使電電極殘缺缺要因24要因確認(rèn)認(rèn)（八）檢測(cè)氣壓壓軸是否否偏離八個(gè)端子子高度差差低于0.02mm，表示氣壓壓軸沒(méi)有有偏離，運(yùn)轉(zhuǎn)良良好氣壓軸工工作原理理是：采采用八個(gè)個(gè)端子之之間的互互相制約約作用，達(dá)到微微調(diào)氣壓壓軸水平平的效果果，八

15、個(gè)個(gè)端子間間高度差差小于0.02mm表明水平平良好，從而判判斷不會(huì)會(huì)造成曝曝光粘膠膠等不良良，保證證電極完完整。25要因確認(rèn)認(rèn)（九，十）試劑質(zhì)量量問(wèn)題導(dǎo)導(dǎo)致光刻刻不良第三方機(jī)機(jī)構(gòu)出示示的質(zhì)量檢驗(yàn)驗(yàn)合格報(bào)報(bào)告化學(xué)藥品品試劑合合格非要因26要因確認(rèn)認(rèn)（十一一）工件運(yùn)輸輸方式錯(cuò)錯(cuò)誤導(dǎo)致致劃傷缺單個(gè)外外延劃傷傷圖劃傷面積積達(dá)到了了5.7%要因27要因確認(rèn)認(rèn)（十二二）吹干方法法問(wèn)題導(dǎo)導(dǎo)致電極極變黑手動(dòng)氮?dú)鈿獯蹈?8要因確認(rèn)認(rèn)（二）入職培訓(xùn)訓(xùn)沒(méi)做好好29要因確認(rèn)認(rèn)（二）入職培訓(xùn)訓(xùn)沒(méi)做好好30要因確認(rèn)認(rèn)（二）入職培訓(xùn)訓(xùn)沒(méi)做好好31要因確認(rèn)認(rèn)（二）入職培訓(xùn)訓(xùn)沒(méi)做好好32七、活動(dòng)動(dòng)計(jì)劃活動(dòng)步驟項(xiàng)目負(fù)責(zé)人活動(dòng)時(shí)間

16、參加人員8月9月10月11月P數(shù)據(jù)收集a全員要因分析bb把握重要要因c全員對(duì)策思考d全員D對(duì)策實(shí)施eeC效果確認(rèn)ffA標(biāo)準(zhǔn)化和管理的固化g全員成果評(píng)價(jià)h全員反省及今后計(jì)劃i全員制訂計(jì)劃劃常用的的QC工具：調(diào)查表簡(jiǎn)簡(jiǎn)易圖圖表系系統(tǒng)圖矩矩陣圖圖PDPC法矢矢線線圖優(yōu)優(yōu)選法法正正交實(shí)驗(yàn)驗(yàn)法33八、計(jì)劃劃實(shí)施序號(hào)要因措施目標(biāo)責(zé)任人完成日期1234對(duì)即將采采取的對(duì)對(duì)策與措措施從可可行性、經(jīng)濟(jì)性性、效益益性等方方面進(jìn)行行嚴(yán)格評(píng)評(píng)估與篩篩選，以以確定最最佳實(shí)施施方案、實(shí)施周周期和相相對(duì)應(yīng)負(fù)負(fù)責(zé)人34八、計(jì)劃劃實(shí)施措施實(shí)施施1措施實(shí)施施2實(shí)施過(guò)程程中如出出現(xiàn)殘留留問(wèn)題或或出現(xiàn)的的新問(wèn)題題，要重重新進(jìn)行行要因分

17、分析制定對(duì)策策并實(shí)施施（按PDCA循環(huán)）35九、效果果確認(rèn)改善后數(shù)數(shù)據(jù)收集集效果確認(rèn)認(rèn)常用的的QC工具：調(diào)查表簡(jiǎn)簡(jiǎn)易易圖表排排列列圖直直方圖圖控控制圖圖散布圖采取了一一系列的的措施之之后，通通過(guò)圖表表、數(shù)據(jù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)計(jì)，一目目了然。36九、效果果確認(rèn)改善目標(biāo)標(biāo)的達(dá)成成情況改善前改善后說(shuō)明：通過(guò)圖表表的使用用，改善善前后的的情況一一目了然然。37九、效果果確認(rèn)有形效果果改善前前/后比較38九、效果果確認(rèn)無(wú)形效果果改善前前/后比較評(píng) 價(jià)自我評(píng)價(jià)顧問(wèn)評(píng)價(jià)著眼點(diǎn)前后前后員工士氣手法運(yùn)用熟練改善能力提升品質(zhì)意識(shí)提升積極性團(tuán)隊(duì)協(xié)調(diào)性合 計(jì)確 認(rèn)每一項(xiàng)滿滿分為5分39十、標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)化問(wèn)題點(diǎn)原有標(biāo)準(zhǔn)新標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施日期管理編號(hào)